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 3D飞秒激光纳米打印

刘墨南 李木天 孙洪波

[摘要]现今各个应用领域的器件微型化、功能化和集成化的发展趋势, 对微纳加工技术提出了巨大挑战。越来越多器件的核心设计都依赖于高度图案化的三维复杂微纳结构。3D飞秒激光纳米打印(FsLNP)是一种无掩模的、利用飞秒激光直...

 PDF全文激光与光电子学进展 | 2018, 55(01):011410

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