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 基于虚拟仪器的宏微复合光栅尺测量系统

李彦锋 杨志军 孙晗 张炫山 熊少旺 李乾

[摘要]为适应微电子制造装备中精密位移反馈装置的要求, 提出并设计了一种新型宏微复合光栅尺测量系统.测量系统采用LabVIEW虚拟仪器系统高速采集图像数据, 通过图像处理算法对放大后的光栅栅纹进行边界处理, 将其细化为线再...

 PDF全文光子学报 | 2018, 47(10):1012002

 基于增量光栅尺的纵横转换图像细分算法实现

蔡铁根 杨志军 陈超然 刘杏明 李彦锋

[摘要]针对现有光栅测量方法不能兼顾高速与高精度的问题, 为适应电子制造装备高速运动和高精密定位的位移反馈要求, 提出基于增量式光栅尺的纵横转换细分测量原理和相应的图像快速处理算法。为了提高光栅图像采集处理速度, ...

 PDF全文应用光学 | 2017, 38(01):56

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