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   将选定结果: 

 基于光谱估计与多光谱技术的光学元件表面疵病检测

杨言若 步扬 徐静浩 王少卿 王向朝 李杰

[摘要]为实现精密光学元件表面疵病的高效测量和精确统计,提出了一种基于光谱估计和多光谱技术的光学元件表面疵病检测方法。该方法利用光谱估计提取白光图像中不同波长的单光谱疵病图像,并合成多光谱疵病图像,然后采用优化后...

 PDF全文中国激光 | 2019, 46(09):0904002

 基于多光谱技术的光学元件表面疵病检测

罗茂 步扬 徐静浩 王向朝

[摘要]为实现对光学元件表面疵病的精确测量和计数, 提出了一种基于多光谱技术的光学元件表面疵病检测方法, 该方法采用不同波长的入射光源均匀照明光学元件表面, 通过暗场显微成像系统获得不同波长下的表面疵病图像。基于该...

 PDF全文中国激光 | 2017, 44(01):0104001

 平面面形绝对检验技术测量误差分析

徐洋 唐锋 王向朝 徐静浩 范李立 程欣

[摘要]绝对检验消除了参考面面形误差对干涉测量精度的制约,可实现纳米精度的面形测量。对现有主要平面面形绝对检验技术进行了总结比较,运用泽尼克多项式前36项构建被测平面,对边缘噪声、平面原始精度、旋转角度与偏心误...

 PDF全文中国激光 | 2011, 38(10):1008009

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