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 激光诱导薄膜等离子体点燃时间及其影响因素

汪桂霞 苏俊宏 徐均琪 杨利红 吴慎将

[摘要]将波长为1064 nm的纳秒Nd∶YAG脉冲激光聚焦在单层Al膜上,诱导其产生等离子体闪光,模拟计算了等离子体闪光的点燃时间(tm),分别得到了tm与激光波长、入射激光能量、聚焦光斑半径、脉宽等激光作用参数的关系曲线,研...

 PDF全文光学学报 | 2017, 37(04):0431001

 激光诱导击穿光谱在薄膜损伤分析中的应用

葛锦蔓 苏俊宏 徐均琪 陈磊 吕宁 吴慎将

[摘要]提出了应用激光诱导击穿光谱技术对薄膜损伤特性进行表征的方法,研究了纳秒脉冲激光作用下薄膜损伤时的等离子体光谱特征,并应用该技术对薄膜的抗激光损伤特性进行了测量.实验测得,HfO2单层膜在78 mJ的激光能量的辐...

 PDF全文光子学报 | 2016, 45(04):0414004

 基片温度对磁控溅射HfO2薄膜结构和性能影响分析

惠迎雪 刘政 王钊 刘卫国 徐均琪

[摘要]在纯氧条件下,采用直流磁控溅射技术在单晶硅基片上沉积氧化铪(HfO2)薄膜,并研究了沉积过程中基片温度对薄膜结构和性能的影响规律。利用X射线衍射仪(XRD)和X射线能谱(XPS)表征了薄膜的晶体结构和组分,利用原子力显...

 PDF全文应用光学 | 2016, 37(06):872

 金属Ag高反膜的激光损伤特性研究

侯妮妮 苏俊宏 徐均琪 吴慎将

[摘要]高反膜的抗激光损伤特性严重影响着激光系统中激光器有效输出功率的提高。因此提高高反膜的抗激光损伤特性就成为了关键。在真空箱式镀膜机中采用阻蒸发法制备Ag膜,电子束蒸发的方法制备介质保护膜,采用Lambda950测试其...

 PDF全文光学与光电技术 | 2016, 14(01):90

 钛酸镧薄膜的制备及工艺优化

杭良毅 徐均琪 程耀进 苏俊宏

[摘要]为了获得制备钛酸镧(LaTiO3)薄膜的最优工艺条件, 采用电子束热蒸发技术在K9基底上制备了单层LaTiO3激光薄膜。研究了不同工艺条件对LaTiO3薄膜激光损伤特性的影响。研究结果表明, 对LaTiO3薄膜激光损伤阈值(laser-ind...

 PDF全文应用光学 | 2015, 36(06):948

 类金刚石薄膜及其进展

苏俊宏 葛锦蔓 徐均琪 吴慎将 陈 磊

[摘要]为了使研究者能更详细地了解类金刚石(DLC)薄膜的研究现状, 综述了类金刚石薄膜的特性及应用, 分析对比了目前常用的一些类金刚石薄膜的制备方法, 包括物理气相沉积法(PVD)和化学气相沉积法(CVD), 并对类金刚石薄膜的抗...

 PDF全文应用光学 | 2015, 36(05):799

 PECVD技术制备单层光学薄膜抗激光损伤特性研究

李鹏 杭凌侠 徐均琪 李林军

[摘要]采用PECVD技术在BK7玻璃基底上沉积了不同厚度的单层SiO2(折射率为1.46)和SiNx(折射率为1.84)光学薄膜,并对这2种膜层进行抗激光损伤阈值(LIDT)测试,分析讨论了PECVD技术制备的单层光学薄膜与抗激光损伤特性之间的关系...

 PDF全文应用光学 | 2015, 36(02):206

 横向电场下的类金刚石薄膜激光损伤

吴慎将 王楠 苏俊宏 徐均琪 葛锦蔓 刘斌 郭淑玲

[摘要]类金刚石(DLC)薄膜在红外区有很高的透过率,但激光损伤阈值低,严重限制了其应用领域。采用直接在DLC薄膜上沉积Ti电极,基于激光损伤阈值(LIDT)测试平台,用1-on-1零几率损伤法,研究了在不同偏置电场下DLC薄膜损...

 PDF全文强激光与粒子束 | 2015, 27(09):092003

 离子束流后处理对类金刚石薄膜激光损伤特性的影响

吴慎将 苏俊宏 惠迎雪 徐均琪 葛锦蔓

[摘要]类金刚石薄膜激光损伤阈值低,已经严重制约其在红外激光系统中的应用。基于非平衡磁控溅射技术,在硅基底上沉积类金刚石薄膜;采用离子束流后处理技术,用正交实验法确定影响处理效果的主要因素,对已沉积完成的DLC薄...

 PDF全文强激光与粒子束 | 2015, 27(11):114006

 辐照激光能量对SiO2薄膜特性及结构的影响

郭芳 徐均琪 苏俊宏 党少坤 基玛·格拉索夫

[摘要]为了认识SiO2薄膜在激光辐照下的变化, 本文以K9玻璃为基底, 采用电子束热蒸发方法制备了SiO2薄膜, 并将此组在相同实验条件下制备的薄膜加以不同能量的激光辐照, 研究在激光辐照前后样片的透射率、折射率、消光系数、...

 PDF全文应用光学 | 2014, 35(02):348-352

 薄膜损伤的闪光光谱峰值位判别方法

苏俊宏 赵丹 徐均琪

[摘要]光学薄膜的激光损伤阈值是衡量光学薄膜抗激光损伤能力的重要参数,而测量损伤阈值的关键是准确地判定损伤是否发生。为解决常见损伤判别方法的不足,尤其是误判问题,提出了一种新的判别方法闪光光谱峰值位法。激光辐...

 PDF全文光学学报 | 2012, 32(s1):s131003

 外加偏置电场下类金刚石薄膜激光损伤形貌

吴慎将 苏俊宏 施卫 王馨梅 徐均琪

[摘要]使用非平衡测控溅射技术沉积了类金刚石薄膜, 对比了外加偏置电场前后薄膜的抗激光损伤表面形貌变化, 发现薄膜施加偏置电场后, 薄膜的激光损伤区域内有大量丝状薄膜, 损伤形貌存在明显不同, 损伤面积减小, 薄膜的激光...

 PDF全文强激光与粒子束 | 2012, 24(01):207-209

 类金刚石薄膜光学参数反演的改进遗传算法

李建超 苏俊宏 徐均琪

[摘要]椭偏法测试薄膜不能直接得到薄膜的光学参数,需进行数值反演算法近似求解。采用遗传算法,借鉴竞争选择、小生境和适应值调节思想,对选择算子、变异算子、交叉算子三个重要算子进行了适当改进,改进后算法有效防止了...

 PDF全文激光与光电子学进展 | 2011, 48(03):031201

 干涉条纹图像处理的相位解包新方法

万文博 苏俊宏 杨利红 徐均琪

[摘要]干涉图的处理是光干涉计量中的关键技术。采用泰曼-格林型干涉系统,建立被测物与干涉相位之间的数学模型,通过MATLAB软件,实现对被测参数的自动化测量。基于二维快速傅里叶方法的基本原理,提出一种新的相位解包算法...

 PDF全文应用光学 | 2011, 32(01):70-74

 基于FFT的薄膜厚度干涉测量新方法

帅高龙 苏俊宏 杨利红 徐均琪

[摘要]在研究二维FFT法进行干涉测试基本原理的基础上,提出一种基于二维FFT的薄膜厚度测量新方法。利用搭建的泰曼-格林型干涉系统,用CCD接收、采集卡采集,可获得被测膜层的干涉条纹图像。编制算法处理软件,可实现对干涉...

 PDF全文光学与光电技术 | 2009, 7(01):55-57

 多层薄膜光学常数的椭偏法研究

徐均琪 冯小利

[摘要]研究了椭偏测量中多层薄膜拟和模型建立的过程,并对一未知多层光学薄膜进行了椭偏分析,建立了substrate/film1/EMA/film2/srough 的物理结构模型。采用椭偏法,在首先确定出基底光学常数的基础上,提出了从单层、双层...

 PDF全文光电工程 | 2009, 36(02):29-33

 UBMS技术制备DLC薄膜的光学常数椭偏分析

李倩 杭凌侠 徐均琪

[摘要]采用宽光谱变角度椭圆偏振仪对非平衡磁控溅射(UBMS)技术沉积的类金刚石(DLC)薄膜的光学常数进行了测量与分析。在建立模型时,根据DLC薄膜成膜特性,分析和调整了模型结构;综合考虑了表面粗糙度、薄膜与基底表面及界...

 PDF全文应用光学 | 2009, 30(01):105-109

 基于相位偏移干涉术的薄膜厚度测量方法

石一磊 苏俊宏 杨利红 徐均琪

[摘要]为解决薄膜厚度的高精度测量问题,提出一种基于相位偏移干涉术的薄膜厚度测量新方法,利用该方法对一个实际SiO2薄膜样片进行测试,通过对所获取的干涉图进行相位解包及数据分析处理,实现对薄膜样片厚度的精确测试。...

 PDF全文应用光学 | 2009, 30(01):76-79

 宽束冷阴极离子源离子能量及能量分布的研究

徐均琪 弥谦 杭凌侠 严一心 董网妮

[摘要]介绍了一种用于离子束辅助沉积光学薄膜的新型宽束冷阴极离子源,详细叙述了该源的结构和工作过程。采用五栅网离子能量测试装置研究了离子源的离子能量及能量分布。结果表明,探针接收的离子最低能量随着引出电压和真空...

 PDF全文光电工程 | 2008, 35(06):23-27

 类金刚石薄膜的激光损伤特性及工艺优化

徐均琪 樊慧庆 刘卫国 苏俊宏

[摘要]采用脉冲真空电弧沉积(PVAD)技术制备了类金刚石(DLC)薄膜,并对其抗激光损伤特性进行了研究,优化了制备工艺。对DLC薄膜激光损伤阈值(LIDT)的测试结果表明,随着厚度的增加,薄膜的LIDT开始呈下降趋势,当厚度达到100nm以...

 PDF全文光电工程 | 2008, 35(12):45-49

 He-Ne散射光检测光学薄膜激光损伤阈值

娄俊 苏俊宏 徐均琪 谢松林

[摘要]准确测定光学薄膜的激光损伤阈值可以衡量光学薄膜的抗激光损伤能力,测定损伤阈值的关键是准确地判定损伤的发生与否。建立了He-Ne散射光检测光学薄膜激光损伤阈值系统。通过测量同一样品点的He-Ne散射光能量变化来...

 PDF全文应用光学 | 2008, 29(01):0131-135

 非平衡磁控溅射DLC薄膜应力研究

杭凌侠 Y.Yin 徐均琪 李建超

[摘要]类金刚石(DLC) 薄膜可用作红外增透保护膜,高的薄膜残余应力造成薄膜附着力下降是目前应用中存在的主要问题之一.本文从DLC薄膜作为红外增透保护膜的需求出发,采用非平衡磁控溅射技术生长DLC薄膜.实测了薄膜的残余应力...

 PDF全文光电工程 | 2005, 32(10):1-5

 基于ANSYS的二维谐性磁场分析

李龙奎 苏俊宏 徐均琪 王笑丹

[摘要]非平衡磁控溅射镀膜机中的磁场分布对镀膜有着重要的影响.介绍一种利用有限元法求解非平衡磁控溅射镀膜机中带电线圈所产生的磁场的方法.根据电磁场理论,推导出求解带电线圈所产生的磁场的计算模型,利用基于有限元法的...

 PDF全文应用光学 | 2005, 26(06):35-37

 类金刚石薄膜光学常数拟合模型的合理性研究

李建超 苏俊宏 徐均琪

[摘要]由于椭偏光谱测量结果不能直接反映所测量样品材料的结构和光学性质,所以需要利用最小二乘法来拟合分析椭偏光谱数据得到光学常数。而椭偏光谱分析依赖于构建的模型,且可能存在多模型解,因此考虑模型的合理性就显得...

 PDF全文应用光学 | 2004, 25(05):56-59

 确定薄膜光学常数的一种新方法

徐均琪 刘梦夏 弥谦

[摘要]介绍用光谱曲线同时确定薄膜材料折射率n、消光系数k和薄膜厚度d的方法,给出严格的计算公式和处理过程,以及计算程序框图。用微型计算机很容易实现这一计算。

 PDF全文应用光学 | 2001, 22(03):25-27

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