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   将选定结果: 

 用于InSb探测器芯片的激光划片工艺方案简析

李家发 曹立雅 张紫辰 侯煜

[摘要]针对InSb探测器芯片,基于紫外皮秒激光器搭建了定制化的光学平台和振镜系统。通过固定激光脉冲的重复频率,探讨了低能量多刀数以及高能量少刀数等工艺条件,获得了适合InSb探测器芯片激光划片的工艺条件。结果表明,热影...

 PDF全文红外 | 2018, 39(12):16

 532 nm平顶激光光束用于硅晶圆开槽的研究

李海鸥 韦春荣 王晓峰 张紫辰 潘岭峰

[摘要]根据衍射原理,设计并制备了平顶整形元件, 将激光能量由高斯分布转变为平顶分布。利用532 nm脉冲激光进行了硅晶圆激光划片实验, 研究了激光能量、划片速度及聚焦位置对划片效果的影响。结果表明, 基于平顶光束的激光划...

 PDF全文激光与光电子学进展 | 2017, 54(09):091407

 AlN陶瓷激光金属化的研究进展

黄平奖 王晓峰 李 琦 张紫辰 潘岭峰

[摘要]介绍了氮化铝(AlN)陶瓷激光金属化的进展和金属化过程中的问题以及主要解决方法。激光金属化利用激光的热效应使AlN表面发生热分解,直接生成金属导电层,该方法具有成本低、效率高、设备维护简单等优点。进一步介绍了...

 PDF全文激光与光电子学进展 | 2017, 54(07):070002

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