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 HEMT太赫兹探测器的二维电子气特性分析

李金伦 崔少辉 徐建星 袁野 苏向斌 倪海桥 牛智川

[摘要]采用分子束外延技术(MBE)对GaAs/AlxGa1-xAs二维电子气(2DEG)样品进行了制备, 样品制备过程中, 通过改变Al的组分含量、隔离层厚度、对比体掺杂与δ掺杂两种方式, 在300 K条件下对制备的样品进行了霍尔测试, 获得了室温...

 PDF全文红外与毫米波学报 | 2017, 36(06):790

 片上太赫兹天线集成器件LT-GaAs外延转移工艺

郭春妍 徐建星 彭红玲 倪海桥 汪韬 田进寿 牛智川 吴朝新 左剑 张存林

[摘要]提供了一种实现片上太赫兹天线集成器件光电导开关材料低温GaAs(LT-GaAs)外延层的转移工艺, 使用HNO3-NH4OH-H2O-C3H8O7·H2O溶液-H2O2-HCl腐蚀体系化学湿法腐蚀分子束外延(MBE)生长的外延材料, Hall测试表明MBE生...

 PDF全文红外与毫米波学报 | 2017, 36(02):220

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