首页 > 论文 > 标签

Hi,您目前在 全部期刊 '张立超', 共找到 28个内容。

   将选定结果: 

 变能量X射线融合图像的增强算法研究

刘宾 赵鹏翔 赵霞 张立超

[摘要]变能量X射线成像技术是实现大厚度比目标内部信息检测的重要方法。该方法利用递变管电压获取工件不同厚度区域的透照子图,通过融合获取能够完整表征工件结构信息的高动态范围数字图像。但是受限于显示设备的动态范围,融...

 PDF全文光学学报 | 2020, 40(18):1834001

 浸没式光刻投影物镜光学薄膜

毕丹丹 张立超 时 光

[摘要]深紫外光刻是目前集成电路制造的主流方法, 为实现更小的元件特征尺寸, 必须采用浸没式投影物镜以提高光学系统的分辨率, 由此向其中的薄膜光学元件提出了众多苛刻的要求。本文介绍了适用于浸没式光刻系统的薄膜材料及...

 PDF全文中国光学 | 2018, 11(05):745

 离子束溅射制备低应力深紫外光学薄膜

才玺坤 张立超 时 光 贺健康 武潇野 梅 林

[摘要]采用离子束溅射制备了AlF3、GdF3单层膜及193 nm减反和高反膜系, 分别使用分光光度计、原子力显微镜和应力仪研究了薄膜的光学特性、微观结构以及残余应力。在优选的沉积参数下制备出消光系数分别为11×10-4和3...

 PDF全文中国光学 | 2016, 9(06):649

 离子束溅射制备GdF3光学薄膜沉积速率分布特性

贺健康 张立超 才玺坤 时光 武潇野 梅林

[摘要]本文采用离子束溅射方法制备GdF3薄膜, 并研究其沉积速率分布特征。首先, 采用膜厚仪测量得出GdF3薄膜在行星盘平面的二维沉积速率分布图, 通过拟合模型得到二维沉积速率分布公式。其次, 分析了束流束压及靶材角度对沉...

 PDF全文中国光学 | 2016, 9(03):356

 基于指数法评估激光量热仪吸收测量不确定度

谷勇强 张立超 武潇野 梅 林 时 光

[摘要]为了掌握熔石英样品在紫外波段的吸收特性, 研究了精确评估激光量热仪测量不确定度的方法。介绍了激光量热仪的吸收测量原理, 选用指数法对吸收测量数据进行了拟合; 通过分析各吸收率测量结果的影响分量, 建立了测量不...

 PDF全文光学 精密工程 | 2016, 24(02):278

 深紫外光刻光学薄膜

张立超 才玺坤 时光

[摘要]深紫外波段是目前常规光学技术的短波极限, 随着波长的缩短, 深紫外光学薄膜开发面临一系列特殊的问题; 而对于深紫外光刻系统这样的典型超精密光学系统来说, 对薄膜光学元件提出的要求则更加苛刻。本文主要介绍了适用...

 PDF全文中国光学 | 2015, 8(02):169

 热蒸发与离子束溅射制备LaF3薄膜的光学特性

才玺坤 张立超 梅林 时光

[摘要]研究了钼舟热蒸发工艺和离子束溅射方法制备的单层LaF3薄膜的特性。首先,采用分光光度计测量了LaF3薄膜的透射率和反射率光谱,使用不同模型拟合得出薄膜的折射率和消光系数。然后,采用应力仪测量了加热和降温过程中...

 PDF全文中国光学 | 2014, 7(05):808

 应用于高性能光学薄膜表征的光热光声检测技术

武潇野 张立超 时光

[摘要]本文介绍了光热与光声探测技术的基本原理,结合光学薄膜的吸收测试、光学薄膜的激光辐照特性表征、激光损伤特性表征以及光学薄膜的机械性质表征等各种具体应用,对激光量热法、光热偏转法、表面声波法等典型的光热、...

 PDF全文中国光学 | 2014, 7(05):701

 激光量热法测量深紫外氟化物薄膜吸收

赵灵 武潇野 谷勇强 时光 梅林 才玺坤 张立超

[摘要]为了获得薄膜材料吸收率与深紫外激光照射能量密度间的对应关系,掌握薄膜材料深紫外吸收特性,应制定相应的吸收测量规范。介绍了激光量热法的原理及测试流程,分析了测试过程中的剂量效应、非线性吸收和不可恢复吸收...

 PDF全文中国激光 | 2014, 41(08):0807001

 球面元件表面AlF3薄膜的光学特性和微观结构表征

时光 梅林 张立超

[摘要]在模拟球面元件曲率半径的仿面形夹具上镀制了AlF3单层薄膜, 并对不同口径位置上的薄膜进行了比较, 以表征球面元件表面镀制薄膜的光学特性和微观结构。首先, 采用紫外可见光分光光度计测量了不同口径位置上薄膜样品的...

 PDF全文中国光学 | 2013, 6(06):906-911

 离子束溅射、热舟和电子束法制备深紫外LaF3薄膜

时光 梅林 高劲松 张立超 张玲花

[摘要]为了满足深紫外光刻物镜对薄膜的要求,得到低损耗、高稳定性、长寿命的深紫外薄膜,需要选用适当的镀膜工艺方法。分别选取了离子束溅射法、热舟蒸发法和电子束蒸发法优化后的最佳工艺参量,在融石英基底上使用3种方法...

 PDF全文激光技术 | 2013, 37(05):592-595

 基于遮挡矩阵的膜厚修正挡板的设计

张立超 高劲松

[摘要]为了在光学元件镀膜过程中精确控制膜厚均匀性, 通常需要有针对性地设计并制作膜厚修正挡板。然而, 由于基底在真空室内运动方式复杂, 实际工作中通常采用多次试验, 反复进行局部修正的方法来确定挡板形状。为解决这一...

 PDF全文光学 精密工程 | 2013, 21(11):2757-2763

 长春光机所深紫外光学薄膜技术研究进展

张立超 高劲松

[摘要]综述了深紫外光学薄膜技术在中科院长春光学精密机械与物理研究所的研究进展。为满足高性能深紫外光学系统对薄膜光学元件的需求,在以下方面开展了系统研究:定制了两台深紫外光学薄膜专用沉积设备,分别用于高性能深...

 PDF全文光学 精密工程 | 2012, 20(11):2395-2401

 极紫外多层膜光栅技术研究进展

张立超

[摘要]极紫外多层膜光栅是一种人造二维周期性结构, 它将横向结构上的光栅衍射与深度结构上的多层膜布拉格衍射相结合, 使得在极紫外波段采用非掠入射、高衍射效率、高光谱分辨率的分光元件成为可能, 在天文学、物理学、材料...

 PDF全文光机电信息 | 2011, 28(08):5-11

 多层膜沉积对光栅衬底槽形影响研究

张立超

[摘要]衍射效率的高低是衡量极紫外多层膜光栅的最重要指标。为实现高衍射效率,必须发展合适的多层膜沉积方法,以确保在镀膜过程中光栅衬底的槽形不发生变化。针对极紫外波段所采用的矩形光栅衬底,对其镀膜过程中的槽形变...

 PDF全文光机电信息 | 2011, 28(07):16-20

 极紫外三维小孔矢量衍射波面质量分析

卢增雄 金春水 张立超 王丽萍

[摘要]相移点衍射干涉仪中参考球面波的质量取决于小孔的直径、圆度和厚度,其中小孔的直径是最主要的因素,在实际加工前,需给出小孔直径的要求。基于矢量衍射理论,分析计算了三维结构小孔的衍射。分析了在均匀的TE偏振光...

 PDF全文光学学报 | 2010, 30(10):2849-2854

 极紫外多层膜技术研究进展

张立超

[摘要]在极紫外波段,任何材料都表现出极强的吸收特性,因此,采用多层膜实现高反射率是构建正入射式光学系统的唯一途径。本文总结了极紫外多层膜的发展进程,叙述了制备极紫外多层膜的关键技术(磁控溅射、电子束蒸发、离子...

 PDF全文中国光学 | 2010, 3(06):554-565

 晶振膜厚监控技术中Tooling Factor的精确标定

张立超

[摘要]晶振监控法是一种实现非规整膜系监控的重要手段。在晶振监控中,晶振片与镀膜基片上沉积薄膜厚度的比值,即Tooling Factor是相对固定的。采用晶振监控法实现薄膜厚度的精确控制必须对Tooling Factor进行精确标定。本...

 PDF全文光机电信息 | 2010, 27(11):56-60

 纳米级薄膜厚度的精确测量

张立超

[摘要]对于纳米级多层膜来说,膜厚的精确测量至关重要。本文针对X射线衍射测量薄膜厚度的方法,对所能够获得的测量精度进行了研究。结果表明,无论是单层膜还是多层膜,实现样品台的精密装调都是获得膜厚精确测量结果的前提...

 PDF全文光机电信息 | 2010, 27(10):45-49

 溅射法制备多层膜沉积速率的标定

张立超

[摘要]为消除溅射沉积多层膜过程中产生的膜厚随机误差,实现多层膜膜厚的精确控制,提出了一种精确标定薄膜沉积速率的方法。该方法通过对多次实验结果进行最小二乘拟合得到薄膜沉积速率。对随机误差基本特性的分析表明,随...

 PDF全文光学 精密工程 | 2010, 18(12):2530-2536

 极紫外多层膜-离子束刻蚀矩形光栅的制作及衍射效率测量

林慧 张立超 金春水 周洪军 霍同林

[摘要]我们通过在离子束刻蚀裸光栅上镀制多层膜,制作了用于极紫外波段的具有高衍射效率的多层膜矩形光栅。由于对离子束刻蚀工艺和镀膜工艺的精细控制,光栅的槽形参数及多层膜参数良好地满足了设计要求。经同步辐射光测量...

 PDF全文Chinese Optics Letters | 2009, 7(03):180

 采用多种群遗传算法的全景成像系统非球面设计

王丽萍 张立超 何锋赟 金春水

[摘要]提出了一种基于多种群遗传算法(MPGA)的折反射全景成像系统非球面元件的设计方法。结合广义科丁顿公式及几何光学原理,推导出非球面两镜系统像散表达式。在此基础上,利用MPGA,以像散作为非球面两镜系统像差评价参数,求...

 PDF全文光学 精密工程 | 2009, 17(05):1020-1025

 基于混合优化算法测定铝薄膜光学常数

金伟华 金春水 张立超 朱宏力 刘磊

[摘要]提出了一种离线精确测定金属铝薄膜光学常数的方法。与传统的原位测量方法相比,这种方法简便,不需要连接到真空室的复杂测量设备上。该方法以测量椭偏光谱曲线和分光光谱曲线为目标,考虑金属铝薄膜在空气中表面氧化的影...

 PDF全文光学 精密工程 | 2008, 16(09):1582-1588

 极紫外/软X射线多层膜衍射光栅

金春水 张立超

[摘要]多层膜光栅是集多层膜的高反射率与光栅的高光谱分辨于一身的新型光学元件,它的出现使得在极紫外/软X射线(EUV/SXR)波段采用非掠入射、高光谱分辨率的分光元件成为可能.对多层膜光栅的衍射特性进行了分析,这些衍射特性...

 PDF全文光电工程 | 2007, 34(05):27-32

 极紫外投影光刻两镜微缩投影系统的光学设计

王丽萍 金春水 张立超

[摘要]极紫外投影光刻(EuvL)两镜微缩投影物镜通常采用Schwarzschild结构和平场结构.本文分析了这两种结构在EUVL不同发展阶段的设计特点,并依据有限距反射系统像差理论,从解析解出发,设计了两套平场两镜系统,分别用于对分辨...

 PDF全文光电工程 | 2007, 34(12):113-117

 极紫外投影光刻掩模的多层膜与照明误差

杨雄 金春水 张立超

[摘要]讨论了极紫外投影光刻掩模的反射光谱随多层膜参量的变化,通过曲线拟合得到了峰值反射率、带宽和中心波长与多层膜粗糙度、材料比值以及周期厚度的9个函数关系.模拟了6镜极紫外投影光刻系统的反射光谱,并计算了晶圆...

 PDF全文光子学报 | 2006, 35(05):0667-670

 X射线W/B4C宽带多层膜的优化设计和制备

姚志华 金春水 杨雄 张立超 金伟华 曹健林

[摘要]介绍了X射线宽带多层膜材料W和B4C的选定方法,依据伯宁(BERNING)公式确定出了在0.154 nm处X射线宽带多层膜的最佳膜对数。引入适当的评价函数,利用具有全局寻优特性且效率较高的遗传算法,在波长0.154 nm处优化设计出了...

 PDF全文光学学报 | 2005, 25(10):1433-1435

 极紫外多层膜残余应力初步研究

向鹏 金春水 张立超 金伟华 刘颖敏 曹健林

[摘要]针对极紫外多层膜在激光等离子体诊断、极紫外光刻等方面的应用,进行了Mo/Si多层膜残余应力的实验研究,讨论了多层膜残余应力的成因.实验结果表明:Mo单层膜表现为张应力, Si单层膜表现为压应力;通过传统方法制备的13.0...

 PDF全文强激光与粒子束 | 2005, 17(03):377-380

首页上一页1下一页尾页