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 紫外飞秒激光的脉宽测量方法

陈 星 游利兵 尹广玥 方晓东

[摘要]相对于近红外波段的飞秒激光脉冲, 紫外波段的飞秒脉冲由于具有单光子能量高、聚焦特性好、电离率高和成丝阈值低等优点, 在高功率密度光场的产生、等离子体光物理等领域有着越来越广阔的应用前景, 成为激光技术的研究...

 PDF全文激光技术 | 2019, 43(02):205

 新型光刻技术研究进展

何立文 罗 乐 孟 钢 邵景珍 方晓东

[摘要]集成电路光刻作为传统光刻技术的典型代表, 支撑着集成电路芯片的快速发展。新一代光刻技术具有工艺多样化、光刻精度高、光刻效率高的优点, 在研发新型光电子器件、实现3维微纳结构、构建有序纳米孔通道等方面有很大的...

 PDF全文激光技术 | 2019, 43(01):30

 应用LIBS技术检测食盐中的镉

陈 亮 游利兵 罗贤锋 尹广玥 方晓东

[摘要]为了实现食盐中重金属镉(Cd)的快速定量检测, 以193nm的自制准分子激光器作为激发光源, 通过外部添加重金属元素Cd制作了8组食盐样品, 采用激光诱导击穿光谱(LIBS)技术, 选取Cd Ⅰ228.8nm特征谱线作为分析线, 进行...

 PDF全文激光技术 | 2019, 43(01):6

 准分子激光线形光束晶化非晶硅薄膜

尹广玥 游利兵 陈星 邵景珍 陈亮 王庆胜 方晓东

[摘要]准分子激光线形光束在多晶硅薄膜的工业生产中有重要应用。基于自行研制的激光退火设备输出的线形XeCl 准分子激光对等离子体增强化学气相沉积制备的大尺寸非晶硅薄膜进行退火处理。研究了线形光束的能量密度、辐照数量...

 PDF全文量子电子学报 | 2019, 36(02):219

 全固态高压脉冲电源在半导体光刻光源中的应用

游利兵 程 超 方晓东

[摘要]简要回顾了半导体光刻的发展历程以及准分子激光作为光源在半导体光刻中的需求。简述了高压脉冲电源的基本原理及应用, 介绍了全固态高压脉冲电源的结构和特点。着重阐述了全固态高压脉冲电源在光刻用准分子激光器和EU...

 PDF全文强激光与粒子束 | 2019, 31(04):040019

 聚合物光纤光栅制备进展

褚状状 游利兵 王庆胜 尹广玥 陈 亮 方晓东

[摘要]聚合物光纤光栅不仅具有体积小、质量轻、柔软、成本低等诸多优点, 还因聚合物自身的特性而具有灵敏度高、响应范围宽、生物兼容性等优良特性。首先梳理了聚合物光纤的光敏性机理, 概述了聚合物光纤光栅制备的刻蚀光源...

 PDF全文激光技术 | 2018, 42(01):11

 准分子激光微加工应用研究进展

何立文 方晓东

[摘要]准分子激光加工技术基于光化学机制。准分子激光具有波长短、重复频率高、单脉冲能量大、 输出光斑大 且能量分布均匀等特点,在精准和高效微加工领域有着独特的优势。准分子激光微加工可以减小热影响区(Heat affected ...

 PDF全文量子电子学报 | 2018, 35(06):641

 用于FBG刻写的小型准分子激光器实验研究

张威 方晓东 梁勖

[摘要]248 nm的KrF准分子激光是光纤布拉格光栅(FBG)的首选刻蚀光源。针对FBG的刻写要 求,研制了一台小型化KrF准分子激光器,并进行了机械结构设计和改进。实验研究了充电电压、 放电电容、工作气体配比和储气腔内的气体压力...

 PDF全文量子电子学报 | 2018, 35(03):300

 氧化锌薄膜的准分子激光退火热效应模拟分析

邵景珍 王 玺 胡红涛 方晓东

[摘要]基于热传导方程建立了ZnO薄膜的准分子激光辐照理论模型,模拟分析了KrF准分子激光辐照ZnO薄膜的热效应。计算了薄膜的温度场分布和热流分布,讨论了激光作用过程中的温度随时间的变化关系,分析了激光能量密度对薄膜温...

 PDF全文激光与光电子学进展 | 2017, 54(06):061401

 高灵敏紫外激光脉冲能量在线检测系统设计

李文洁 赵读亮 林 颖 梁 勖 方晓东

[摘要]介绍了一种基于PIN光电二极管的紫外激光脉冲能量在线检测系统。首先, 采用激光主光路外的检测光实现激光脉冲能量的无损在线响应; 其次, 采用高速高精度积分电路将响应光电流处理为电压峰值; 最后, 利用激光系统的同步...

 PDF全文红外与激光工程 | 2017, 46(同学12):1222002

 准分子激光皮肤治疗仪能量稳定性研究

赵读亮 李文洁 梁勖 方晓东

[摘要]为了满足308 nm准分子激光皮肤治疗仪对激光输出参数, 特别是激光能量稳定性的要求, 首先建立了激光能量衰减模型, 提出了基于激励电压补偿能量的比例积分(PI)算法, 对PI算法进行了理论分析、模拟实现; 其次对准分子激...

 PDF全文红外与激光工程 | 2017, 46(同学12):1206001

 高灵敏紫外激光脉冲能量在线检测系统设计

李文洁 赵读亮 林 颖 梁 勖 方晓东

[摘要]介绍了一种基于PIN光电二极管的紫外激光脉冲能量在线检测系统。首先, 采用激光主光路外的检测光实现激光脉冲能量的无损在线响应; 其次, 采用高速高精度积分电路将响应光电流处理为电压峰值; 最后, 利用激光系统的同步...

 PDF全文红外与激光工程 | 2017, 46(12):1222002

 准分子激光皮肤治疗仪能量稳定性研究

赵读亮 李文洁 梁勖 方晓东

[摘要]为了满足308 nm准分子激光皮肤治疗仪对激光输出参数, 特别是激光能量稳定性的要求, 首先建立了激光能量衰减模型, 提出了基于激励电压补偿能量的比例积分(PI)算法, 对PI算法进行了理论分析、模拟实现; 其次对准分子激...

 PDF全文红外与激光工程 | 2017, 46(12):1206001

 用于低温多晶硅制备的线光束整形系统

尹广玥 游利兵 王庆胜 褚状状 陈亮 方晓东

[摘要]设计了一套用于准分子激光低温多晶硅制备的线光束整形系统。系统中设置的光斑转换模块可使原始光束截面横纵倒置; 利用扩束模块对原始光束的短轴进行准直, 其扩束倍率可限定短轴光束尺寸, 以配合短轴光束均匀模块的孔...

 PDF全文中国激光 | 2017, 44(09):0906002

 准分子激光器中张氏面型电极的电场仿真研究

朱能伟 方晓东 梁 勖 赵读亮

[摘要]为了获得准分子激光器高脉冲能量输出, 采用张氏面型电极的理论, 设计了一套能产生大面积均匀电场的紧凑型电极。通过ANSYS软件数值仿真获得了电极表面电场分布, 并与紧凑型张氏面型电极的理论计算结果进行了对比验证;...

 PDF全文激光技术 | 2017, 41(05):680

 紫外激光诱导击穿光谱的应用与发展

陈 亮 游利兵 王庆胜 尹广玥 褚状状 方晓东

[摘要]激光诱导击穿光谱(LIBS)技术是一种基于原子发射光谱的元素分析技术, 是元素分析领域重要的研究手段。作为LIBS分析的激发光源, 紫外激光具有光子能量大、空间分辨率高等优点, 可以提高烧蚀效率、减少分馏效应, 在地质...

 PDF全文激光技术 | 2017, 41(05):619

 电激励准分子激光系统的电磁辐射和抑制

赵读亮 梁 勖 方晓东

[摘要]为了抑制电激励准分子激光系统产生的强电磁干扰, 采用电磁辐射理论分析了准分子激光器电磁辐射机理, 确定了激光器辐射干扰源主要来源于激光器的主放电回路、出光口和氢闸流管; 采用近场探头分别对各关键部位不同距离...

 PDF全文激光技术 | 2017, 41(04):484

 放电准分子激光电磁干扰环境下控制系统设计

马英岚 梁 勖 赵读亮 方晓东

[摘要]为了在放电激励准分子激光的电磁干扰环境下, 实现有效的抗干扰控制系统设计, 采用全光纤接口设计和基于电压频率转换实现的高精度模拟信号传输的方法, 取得了放电准分子激光空间电磁干扰强度和压频转换波形等数据, 进...

 PDF全文激光技术 | 2017, 41(02):210

 激光辐照GaN改善其欧姆特性的研究进展

胡红涛 邵景珍 方晓东

[摘要]GaN材料在高频、高功率、高温、高密度集成电子器件等领域具有广阔的应用前景,是全球半导体领域研究的前沿和热点。近几年,对低接触电阻率的金属/GaN欧姆接触的研究取得了巨大 进步,但金属/GaN欧姆接触仍是制约GaN器件...

 PDF全文量子电子学报 | 2017, 34(06):641

 两种形貌FeS2的合成及其在染料敏化太阳能电池上的应用

宋超 董伟伟 王时茂 邵景珍 方晓东

[摘要]通过对比FeS2颗粒两种形貌的催化活性及在染料敏化太阳能电池(DSSCs)上的表现,选择出性能更高的FeS2颗粒。 通过水热法和热注入法合成了立方体和球状高纯度FeS2,将FeS2制备成对电极(CEs)并组装在DSSCs上。 通过测试电池...

 PDF全文量子电子学报 | 2017, 34(05):628

 KrF激光和脉冲CO2激光损伤K9玻璃的实验对比与分析

王玺 方晓东

[摘要]对KrF准分子激光辐照K9玻璃进行了损伤实验, 并与脉冲CO2激光损伤K9玻璃进行了对比分析, 研究了紫外和远红外两种激光系统对同种光学材料的损伤特性。实验结果结果表明, KrF准分子激光和脉冲CO2激光对K9玻璃的损伤形貌...

 PDF全文红外与激光工程 | 2016, 45(12):1206009

 用于制作FBG的紧凑型准分子激光器的研究

张 威 梁 勖 陶汝华 方晓东

[摘要]248 nm的KrF准分子激光器在光刻、科研等领域有重要的应用。研制了一台用于刻写光纤布拉格光栅的准分子激光器,设计并完善激光器的机械结构,分析了激光器的均匀放电、预电离等关键技术。通过研究充电电压、工作气体配...

 PDF全文红外与激光工程 | 2016, 45(01):0105001

 基于FLUENT的准分子激光器气体流场数值仿真

朱能伟 方晓东

[摘要]利用ICEM软件对简化后的准分子激光器气体流道进行二维截面网格划分。基于realizable k-ε湍流模型和多参考系(MRF)模型,利用FLUENT软件对激光器内部气体流动进行稳态流场仿真,获得了气体流动速度大小和分布。仿真结...

 PDF全文中国激光 | 2016, 43(09):0901007

 一种放电引发非链式氟化氘脉冲激光器研究

游利兵 尹广玥 王庆胜 方晓东

[摘要]设计了一种紧凑型放电引发非链式氟化氘(DF)脉冲激光器,引入基于闸流管的一级磁脉冲压缩高压快上升沿放电引发回路,形成39.5 kV、100 ns上升沿高压快脉冲。紧凑型张氏放电电极结合紫外(UV)火花预电离,在电极间距为...

 PDF全文中国激光 | 2016, 43(05):0502003

 用于平板显示LTPS制备的ELA光束整形系统

尹广玥 游利兵 方晓东

[摘要]介绍了多晶硅薄膜较非晶硅薄膜在平板显示领域的优势以及准分子激光晶化制备多晶硅膜的结晶过程。介绍了透镜阵列实现匀光的原理。阐述了典型的准分子激光退火线型光束整形系统的扩束、匀光、投影等结构。并介绍了连续...

 PDF全文激光技术 | 2016, 40(03):383

 烧结时间对羟基磷灰石靶的影响

孙伟 罗乐 赵读亮 严中亚 程光存 方晓东

[摘要]为了研究烧结时间对羟基磷灰石靶的影响,将纯度为99%的羟基磷灰石粉末压制成 圆盘形靶,并在氩气中保持800°C恒温分别烧结12、16、20、24 h。用X射线衍射仪(XRD)和X射线 光电子能谱仪(XPS)检测不同烧结时间的羟基磷...

 PDF全文量子电子学报 | 2016, 33(05):610

 通过优化工作气体分压提高 准分子激光器脉冲能量输出

邱红松 游利兵 王庆胜 方晓东

[摘要]分别研究了Ne、F2和Kr对KrF准分子激光器脉冲能量输出的影响。理论分析了Ne作为缓冲气体在激光器放电过程 中的碰撞过程,并对Ne与其他种类缓冲气体进行了对比分析。F2分压对脉冲能量输出的影响非常明显。工作气体中Kr...

 PDF全文量子电子学报 | 2016, 33(03):296

 焦耳级放电激励紫外预电离HF激光器

王庆胜 游利兵 尹广玥 褚状状 方晓东

[摘要]研制了一台采用紫外火花预电离和横向放电结构的非链式电激励脉冲HF激光装置,采用氢闸流管结合一级磁脉冲压缩开关的高功率电激励系统。实验研究了激光工作介质SF6,H2不同压强比和总工作气压对激光输出能量的影响,得...

 PDF全文强激光与粒子束 | 2016, 28(08):28081003

 准分子激光辐照K9玻璃的热力效应分析

王 玺 方晓东

[摘要]基于传热学理论,利用有限元法对KrF准分子激光辐照K9玻璃样品中的热力效应进行了数值分析,并比较了脉冲数目和重频对损伤效果的影响。研究表明,较低的准分子激光能量就能够使K9玻璃在表面和体内产生热应力损伤,热应力损...

 PDF全文强激光与粒子束 | 2016, 28(04):041002

 非晶硅薄膜的准分子激光晶化研究

秦娟娟 邵景珍 刘凤娟 方晓东

[摘要]利用KrF准分子激光器晶化非晶硅薄膜,研究了不同的激光能量密度和脉冲次数对非晶硅薄膜晶化效果的影响。利用X射线衍射(XRD)和扫描电子显微镜(SEM)对晶化前后的样品的物相结构和表面形貌进行了表征和分析。实验结果表...

 PDF全文红外与激光工程 | 2015, 44(03):0959

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