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 光频扫描干涉绝对测距漂移误差与补偿方法研究

张雅雅 郭寅 任永杰 尚岳 刘洋 邾继贵

[摘要]光频扫描干涉(OFSI)技术是一种具有广阔发展前景的高精度绝对测距技术。在实际应用中, 该技术对光程差漂移非常敏感, 测量过程中光程差的微小漂移通过放大因子的放大, 引入显著的测量误差。详细分析了由于测量臂光程漂...

 PDF全文光学学报 | 2017, 37(12):1212001

 基于数字光刻投影系统的快速微加工技术

张雅雅 崔建国

[摘要]设计一种经济有效的微流体芯片加工方法,可以快速地在聚二甲基硅氧烷(PDMS)表面加工出不同尺寸的微流路.利用商用数字投影仪的成像原理,对其进行简单的改装,得到成缩小像的数字光刻投影系统(DLPS),并利用该系统在PDMS表...

 PDF全文应用光学 | 2015, 36(03):448

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