首页 > 论文 > 标签

Hi,您目前在 全部期刊 '彭卓君', 共找到 2个内容。

   将选定结果: 

 照明物镜数值孔径对微孔衍射波前质量影响分析

齐月静 卢增雄 杨光华 刘成涛 彭卓君

[摘要]通过微孔衍射产生高质量的球面波是进行夏克-哈特曼波前传感器(SHWS)高精度标定的关键。采用时域有限差分(FDTD)法,进行了193 nm 准分子激光照明下有限厚度有限电导率微孔的衍射仿真计算,分析了照明物镜数值孔径(NA)...

 PDF全文中国激光 | 2015, 42(02):0208001

 纳米精度波像差检测随机点源阵列照明优化分析

卢增雄 齐月静 齐威 苏佳妮 彭卓君

[摘要]在基于夏克-哈特曼波前传感器的深紫外物镜系统波像差检测中,均匀高亮度的照明光束是实现纳米精度波像差检测的关键。采用时域有限差分法和部分相干性理论对随机排列微孔阵列衍射波前的强度对比度进行了优化。与周期排...

 PDF全文光学学报 | 2015, 35(06):0612007

首页上一页1下一页尾页