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 高数值孔径自由曲面极紫外光刻物镜光学设计

毛姗姗 李艳秋 刘 克 刘丽辉 郑 猛 闫 旭

[摘要]高分辨率需求牵引极紫外光刻(EUVL)投影物镜向高数值孔径(NA)、自由曲面设计形式发展。传统的非球面EUVL物镜设计难以在高数值孔径下兼顾校正像差的需求, 往往造成遮拦, 破坏成像对比度。提出了一种高NA无遮拦自由曲面...

 PDF全文红外与激光工程 | 2019, 48(08):0814002

 16 nm极紫外光刻物镜热变形对成像性能影响的研究

李艳秋 刘岩 刘丽辉

[摘要]16 nm极紫外光刻(EUVL)物镜热变形是影响其高分辨成像的主要因素之一。为了给EUVL系统热管理提供可靠的技术依据, 对数值孔径为0.33且满足16 nm技术节点的典型EUVL物镜进行热变形仿真研究。采用有限元软件ANSYS仿真曝光...

 PDF全文光学学报 | 2019, 39(01):0122001

 利用球-旋转椭球模型研究上皮组织散射特性

李华贵 李艳秋 郑 猛

[摘要]组织模型在组织成像机理及光学疾病诊断技术的研究和改进中发挥着重要作用。然而上皮组织细胞中不仅包含球形散射体, 往往还包含椭球形散射体。目前对包含椭球散射体的上皮组织模型的研究还鲜有报道。建立了上皮组织的...

 PDF全文红外与激光工程 | 2018, 47(02):0217004

 Hadamard编码调制关联成像的阈值处理研究

安晓峰 李艳秋 马海钰 桑爱军

[摘要]关联成像是一种通过单像素探测器以成像时间换取空间分辨率的新颖成像方案, 然而, 其存在重建质量低、数据采集时间长的问题。Hadamard编码调制计算关联成像能够实现高效率的成像, 显著提高了关联成像方案的适用性, 但...

 PDF全文红外与激光工程 | 2018, 47(10):1041002

 癌变对上皮组织前后向散射特性影响的对比研究

李华贵 李艳秋 郑猛

[摘要]Mueller矩阵成像法可用于获取生物组织的微观结构信息, 在组织早期癌变的诊断中发挥着重要作用。采用不同的成像方式得到的结果往往具有很大的差异。为了保证Mueller矩阵成像法对组织癌变诊断结果的可靠性, 需要明确成...

 PDF全文光学技术 | 2018, 44(02):211

 像质补偿在高分辨物镜精密装调中的应用

季振波 刘克 李艳秋 章明

[摘要]根据高分辨物镜各个光学元件的实测数据, 应用轴向补偿和旋转补偿法, 在仿真精密装调过程中得到了物镜轴向补偿器的最优值和各元件的最佳旋转角度。仿真结果表明, 在97.7%的置信区间内, 物镜各视场波像差RMS值从补偿前...

 PDF全文光学技术 | 2018, 44(01):117

 基于子孔径波前振幅调制的斜率和曲率信号提取算法

王晓鹏 刘 克 李艳秋

[摘要]斜率和曲率混合型波前传感技术将子孔径内波前的一阶和二阶导数信息全部利用起来, 能够实现高阶像差的精密测量, 是区域型波前传感技术的一个重要发展方向。在利用子孔径波前振幅调制的斜率和曲率混合型波前传感器的基...

 PDF全文红外与激光工程 | 2017, 46(同学12):1217003

 基于子孔径波前振幅调制的斜率和曲率信号提取算法

王晓鹏 刘 克 李艳秋

[摘要]斜率和曲率混合型波前传感技术将子孔径内波前的一阶和二阶导数信息全部利用起来, 能够实现高阶像差的精密测量, 是区域型波前传感技术的一个重要发展方向。在利用子孔径波前振幅调制的斜率和曲率混合型波前传感器的基...

 PDF全文红外与激光工程 | 2017, 46(12):1217003

 组合倍率极紫外光刻物镜梯度膜设计

沈诗欢 李艳秋 姜家华 刘 岩 刘 克 刘丽辉

[摘要]10 nm以下光刻技术牵引极紫外(EUV)光刻物镜向超高数值孔径(NA)、组合倍率设计形式发展, 物镜系统的入射角和入射角范围因此急剧增大, 传统规整膜和横向梯度膜难以满足该类物镜系统反射率及像质要求。为此, 提出了横纵...

 PDF全文光学学报 | 2017, 37(08):0822002

 Mueller 矩阵成像偏振仪的误差标定和补偿研究

李建慧 郑猛 张雪冰 李艳秋

[摘要]Mueller 矩阵成像偏振仪是测量材料和器件偏振特性的重要仪器,也是测量浸没光刻机偏振像差的检测仪器,该偏振仪由偏振态产生器和偏振态分析器组成。其组成中的λ/4 波片相位延迟量误差及其快轴方位角误差与偏振片透光...

 PDF全文激光与光电子学进展 | 2016, 53(02):021202

 多特征描述及局部决策融合的人脸识别

任福继 李艳秋 胡 敏 许良凤

[摘要]提出一种多特征描述及局部决策融合的人脸识别方法。首先利用独立成分分析算法构造全局互补子空间,对待测样本进行粗分类。然后利用三种不同定义的纹理描述算法构造局部互补子空间,获取粗分类难识别样本的后验概率值,...

 PDF全文光电工程 | 2016, 43(09):1

 超大数值孔径极紫外光刻物镜的公差分析

孙圆圆 李艳秋 曹振

[摘要]超大数值孔径极紫外光刻物镜(NA>0.45)能够满足11 nm 光刻技术节点的需求,而高分辨率成像对物镜系统的公差要求非常严格。针对一套数值孔径为0.50 的极紫外投影物镜进行了补偿器选择和制造公差分析。通过对系统敏感...

 PDF全文激光与光电子学进展 | 2015, 52(12):122207

 旋转波片法成像斯托克斯偏振仪误差标定和补偿

张雪冰 李艳秋 郑猛 李建慧

[摘要]旋转波片法成像斯托克斯偏振仪由可旋转的1/4 波片、固定的检偏器、成像光学器件和光电探测器构成,1/4波片的快轴方位角误差和相位延迟量误差是旋转波片法成像斯托克斯偏振仪的主要误差源,对其进行误差标定和补偿,可...

 PDF全文中国激光 | 2015, 42(07):0708007

 90 nm DUV光刻物镜重力变形及其对波像差影响分析

张芸 刘丽辉 李艳秋 刘岩

[摘要]本文基于数值孔径为0.75, 满足90 nm 技术节点的DUV 光刻物镜系统, 采用在透镜边缘施加支撑力的方式进行重力变形控制。采用有限元法研究透镜表面非球面变形与补偿力的关系, 分析补偿后透镜重力变形对系统波像差的影响...

 PDF全文光电工程 | 2015, 42(03):71

 二维虚光栅移相莫尔条纹相位提取算法

陈晨 刘克 李艳秋 汪海

[摘要]目前二维干涉图所采用的相位提取算法大多以傅里叶变换法为主,而傅里叶变换法对噪声比较敏感。虚光栅移相莫尔条纹法具有较高的提取精度,而且抗噪性较好。在一维干涉图的基础上,提出了一种适用于二维干涉图相位提取...

 PDF全文中国激光 | 2015, 42(02):0208004

 高光能利用率极紫外光刻波纹板照明系统设计

梁欣丽 李艳秋 梅秋丽

[摘要]针对极紫外光刻照明系统光能利用率低的问题,设计了一套高光能利用率极紫外光刻波纹板照明系统。该系统中波纹板面形采用柱面镜阵列,降低了加工难度;并且根据波纹板反射光线的特性,确定了由修正型复合抛物面聚光镜...

 PDF全文光学学报 | 2015, 35(03):0322005

 极紫外光刻物镜补偿器的选择及定位精度分析

曹振 李艳秋 孙圆圆

[摘要]极紫外(EUV)光刻物镜设计不仅要在系统优化阶段尽可能减小残余像差,还必须选择像质补偿器合理分配各项公差,从而在保证系统可制造性的前提下实现预期性能。针对一套数值孔径0.33 的极紫外光刻物镜,进行了补偿器的优...

 PDF全文光学学报 | 2015, 35(12):1211003

 投影光刻物镜波像差的公差分析方法

符媛英 李艳秋 刘晓林 曹振 刘克

[摘要]为保证投影光刻物镜的成像性能并降低制造成本, 提出了一种更全面可靠的公差分析方法。该方法在以波像差均方根(RMS)值作为评价标准的传统分析方法基础上, 添加波像差峰谷(P-V)值作为评价指标, 并据此选择合理的补偿器...

 PDF全文光学技术 | 2014, 40(04):289-294

 相移点衍射干涉仪用衍射板结构设计

郑猛 李艳秋 刘克

[摘要]相移点衍射干涉仪(PS/PDI)的检测精度取决于衍射板中针孔衍射产生的参考球面波质量,而针孔的直径是影响参考球面波质量的一个重要因素。基于矢量衍射理论,以会聚光束作为入射光,分析了针孔厚度和直径、加工误差以...

 PDF全文激光与光电子学进展 | 2013, 50(03):031201

 波片对斜入射光波产生相位延迟的两种计算方法

董娟 李艳秋

[摘要]作为常见的偏振光学元件之一的波片, 如1/4波片、1/2波片和全波片, 被广泛应用于高数值孔径(NA)成像系统(偏光显微镜和浸没式光刻机)的偏振检测技术中。随着系统NA的日益增大, 正确分析和精确计算大角度斜入射光波经过...

 PDF全文光学技术 | 2013, 39(06):559-564

 高阶截断误差的斜率和曲率混合型波前重构算法

李光辉 李艳秋 刘克

[摘要]研究了斜率和曲率混合型区域波前重构算法, 提出了通过减小重构方程的截断误差来提高波前重构精度。利用泰勒展开推导了波前值、波前斜率和曲率值三者间的数学关系, 得到了截断误差为相邻两波前测量点间距五次方的重构...

 PDF全文光学技术 | 2013, 39(05):450-455

 模拟光刻中双层衰减相移接触孔衍射的理论公式

杨亮 李艳秋 刘克 刘丽辉

[摘要]为了仿真光刻中接触孔掩模的衍射, 建立了严格的三维(3D)掩模模型。采用法向矢量法(NV)改善了接触孔掩模耦合波方程的收敛性。利用S矩阵求解线性方程组避免了数值不稳定问题。对于双吸收层衰减相移接触孔掩模, 当有效的...

 PDF全文光学技术 | 2013, 39(05):413-418

 16~22 nm极紫外光刻物镜工程化设计

曹振 李艳秋 刘菲

[摘要]极紫外光刻是16~22 nm光刻技术节点的候选技术之一,其投影物镜设计需在满足像质和分辨率要求的前提下,兼顾工程可实现性。在考虑加工、检测和制造约束的情况下,设计了像方数值孔径分别为0.3和0.32、曝光视场为26 mm...

 PDF全文光学学报 | 2013, 33(09):0922005

 宽视场角1/4波片装调和加工误差对偏振检测的影响

董娟 李艳秋

[摘要]波片通常用于测量光学系统的偏振效应。对于大入射角的超高数值孔径(NA)成像系统,待测光不再平行于系统光轴,而是与系统光轴有较大夹角的圆锥形光束,所以在高NA的成像系统中使用的波片不是传统的两片式零级1/4波片...

 PDF全文光学学报 | 2013, 33(06):0612006

 掩模衍射频谱轴向分量对光刻成像性能的影响

董立松 李艳秋 郭学佳

[摘要]传统三维光刻矢量成像模型中将投影系统物方电磁场表示为二维形式,实现方式分为两种:采用局部坐标和忽略掩模衍射频谱的轴向分量。后者在浸没式光刻系统仿真中的适用性需要进一步分析。简述了忽略掩模频谱轴向分量的...

 PDF全文光学学报 | 2013, 33(11):1111002

 超高数值孔径Schwarzschild投影光刻物镜的光学设计

胡大伟 李艳秋 刘晓林

[摘要]针对45 nm及以下节点光刻相关技术的研究需求,确定了实验型投影光刻物镜的结构型式及设计指标。依据像差理论在非同心小遮拦的Schwarzschild反射系统中添加折射补偿镜组来进一步减小系统的中心遮拦,扩大像方数值孔径...

 PDF全文光学学报 | 2013, 33(01):0122004

 22 nm极紫外光刻物镜热和结构变形及其对成像性能影响

杨光华 李艳秋

[摘要]极紫外光刻技术(EUVL)是半导体制造实现22 nm及其以下节点的下一代光刻技术。在曝光过程中,EUVL物镜的每一面反射镜吸收35%~40%的入射极紫外(EUV)能量,使反射镜发生热和结构变形,影响投影物镜系统的成像性能。...

 PDF全文光学学报 | 2012, 32(03):0322005

 超大数值孔径光刻中掩模保护膜优化及偏振像差研究

周远 李艳秋 刘光灿

[摘要]超大数值孔径(NA)光刻成像中,掩模保护膜上的入射光线入射角范围增大,用传统方法优化掩模保护膜难以增大斜入射光的透射率。基于薄膜光学原理提出一种新的掩模保护膜优化方法,确保光线在整个入射角范围内的平均透射...

 PDF全文中国激光 | 2011, 38(04):0407001

 大数值孔径产业化极紫外投影光刻物镜设计

刘菲 李艳秋

[摘要]极紫外光刻技术(EUVL)是半导体制造实现22 nm及以下节点的下一代光刻技术,高分辨投影物镜的设计是实现高分辨光刻的关键技术。为设计满足22 nm产业化光刻机需求的极紫外光刻投影物镜,采用6枚高次非球面反射镜,像方...

 PDF全文光学学报 | 2011, 31(02):0222003

 相移点衍射干涉仪的关键技术研究

李艳秋 刘 克

[摘要]相移点衍射干涉仪(PS/PDI)是应用于极紫外光刻投影物镜波像差在线检测的高精度检测设备。在介绍国际相关机构PS/PDI研究进展的基础上,重点阐述在干涉仪优化设计、高精度对准、系统误差标定以及干涉图像处理等PS/PDI...

 PDF全文激光与光电子学进展 | 2010, 47(01):011201

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