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   将选定结果: 

 TFT光刻平面补偿优化

张玉虎 徐海涛 李亚文 罗传文 曹少波 李力

[摘要]TFT线宽或线间距接近光刻机分辨率时,光刻图形容易产生光刻胶残留不良,为改善该问题,本文从光刻图形出发,以最佳光刻图形所在位置为基准,计算出光刻机光刻平面的优化补偿量,从而实现对光刻平面的补偿优化。首先,...

 PDF全文光电工程 | 2019, 46(05):180444

 UV-LED固化对光纤性能的影响

郝昌平 曹少波 张功会 宋海瑞 陈伟 张良 李亚东

[摘要]光纤制造成本的差异性受技术工艺的影响越来越小,所以通过设备改造升级,使用新型的紫外固化方式,成为降低光纤生产成本的一个重要途径。主要从紫外发光二极管(UV-LED)固化的特点、固化度、附着力方面与传统固化方式进行...

 PDF全文光学与光电技术 | 2017, 15(03):53

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