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 微型填充式气相色谱柱的制备

宁占武 孙建海 张艳妮 刘锦华 朱小锋 马天军 陈振海

[摘要]为了分离永久性气体及低碳轻化合物, 基于MEMS技术, 研究制备了一种微型填充式的气相色谱柱。为了增加色谱柱的长度以及深宽比, 色谱柱的沟道制备采用了激光刻蚀技术, 这种技术可以方便的在玻璃基底上刻蚀出深沟道, 这...

 PDF全文强激光与粒子束 | 2016, 28(06):064122

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