首页 > 论文 > 标签

Hi,您目前在 全部期刊 '戴凤钊', 共找到 3个内容。

   将选定结果: 

 超高NA光刻投影物镜高阶波像差检测方法

诸波尔 王向朝 李思坤 孟泽江 张恒 戴凤钊 段立峰

[摘要]提出了一种基于八角度孤立空检测标记的超高NA光刻投影物镜高阶波像差检测方法。通过对八角度孤立空检测标记的空间像进行主成分分析(PCA)和多元线性回归分析,构建了超高NA光刻投影物镜的空间像光强分布与高阶波像差之...

 PDF全文光学学报 | 2017, 37(04):0412003

 光栅横向剪切干涉仪及其系统误差分析

李杰 唐锋 王向朝 戴凤钊 冯鹏

[摘要]在分析光栅横向剪切干涉仪典型结构及系统参数配置,给出其适用范围的基础上,系统研究了该干涉仪结构最显著的系统误差:几何光程误差和探测器倾斜误差。采用Zernike多项式给出波前重建前后系统误差项的解析表达式;对...

 PDF全文中国激光 | 2014, 41(05):0508006

 二维快速傅里叶变换干涉图相位提取误差分析

张敏 唐锋 王向朝 戴凤钊

[摘要]基于ZYGO干涉仪实测干涉图,利用二维快速傅里叶变换(FFT)法进行相位提取,并与相移干涉相位测量结果进行比对,对影响FFT法相位提取精度的边缘误差、窗函数、滤波器设计、干涉图延拓以及载波条纹数等因素进行了综合分...

 PDF全文中国激光 | 2013, 40(03):0308002

首页上一页1下一页尾页