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 ITO薄膜表面等离子体共振波长的可控调节

蔡昕旸 王新伟 李如雪 王登魁 方铉 房丹 张玉苹 孙秀平 王晓华 魏志鹏

[摘要]采用直流磁控溅射的方式,在浮法玻璃衬底上制备了氧化铟锡(ITO)薄膜。通过改变薄膜沉积时间,制备出不同厚度的ITO薄膜。随着膜厚由16 nm逐渐增大到271 nm,其结晶程度得到增强,对应的载流子浓度由4.79×1020 cm...

 PDF全文激光与光电子学进展 | 2018, 55(05):051602

 快速热退火对GaAs/AlGaAs量子阱材料结构及发光特性的影响

智民 方铉 牛守柱 房丹 唐吉龙 王登魁 王新伟 王晓华 魏志鹏

[摘要]研究了快速热退火(RTA) 对GaAs/AlGaAs量子阱材料结构及发光特性的影响。结果表明,当退火温度为800 ℃时,材料晶体质量和光致发光(PL)强度得到显著提升;当退火温度为900 ℃时,材料晶体质量和PL强度降低。依据峰值能...

 PDF全文激光与光电子学进展 | 2018, 55(05):051603

 980 nm锥形半导体激光器刻蚀工艺

乔闯 苏瑞巩 房丹 唐吉龙 方铉 王登魁 张宝顺 魏志鹏

[摘要]为了解决半导体激光器传统刻蚀工艺中侧壁陡直度差和器件难以重复制作的问题, 利用湿法腐蚀与干法刻蚀相结合的刻蚀手段, 对980 nm锥形半导体激光器刻蚀工艺进行优化.通过对台面粗糙度与刻蚀速度的研究, 确定湿法腐蚀液...

 PDF全文光子学报 | 2018, 47(09):0914003

 基于时域有限差分法的Au纳米天线增强消光特性研究

谭伟 杨存 唐吉龙 王登魁 方铉 王新伟 房丹 魏志鹏 王晓华

[摘要]利用时域有限差分法研究了Au纳米天线对GaSb纳米线的消光增强.通过分析不同形状Au纳米阵列的电场特性和光学特性, 发现三角形为最优结构, 并具有高强度共振吸收峰和高的电场增强倍数.分别对三角形尺寸和纳米线的间距进...

 PDF全文光子学报 | 2018, 47(05):0516006

 氮钝化对Te掺杂GaSb材料光学性质的影响

容天宇 房丹 谷李彬 方铉 王登魁 唐吉龙 王新伟 王晓华

[摘要]利用等离子体增强原子层沉积系统, 使用氮等离子体对Te掺杂GaSb的表面进行刻蚀, 改善样品的发光特性.在室温下(300 K), 发光强度提高了4倍.在低温光谱测试中, 发现了由Te掺杂导致的TeSb施主缺陷相关的发光峰, 峰位位置...

 PDF全文光子学报 | 2018, 47(03):0316001

 表面硫钝化对GaAs材料光响应特性的影响

夏宁 方铉 容天宇 王登魁 房丹 唐吉龙 王新伟 王晓华 李永峰 姚斌 魏志鹏

[摘要]采用湿法硫钝化的方式,显著降低了砷化镓(GaAs)材料的表面态密度。钝化处理后的GaAs薄膜光致发光强度提高了约14倍,光电流和响应度均增大。从能带角度分析了样品性能提升的原因,结果表明,钝化处理有利于表面态密度...

 PDF全文中国激光 | 2018, 45(06):0603002

 基于组分调节减小AZO表面等离子体损耗的研究

陈子男 王登魁 魏志鹏 方铉 房丹 王新伟 王晓华

[摘要]在蓝宝石衬底上制备了具有不同铝(Al)掺杂浓度的掺铝氧化锌(AZO)薄膜, 并对其进行了紫外-可见吸收光谱、霍尔效应、折射率及介电常数测试, 研究了Al组分对AZO薄膜的光电、表面等离子体性质的影响。随着Al组分浓度的逐渐...

 PDF全文中国激光 | 2018, 45(05):0503001

 氮δ掺杂Cu2O薄膜的生长及物性研究

李微 潘景薪 王登魁 方铉 房丹 王新伟 唐吉龙 王晓华 孙秀平

[摘要]采用等离子体增强原子层沉积(PEALD)技术, 以NH3为掺杂源, 制备了氮δ掺杂Cu2O 薄膜, 研究了N掺杂对Cu2O薄膜表面形貌、光学及电学性质的影响。研究结果表明, N掺杂引起了晶格畸变, Cu2O薄膜的表面粗糙度增大; 掺杂后C...

 PDF全文中国激光 | 2018, 45(01):0103003

 等离子体氮钝化GaSb材料表面特性研究

刘晓敏 房丹 谷李斌 方铉 王登魁 唐吉龙 王新伟 王晓华

[摘要]利用等离子体增强原子层沉积系统, 以逐层刻蚀方式对GaSb进行氮(N)钝化处理, 研究了钝化过程中刻蚀周期对GaSb钝化效果的影响。研究结果表明, 当刻蚀周期数为200时, 钝化效果最好; 刻蚀周期数不足(100)时, 钝化效果最弱...

 PDF全文中国激光 | 2018, 45(01):0103001

 PEALD沉积温度对AlN的结构和表面特性的影响

陈芳 方铉 王双鹏 牛守柱 方芳 房丹 唐吉龙 王晓华 刘国军 魏志鹏

[摘要]研究通过等离子增强原子层沉积(PEALD)在不同沉积温度下生长的AlN温度对其特性的影响。前驱体是NH3和TMA, 在300 ℃、350 ℃和370 ℃沉积温度下分别沉积了200、500、800、1 000、1 500周期的AlN层, 并讨论了AlN薄膜的生...

 PDF全文红外与激光工程 | 2016, 45(04):0421001

 原子层沉积AlOx薄膜对单晶硅太阳能电池钝化机制的影响

张炳烨 谢洪丽 方铉 刘爱民

[摘要]采用原子层沉积设备在p型单晶制绒硅上制备了不同厚度的AlOx薄膜。通过研究AlOx薄膜厚度对样品的反射率、少数载流子寿命以及电容-电压特性的影响,发现沉积32 nm的AlOx薄膜样品具有最好的钝化效果。另外,通过计算Si/...

 PDF全文发光学报 | 2016, 37(02):192

 ZnO/ZnFe2O4复合纳米粒子的制备及其特性研究

高 娴 贾慧民 方 铉 刘 鹤 唐吉龙 房 丹 王双鹏 赵海峰 李金华 方 芳 楚学影 王 菲 王晓华 徐 莉 马晓辉 魏志鹏

[摘要]利用水热法制备了ZnO/ZnFe2O4纳米复合粒子。用扫描电子显微镜(SEM)、X射线衍射(XRD)、光致发光光谱(PL)对退火前后的ZnO/ZnFe2O4纳米粒子进行表征。研究结果表明,退火后的ZnO/ZnFe2O4纳米复合粒子表现出更好的形貌和...

 PDF全文红外与激光工程 | 2015, 44(07):2110

 扩散掺杂的p型ZnO薄膜的光学性质研究

陈芳 房丹 王双鹏 方铉 唐吉龙 赵海峰 方芳 楚学影 李金华 王菲 王晓华 刘国军 马晓辉 魏志鹏

[摘要]采用原子层沉积技术(atomic layer deposition)在InP衬底上生长ZnO薄膜,并在不同温度下(500和700 ℃)进行热退火处理,将P掺杂进入ZnO,得到p型ZnO薄膜.样品的光学特性通过光致发光光谱(photoluminescence,PL)来测定,得出...

 PDF全文光谱学与光谱分析 | 2015, 35(07):1787

 SiO2包覆对ZnS纳米材料发光的增强机制

赵健 楚学影 李金华 方铉 王晓华

[摘要]为了明确团聚现象及表面性质对ZnS纳米材料发光性质的影响, 采用SiO2对ZnS材料进行了表面修饰, 并对ZnS及ZnS/SiO2复合材料的光学性质进行对比研究。采用吸收光谱分析了包覆前后光吸收性质的差异, 发现SiO2包覆后ZnS纳...

 PDF全文中国光学 | 2014, 7(06):925

 化学气相沉积法制备Zn2GeO4纳米线及其发光性质的研究

周政 李金华 方芳 楚学影 方铉 魏志鹏 王晓华

[摘要]利用化学气相沉积法(CVD),气-液-固(VLS)生长法则在表面溅有金属Au催化剂层的1 cm×1 cm的Si片上制备三元Zn2GeO4纳米线。X射线衍射仪(XRD)测试结果表明,锌源与锗源质量比为8∶1时可成功制备出Zn2GeO4纳米结构...

 PDF全文中国光学 | 2014, 7(02):281-286

 镉掺杂氧化锌纳米花的制备及其光催化活性

翟英娇 李金华 陈新影 宋星慧 任航 方铉 方芳 楚学影 魏志鹏 王晓华

[摘要]以氯化锌、氯化镉、氢氧化钠为原料,采用水热法合成Cd掺杂纳米花状ZnO光催化剂,并通过该样品对罗丹明B水溶液的降解来研究其光催化活性。利用X射线衍射(XRD)、扫描电子显微镜(SEM)、X射线能量色散谱(EDS)、光致发光谱...

 PDF全文中国光学 | 2014, 7(01):124-130

 硬X射线聚焦波带片的设计及制作

付杰 王晓华 李金华 方铉 魏志鹏

[摘要]针对惯性约束性聚变(ICF)实验中高分辨靶源辐射成像的需要, 对结合电子束光刻和X 射线光刻制作大高宽比菲涅尔波带片的制作工艺进行了研究。首先采用带有自支撑薄膜的衬底进行电子束光刻和微电镀技术来制作X射线光刻掩...

 PDF全文光电工程 | 2014, 41(03):7-12

 形貌依赖的ZnO阴极射线发光性质研究

吕珊珊 楚学影 王记萍 方芳 李金华 方铉 魏志鹏 王晓华

[摘要]采用溶剂热法, 通过调节水和乙醇混合液的比例制备了多种形貌的ZnO微米结构。利用扫描电子显微镜(SEM)对ZnO微米结构的形貌及尺寸进行了观察。采用可以实现纳米级微观区域光谱采集的阴极射线发光(CL)技术, 对不同形貌的...

 PDF全文发光学报 | 2014, 35(06):672-677

 自支撑Ag掺杂ZnO花状纳米线阵列及其光学性质

王许杰 方芳 楚学影 方铉 李金华 魏志鹏 王晓华

[摘要]利用简单、温和的二步水浴法制备一种大面积自支撑、可自由迁移的Ag掺杂ZnO花状纳米线阵列。通过场发射扫描电子显微镜(FESEM)、元素能谱(EDS)、X射线衍射谱(XRD)、室温和变温光致发光谱(PL)等一系列表征手段对所制备的...

 PDF全文发光学报 | 2014, 35(03):306-311

 直立Zn2GeO4/ZnO纳米棒阵列的制备及其发光性质研究

李婷 方芳 周政 赵海峰 方铉 李金华 楚学影 魏志鹏 房丹 王晓华

[摘要]利用化学气相沉积法(CVD)在表面溅射Au和沉积ZnO籽晶的硅衬底上分别生长高度有序、垂直密布的直立Zn2GeO4/ZnO纳米棒阵列, 利用扫描电子显微镜(SEM)、X射线衍射仪(XRD)和光致发光(PL)谱测试手段对所制备样品进行表征和...

 PDF全文发光学报 | 2014, 35(10):1188

 MgxZn1-xO/Au/MgxZn1-xO夹层透明导电薄膜的制备及光电性质研究

吕珊珊 方铉 王佳琦 方芳 赵海峰 楚学影 李金华 房丹 唐吉龙 魏志鹏 马晓辉 王晓华 浦双双 徐莉

[摘要]采用操作简单的溶胶-凝胶法和射频磁控溅射法在石英衬底上分别制备了MgxZn1-xO薄膜和MgxZn1-xO/Au/MgxZn1-xO夹层结构的透明导电薄膜并对样品进行退火处理。 利用紫外-可见分光光度计、 X射线衍射仪、 光致发光、 霍尔...

 PDF全文光谱学与光谱分析 | 2014, 34(09):2355-2359

 退火温度对原子层沉积法制备ZnMgO薄膜结构和光学性能的影响

孙冬晓 李金华 方铉 陈新影 方芳 楚学影 魏志鹏 王晓华

[摘要]针对目前关于退火温度对原子层沉积法(ALD)制备ZnMgO薄膜晶体结构和光学性质影响鲜有报道的现象, 进行了相应的实验研究分析。 采用ALD在石英衬底上制备ZnMgO合金薄膜, 对制得的样品在空气中进行不同温度的退火处理。 ...

 PDF全文光谱学与光谱分析 | 2014, 34(07):1789-1792

 以PVP纳米纤维为模板采用原子层沉积法制备MgxZn1-xO纳米纤维及其光学性质研究

贾慧民 唐吉龙 方铉 王双鹏 赵海峰 房丹 王晓华 方芳 李金华 楚学影 魏志鹏 马晓辉 徐莉

[摘要]采用静电纺丝方法制备聚乙烯吡咯烷酮(PVP)纳米纤维, 并以其为模板采用原子层沉积(ALD)方法制备不同 Mg 掺杂浓度的MgxZn1-xO纳米纤维。 研究了不同Mg掺杂浓度对复合纳米纤维结构和光学性质的影响。 利用场发射扫描电子...

 PDF全文光谱学与光谱分析 | 2014, 34(12):3197

 InGaAsSb/GaSb量子阱能带结构及自发发射谱

安宁 李占国 何斌太 芦鹏 方铉 魏志鹏 刘国军

[摘要]讨论了不同In组分对InGaAsSb/GaSb量子阱能带结构,即带隙及带边不连续性(带阶)的影响。给出了较为精准的InGaAsSb禁带宽度与In组分的关系。分析了In组分对InGaAsSb/GaSb导带、价带带阶的作用。研究表明,随In组分的增...

 PDF全文强激光与粒子束 | 2014, 26(11):111008

 与掺杂浓度相关的ZnS∶Mn纳米粒子的发光性质

杜鸿延 魏志鹏 孙丽娟 楚学影 方铉 方芳 李金华 王晓华 王菲

[摘要]采用溶胶法制备了Mn掺杂的ZnS纳米粒子,探讨了掺杂离子浓度对ZnS∶Mn纳米粒子的晶体结构和发光性质的影响。通过X射线衍射(XRD)对样品的结构进行了表征,结果表明:所制备的ZnS∶Mn纳米粒子为立方闪锌矿结构,其在Mn离...

 PDF全文中国光学 | 2013, 6(01):111-116

 表面修饰的ZnS∶Mn量子点的发光性质及其对生物分子的检测

杜鸿延 魏志鹏 李霜 楚学影 方铉 方芳 李金华 陈新影 王晓华

[摘要]采用水热法制备了ZnS∶Mn量子点, 探讨了掺杂离子浓度对ZnS∶Mn量子点的晶体结构和发光性质的影响。 通过荧光光谱对样品进行表征。结果表明: 掺杂离子的摩尔分数达到2%时, ZnS∶Mn量子点在595 nm附近的发光最强; 继续...

 PDF全文发光学报 | 2013, 34(04):421-426

 光泵浦双反射带半导体激光器的热效应有限元分析

王菲 王晓华 王金艳 房丹 魏志鹏 方铉

[摘要]给出了808 nm/980 nm双反射带布拉格反射镜的反射谱线,建立了光泵浦双反射带半导体激光器件的热学模型及其内部热载荷分布形式,运用有限元分析方法,详细分析了双反射带光泵浦半导体激光器件的热学特性。结果表明,对...

 PDF全文发光学报 | 2012, 33(03):309-313

 柔性衬底上ALD法低温制备的ZnO薄膜的光学和电学特性

李晓妮 方芳 方铉 陈新颖 魏志鹏 李金华 楚学影 王晓华

[摘要]以二乙基锌和水分别作为金属前驱体和反应物, 利用原子层沉积方法(ALD)在柔性衬底上生长ZnO薄膜, 讨论了生长温度对薄膜特性的影响。用AFM、XRD和HALL等对薄膜的表面形貌、晶体结构和电学性质进行表征, 并且用PL光谱表...

 PDF全文发光学报 | 2012, 33(11):1232-1235

 六角锥状ZnO纳米结构的生长机理、结构及光学性能

李东明 李金华 方铉 王晓华 魏志鹏 聂燕萍 李春萍

[摘要]利用醋酸锌[Zn(CH3COO)2·2H2O]和六次甲基四胺(C6H12N4)以一定比例配置成反应溶液,通过水热合成法制备了六角锥状ZnO纳米结构。同时,使用了扫描电子显微镜(SEM)、X射线衍射和选区电子衍射(SAED),对样品的形貌...

 PDF全文发光学报 | 2010, 31(01):114-118

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