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 扫描干涉场曝光中关键技术的现状与发展趋势

程伟林 朱菁 张运波 曾爱军 黄惠杰

[摘要]扫描干涉场曝光(SBIL)在制作大尺寸、纳米精度的衍射光栅中有着独特的优势。为了充分了解SBIL 系统的技术特点,介绍了国内外SBIL 技术的发展现状,并针对SBIL 系统中的各个关键技术进行技术性的调研与总结,着重分析了...

 PDF全文激光与光电子学进展 | 2015, 52(10):100001

 外差激光干涉测长非线性误差的消除

侯文玫 张运波 乐燕芬 句爱松

[摘要]外差激光干涉仪能够通过光波细分达到亚纳米分辨率,因而在科学研究和精密机械制造中得到了广泛应用。然而,由于光学系统中不可避免的缺陷,导致被测信号中出现一个附加的相位误差,使测到的相位移和被测长度不呈线性...

 PDF全文中国激光 | 2012, 39(09):0908006

 采用变焦液体透镜的共焦检测系统的设计与仿真

张运波 侯文玫 郑继红

[摘要]共焦显微技术越来越广泛地应用于微机电系统和半导体器件的三维轮廓测量。设计一种新型采用变焦透镜作为轴向扫描方式的共焦显微系统,利用变焦透镜的焦距变化来代替传统的轴向位移扫描。系统实现了无机械运动的轴向扫描...

 PDF全文应用光学 | 2012, 33(01):14-18

 双路频分复用荧光共焦显微探测技术研究

唐平玉 郑继红 曹剑炜 张运波 蒋妍梦 黄爱琴 周增军 庄松林

[摘要]报道了结合频分复用技术来提高荧光共焦生物显微探测系统探测能力的实现原理和方法。通过对双路激发光信号的载频调制,将激发光聚焦到生物样品上产生荧光信号,再通过傅里叶变换、滤波和解调制过程,最后将两路荧光信...

 PDF全文激光与光电子学进展 | 2011, 48(09):091801

 采用数字微镜的共焦显微镜的研制

张运波 侯文玫 郑继红 官志超

[摘要]研究了基于数字微镜器件 (DMD)的多路并行共焦显微镜。利用 DMD产生特定的图案对光源进行调制, 形成多路并行共焦检测工作模式, 其作用相当于虚拟针孔阵列, 可以代替现有的并行扫描方式。采用 DMD作为共焦系统的并行横...

 PDF全文光电工程 | 2011, 38(06):65-70

 基于数字微镜的共焦显微系统的光路设计

官志超 张运波 侯文玫

[摘要]详细叙述了共焦技术中的横向扫描技术,介绍了基于数字微镜(DMD)的共焦显微镜结构与原理,建立了基于DMD的并行检测系统,并且进行了光路的优化设计。实验结果表明,采用传统共焦显微镜光路时,光线出射分光棱镜时存在棱镜内...

 PDF全文光学仪器 | 2011, 33(03):57-61

 近紫外波段频分复用荧光显微探测技术研究

张运波 郑继红 蒋妍梦 侯文玫 张仁杰 庄松林

[摘要]分析了多路频分复用并行显微荧光探测的基本原理,即把激发光分成多束,对每一束进行不同频率调制,聚焦到生物样品的不同位置,激发产生相应频率的荧光信号,再对光电倍增管(PMT)接收的荧光信号进行分频解调,实现实...

 PDF全文光学学报 | 2011, 31(06):0618002

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