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 极紫外光刻掩模相位型缺陷的形貌重建方法

成维 李思坤 王向朝 张子南

[摘要]提出了一种极紫外光刻掩模多层膜相位型缺陷的形貌重建方法。采用表面与底部形貌参数表征相位型缺陷的三维形貌;采用原子力显微镜测量缺陷表面形貌参数;采用傅里叶叠层成像技术重建含缺陷的空白掩模空间像复振幅;采用卷...

 PDF全文光学学报 | 2020, 40(10):1005001

 基于机器学习校正的极紫外光刻含缺陷掩模仿真方法

张恒 李思坤 王向朝 成维

[摘要]提出了一种基于机器学习参数校正的极紫外光刻三维含缺陷掩模仿真方法。本方法采用随机森林、K近邻等机器学习方法,对基于结构分解法的含缺陷掩模衍射谱快速仿真模型的参数进行动态校正,提高了模型的精度及适应性。以...

 PDF全文光学学报 | 2018, 38(12):1222002

 X射线编码孔径成像中的一种高精度图像重构方法

胡家升 程丽红 曹磊峰 董建军 丁永坤

[摘要]在惯性约束聚变实验的过程诊断研究中,采用环形编码孔径成像技术可以同时获得高的空间分辨力和时间分辨力。获得高的空间分辨力的关键之一是如何准确地获得目标的点扩展函数。通常采用直接投影法。但这种方法忽略了X射...

 PDF全文光学学报 | 2005, 25(12):1611-1615

 惯性约束聚变中环孔编码图像恢复的改进维纳滤波方法

刘晓辉 郭成安 胡家升

[摘要]针对惯性约束聚变(ICF)中环形孔径编码图像的恢复问题提出了一种改进的维纳滤波方法。在传统的维纳滤波方法中,由于原图像和噪声是未知的,故通常是用某一待定常量来代替其中的噪声与信号的谱密度之比。这种近似忽视了信...

 PDF全文光学学报 | 2004, 24(08):1045-1050

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