首页 > 论文 > 标签

Hi,您目前在 全部期刊 '曾爱军', 共找到 36个内容。

   将选定结果: 

 一种提高扫频光学相干层析成像系统灵敏度的方法

王 瑄 李中梁 南 楠 步 扬 陈 艳 潘柳华 卢 宇 曾爱军 王向朝

[摘要]提出了一种提高扫频光学相干层析成像(SSOCT)系统灵敏度的方法。在SSOCT系统中, 当平衡探测器前耦合器的分束比不是50%∶50%时, 会在探测的干涉信号中引入直流偏置, 从而影响系统的灵敏度。分析了干涉信号中引入直流偏...

 PDF全文中国激光 | 2017, 44(08):0807002

 扫描干涉场曝光中关键技术的现状与发展趋势

程伟林 朱菁 张运波 曾爱军 黄惠杰

[摘要]扫描干涉场曝光(SBIL)在制作大尺寸、纳米精度的衍射光栅中有着独特的优势。为了充分了解SBIL 系统的技术特点,介绍了国内外SBIL 技术的发展现状,并针对SBIL 系统中的各个关键技术进行技术性的调研与总结,着重分析了...

 PDF全文激光与光电子学进展 | 2015, 52(10):100001

 基于椭偏成像光路和表面等离子体共振效应的金属薄膜参数测量方法研究

胡仕玉 曾爱军 谷利元 黄惠杰 胡国行 贺洪波

[摘要]提出了一种基于椭偏成像光路和表面等离子体共振效应的金属薄膜参数测量方法,在椭偏成像光路中采用p偏振光在金属薄膜与空气界面产生表面等离子体共振效应,利用不产生表面等离子体共振效应的s偏振光消除背景光的影响...

 PDF全文中国激光 | 2015, 42(11):1108001

 可用于小口径光束波前检测的横向剪切干涉仪

刘蕾 曾爱军 朱玲琳 黄惠杰

[摘要]提出了一种可用于小口径光束波面检测的横向剪切干涉仪。该干涉仪由偏振分光棱镜、光轴与其表面平行的晶体平板、1/4波片、反射镜及CCD构成。被测光束由偏振分光棱镜进行透射起偏和反射检偏,利用反射镜的反射两次经过...

 PDF全文中国激光 | 2014, 41(01):0108003

 光刻机光瞳整形衍射光学元件远场多参数检测方法

胡中华 朱菁 杨宝喜 彭雪峰 曾爱军 黄惠杰

[摘要]光刻机光瞳整形普遍采用衍射光学元件(DOE)来产生各种照明模式。针对其光学特性的检测需求,提出了一种光刻机光瞳整形DOE远场多参数检测方法。该方法通过对远场光强分布进行转换,可同时获得DOE远场衍射图样的极平衡性...

 PDF全文中国激光 | 2013, 40(09):0908001

 用于投影光刻机光瞳整形的衍射光学元件设计

胡中华 宝喜 朱菁 肖艳芬 曾爱军 黄惠杰

[摘要]投影光刻机普遍采用衍射光学元件(DOE)来产生各种照明模式。针对投影光刻机中准分子激光器空间相干性差的特点,提出了一种混合分区设计方法,并利用该方法对产生传统照明模式、二极照明模式和四极照明模式的DOE进行了...

 PDF全文中国激光 | 2013, 40(06):0616001

 用于光刻机照明均匀化的微柱面镜阵列设计

肖艳芬 朱菁 杨宝喜 胡中华 曾爱军 黄惠杰

[摘要]均匀照明是投影光刻机中实现光刻线条高度均一性的重要条件。采用微透镜阵列作为照明匀光器件,能够在实现矩形照明光斑的同时获得极高的远场分布均匀性。基于微透镜阵列现有的加工工艺,设计出二维方向分开的柱面微透...

 PDF全文中国激光 | 2013, 40(02):0216001

 光刻机照明系统中光束稳定技术研究

鲍建飞 黄立华 曾爱军 任冰强 杨宝喜 彭雪峰 胡小邦 黄惠杰

[摘要]光束稳定技术是光刻机照明系统中一项重要的单元技术,其作用是将激光器出射的经长距离传输后的光束稳定在需要的指向和位置上,以保证照明系统具有稳定的光强分布。光束稳定系统主要由光束测量和光束转向两个功能模块...

 PDF全文中国激光 | 2012, 39(09):0908004

 高分辨率投影光刻机光瞳整形技术

胡中华 杨宝喜 朱菁 肖艳芬 曾爱军 黄立华 赵永凯 黄惠杰

[摘要]在高分辨光学光刻技术中,光瞳整形技术针对不同的掩模图形产生特定的光瞳光强分布模式,从而实现分辨力增强,获得更好的成像性能。概述了高分辨率投影光刻机照明系统中基于衍射光学元件(DOE)、微透镜阵列(MLA)和微反...

 PDF全文激光与光电子学进展 | 2011, 48(11):111101

 与快轴方向无关的λ/8波片相位延迟量实时测量方法

朱玲琳 曾爱军 李凡月 黄惠杰

[摘要]提出了一种与快轴方向无关的λ/8波片(EWP)相位延迟量实时测量方法。准直激光束经过圆起偏器(CP)和被测λ/8波片后形成测量光束,测量光束由二维正交光栅(2DOG)分束形成4束衍射子光束,它们经过检偏器阵列(AA)后由光电...

 PDF全文中国激光 | 2011, 38(05):0508002

 基于相位调制和样品摆动的1/4波片相位延迟量测量方法

李凡月 韩杰 曾爱军 黄惠杰

[摘要]提出一种基于相位调制和样品摆动的1/4波片相位延迟量测量方法。准直激光束依次通过起偏器、相位调制器、待测1/4波片和检偏器由光电探测器所接收,光信号被转换成电信号后经过放大、滤波以进行数据处理。利用待测1/4波...

 PDF全文中国激光 | 2011, 38(02):0208003

 单分散生物气溶胶光散射特性的计算与分析

冯春霞 黄立华 周光超 韩杰 曾爱军 赵永凯 黄惠杰

[摘要]基于回转长椭球模型与球形模型,采用T矩阵法,讨论了非球形气溶胶颗粒的形状对散射相函数的影响;计算了葡萄球菌、鼠疫耶尔森氏杆菌、土拉热杆菌、志贺杆菌及类鼻疽伯克霍尔德菌等5种单分散生物气溶胶颗粒Stokes散射...

 PDF全文中国激光 | 2010, 37(10):2592-2598

 分束量可调的等光程平行分束技术

郭小娴 曾爱军 黄惠杰

[摘要]基于厚波片平行分束特性,提出了一种分束量可调的等光程平行分束技术,给出透射式和反射式两种平行分束光路.透射式平行分束光路由厚波片和1/2波片组成,反射式平行分束光路由分束镜、厚波片、1/4波片和反射镜组成.通...

 PDF全文光子学报 | 2009, 38(10):2673-2676

 基于支持向量机的玉米苗期田间杂草光谱识别

邓巍 张录达 何雄奎 Mueller J 曾爱军 宋坚利 刘亚佳 周继中 陈吉 王旭

[摘要]田间全面积均匀喷施除草剂不经济, 还污染环境, 精准喷施除草剂意义重大, 其关键是正确识别杂草。 用便携式野外光谱仪, 在田间测量了玉米、 马唐和稗草植株冠层在350~2 500 nm波长范围内的光谱数据, 经过数据预...

 PDF全文光谱学与光谱分析 | 2009, 29(07):1906-1910

 基于同步移相技术的1/4波片相位延迟量的快速测量

杨坤 曾爱军 王向朝 唐锋 王华

[摘要]提出了一种基于同步移相技术的1/4波片相位延迟量的快速测量方法。由正交光栅、光阑、检偏器组和四象限探测器实现同步移相功能。检偏器组由4个不同方位角的检偏器组成。通过检偏器组的四束光束的光强由四象限探测器同...

 PDF全文Chinese Optics Letters | 2008, 6(09):673

 基于同步移相技术的1/4波片快轴方位角的实时测量

杨坤 曾爱军 王向朝 王华 唐锋

[摘要]提出了一种基于同步移相技术的1/4波片快轴方位角的实时测量方法。由正交光栅、光阑、检偏器组和四象限探测器实现同步移相功能。检偏器组由4个不同方位角的检偏器组成。通过检偏器组的四束光束的光强由四象限探测器同...

 PDF全文Chinese Optics Letters | 2008, 6(08):568

 状扫描和区域搜索辨识条纹顺序的方法研究

江晓军 曾爱军 黄惠杰 王向朝 Xiaojun Jiang Aijun Zeng Huijie Huang and Xiangzhao Wang

[摘要]本文提出了一种自动辨识条纹顺序的方法。它使用简化的Otsu算法获得阈值,然后在45°的范围内对干涉条纹的位置进行搜索,最后由区域搜索技术辨识不同的条纹。实验结果表明,本方法能可靠地获得近似45°到90&#...

 PDF全文Chinese Optics Letters | 2008, 6(04):264

 一种区域搜索获取平面光学元件光圈数的方法

江晓军 黄惠杰 王向朝 曾爱军

[摘要]提出一种获取平面光学元件光圈数的方法。通过确定一幅干涉条纹图像中三块测试区域及相应的搜索区域,寻找条纹弯曲量的平均值和相应条纹间距的平均值,根据测试区域对应的权重系数,得到被测平面光学元件光圈数的最佳估计...

 PDF全文中国激光 | 2008, 35(10):1548-1552

 用于大范围高精度实时位移测量的半导体激光干涉仪

何国田 Guotian He 王向朝 Xiangzhao Wang 曾爱军 Aijun Zeng 唐锋 Feng Tang 黄炳杰 Bingjie Huang

[摘要]现有的半导体激光干涉仪存在测量精度与测量范围的矛盾。本文提出一种新的实时位移测量半导体激光干涉仪,并分析了干涉仪的测量原理。首先提出一种新的解相算法,它通过两路实时相位探测电路从干涉信号中得到待测量相...

 PDF全文Chinese Optics Letters | 2007, 5(04):211

 实时测量表面形貌的正弦相位调制半导体干涉仪

何国田 王向朝 曾爱军 唐锋

[摘要]提出一种实时测量表面形貌的正弦相位调制半导体激光干涉仪。利用实时相位检测电路,从正弦相位调制干涉信号中解出被测量物体表面形貌的相位。在实验中,测量了楔形光学平板的表面形貌,对表面形貌上的60*60个测量点,...

 PDF全文Chinese Optics Letters | 2007, 5(03):164

 靶镜光学质量检测技术的研究

刘丹 黄惠杰 任冰强 徐德衍 曾爱军 王向朝

[摘要]提出了一种利用扫描型哈特曼检测装置检验靶镜光学质量的技术.该装置对传统哈特曼检验装置的光阑进行了改进,通过扫描型哈特曼光阑的旋转扫描,可对被检靶镜全口径范围内连续采样.利用该扫描型哈特曼检测装置对一块口径...

 PDF全文光子学报 | 2007, 36(05):926-929

 频谱泄漏对正弦相位调制干涉测量精度的影响何

国田 王向朝 曾爱军

[摘要]在正弦相位调制(SPM)干涉仪中,若调制频率或者采样频率发生变化将使干涉信号出现频谱泄漏,减小了谐波分量的幅值,在测量结果中引入了误差。对频谱泄漏的产生及其对测量精度的影响进行了理论分析,获得了频谱泄漏引入测量...

 PDF全文中国激光 | 2007, 34(07):967-971

 基于基频分量消光的1/4波片快轴标定方法

杨坤 曾爱军 王向朝 王华

[摘要]提出了一种基于基频分量消光的波片快轴标定方法,并利用琼斯矩阵对其标定原理进行了分析。激光器、起偏器、相位调制器、待标定1/4波片、检偏器和光电探测器构成标定光路,起偏器、检偏器的透光轴与相位调制器的振动轴分...

 PDF全文中国激光 | 2007, 34(11):1553-1556

 大气湍流对斜程传输准单色高斯谢尔光束时间相干性的影响

王华 王向朝 曾爱军 杨坤

[摘要]由第一类零阶贝塞尔函数的级数展开推导出波结构函数在任意湍流条件下的近似表达式。由广义惠更斯菲涅耳原理、随高度变化的Hufnagel-Valley湍流廓线模型以及波结构函数在任意湍流条件下的近似表达式,导出了斜程传输时...

 PDF全文光学学报 | 2007, 27(09):1548-1552

 物体表面形貌的正弦相位调制实时干涉测量技术研究

何国田 王向朝 曾爱军

[摘要]表面形貌干涉测量技术是一种高精度的非接触式测量技术,在工业生产和科学研究中具有广泛的应用。提出一种实时测量表面形貌的正弦相位调制干涉测量新技术。该技术用激光二极管作光源,用自制的高速图像传感器探测干涉信...

 PDF全文光学学报 | 2007, 27(11):1997-2002

 扫描型哈特曼检验方法及其在像差测量中的应用

刘丹 黄惠杰 任冰强 曾爱军 闫岩 王向朝

[摘要]提出了一种扫描型哈特曼检验方法并分析了其测量原理。在传统哈特曼检验装置的基础上改用扫描型哈特曼屏即形成了扫描型哈特曼检验装置。利用哈特曼屏的旋转与哈特曼光阑的优化设计,该方法可对被检元件的像差实现全孔...

 PDF全文Chinese Optics Letters | 2006, 4(12):725

 相位延迟器复合旋光器技术及其应用

胡建明 曾爱军 王向朝

[摘要]提出了一种将相位延迟器复合为旋光器的技术,利用米勒矩阵对其原理与应用进行了分析。相位延迟器复合为旋光器时,将相位延迟器置于两块1/4波片之间,使两块1/4波片的快轴相互垂直且与相位延迟器的快轴分别成±45...

 PDF全文中国激光 | 2006, 33(07):889-894

 精确测量1/4波片相位延迟量的新方法

胡建明 曾爱军 王向朝

[摘要]提出了一种精确测量1/4波片相位延迟量的新方法。测量光路由激光器、起偏器、被测1/4波片、光弹调制器、检偏器和光电探测器构成。起偏器和检偏器的透光轴相互垂直。被测1/4波片的快轴与光弹调制器的振动轴平行,且与起...

 PDF全文中国激光 | 2006, 33(05):659-662

 光栅成像位置传感器中的偏振调制技术

胡建明 曾爱军 王向朝

[摘要]提出了一种用于光栅成像位置传感器的偏振调制技术,利用米勒矩阵对其调制原理进行了详细的分析。该偏振调制器主要由起偏器、萨伐尔板、两块1/4波片、光弹调制器和检偏器构成。起偏器、萨伐尔板置于探测光栅之前,在探测...

 PDF全文中国激光 | 2006, 33(10):1397-1401

 基于光弹调制技术的波片相位延迟量测量方法

胡建明 曾爱军 王向朝

[摘要]提出了一种基于光弹调制技术的波片相位延迟量测量方法,利用米勒矩阵对其进行了理论推导和误差分析。测量光路包括激光器、起偏器、光弹调制器、被测波片、检偏器和光电探测器,利用探测信号的归一化基频分量和二次谐波...

 PDF全文光学学报 | 2006, 26(11):1681-1686

首页上一页12下一页尾页