首页 > 论文 > 标签

Hi,您目前在 光电工程 '李文萍', 共找到 1个内容。

   将选定结果: 

 纳米制造和测量技术产业化的研究

李文萍 顾文琪

[摘要]从加工尺度的连续性和加工技术的完整性这一新的角度,分析了纳米加工产业化面临的问题,并提出了相应的解决方案--多离子束聚焦投影技术.多离子束聚焦投影技术将填补传统微机加工技术和半导体图形技术之间0.5~5μm的加工...

 PDF全文光电工程 | 2006, 33(12):15-18

首页上一页1下一页尾页