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 基于粗对准与精对准信号分开探测的对准系统

李运锋 韦学志 宋海军 徐荣伟

[摘要]提出了一种用于光刻装置的对准系统。该对准系统所用的标记包含多个相位子光栅。其中,标记±1级衍射光的光强信息用于产生粗对准信号。在粗对准信号上,通过峰值检测和信号拟合获得最大峰值点,该峰值点即为粗对准...

 PDF全文光学与光电技术 | 2009, 7(06):61-64

 精密光束偏离装置棱镜组件的光机热分析

李安虎 孙建锋 朱勇建 徐荣伟 刘立人

[摘要]以精密光束偏离装置的棱镜组件为有限元模型,进行了光机热集成分析.对棱镜组件的结构强度进行了校核,分析了机械载荷作用下的镜面变形;通过模态分析,给出了装置的动态特性和镜面面形振动幅值的变化情况;最后对棱...

 PDF全文光子学报 | 2006, 35(07):1007-1012

 棱镜自重变形对波面影响的研究

张德江 刘立人 孙建锋 徐荣伟 李大汕

[摘要]采用有限元方法分析了单棱镜在重力作用下三个典型位置的表面变形,对棱镜表面Φ425 mm通光孔径轴向变形量进行Zernike多项式拟合,画出了相应的波差图,并确定设计方案.进一步选择Φ360mm口径光束对双棱镜在几种典型...

 PDF全文光子学报 | 2006, 35(04):0618-621

 马赫曾德尔型相移矢量剪切干涉仪

徐荣伟 刘宏展 刘立人

[摘要]为了实现对激光波面的等光程测试,设计了一个新颖的相移矢量剪切干涉仪。该干涉仪以马赫曾德尔结构为基础,为等光程干涉仪。通过在相干的两路光束中分别插入楔角方向正交放置的楔板实现矢量剪切;其中一块楔板分成两...

 PDF全文光学学报 | 2006, 26(02):269-274

 圆孔受限波差高斯光束的远场近似及发散度分析

刘宏展 徐荣伟 刘立人 栾竹

[摘要]引入复高斯函数对衍射受限的圆孔进行了复高斯分解,得到了波差高斯光束远场衍射的近似解析式。在各种参量条件下,近似解析式所表示的衍射图样与严格的夫琅和费衍射积分的衍射图样完全一致,这表明用此解析式表征远场...

 PDF全文光学学报 | 2006, 26(01):131-135

 大型光学镜子热弹性变形的有限元分析

张德江 刘立人 徐荣伟 李大汕

[摘要]简述了利用ANSYS软件对大型光学镜子热弹性变形进行有限元分析的一般方法,强调了在分析过程中应该注意的一些问题和实用技巧,并给出了一个分析透镜重力变形的实例。

 PDF全文激光与光电子学进展 | 2005, 42(01):28-31

 近衍射极限半导体激光束波面检测

刘宏展 刘立人 徐荣伟 栾竹 滕树云

[摘要]在星间半导体激光通信系统中,如何检测发射光束波面的质量是个较难处理的问题,为了较好地解决这一问题,在简单介绍白光横向双剪切干涉仪的基础上,报道了用此干涉仪对近衍射极限半导体激光光束波面的检测,在此基础上推导...

 PDF全文中国激光 | 2005, 32(04):519-523

 大型干涉仪镜子的支承设计与温度变形分析

徐荣伟 刘立人 刘宏展 张德江

[摘要]在星间激光通信中,涉及对大口径衍射极限激光波面的检测,为保证测量精度,必须严格控制波面干涉仪镜子的自重和温度变形。采用有限元方法对大型干涉仪镜子在不同支承方式下的表面变形进行了分析,结果表明,接触角为180&#...

 PDF全文光学学报 | 2005, 25(06):809-815

 矩阵理论在半导体激光器耦合中的应用

刘宏展 刘立人 徐荣伟 潘卫清

[摘要]傍轴近似下的光学矩阵理论,可以简化光束传输计算过程,使光学系统设计更为方便。将ABCD变换矩阵方法引入到耦合光学系统的设计中,运用高斯光束的ABCD法则,详尽地给出了某一耦合方式下的半导体激光器耦合入单模光纤系统...

 PDF全文光学学报 | 2005, 25(06):825-828

 透镜自重变形引起波像差的有限元分析

张德江 刘立人张德江 徐荣伟张德江 李大汕张德江

[摘要]在用大口径、长焦距平行光管模拟激光远场特性时,其光组透镜在重力作用下的变形不能忽略,为了分析对出射光束质量的影响,采用有限元分析软件“ANSYS”建立了平行光管光组中??400 mm平凸透镜的有限元模型,给出一种分析透...

 PDF全文光学学报 | 2005, 25(04):538-541

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