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 大气等离子体电极结构对碳化硅去除函数的影响

宋力 顿爱欢 王哲 吴伦哲 彭冰 徐学科

[摘要]大气等离子体抛光(APPP)是一种非接触式的化学刻蚀加工方法,具有效率高、成本低、精度高等优点,可以作为碳化硅(SiC)加工的一种有效手段。基于APPP气体放电理论和尖端电场畸变效应,分析了电极结构对等离子体放电稳定性...

 PDF全文中国激光 | 2020, 47(10):1002002

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