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 光刻机照明光场均匀性高精度校正方法研究

程伟林 张方 林栋梁 曾爱军 杨宝喜 黄惠杰

[摘要]提出了应用于光刻机照明系统照明光场均匀性的高精度校正方法,该方法通过优化手指阵列式均匀性校正器中校正手指前端的形状及其排布方式来提高校正能力和精度。仿真结果表明:当校正手指错开排布时,手指阵列式均匀性...

 PDF全文光学学报 | 2018, 38(07):0722001

 低相干光干涉高精度透镜中心厚度的测量方法

金超群 杨宝喜 胡小邦 张方 马健 黄惠杰

[摘要]阐述了一种基于低相干光干涉技术的透镜中心厚度的测量方法, 并设计了腔式测量结构对未知折射率的材料进行中心厚度测量。测量系统为包括低相干测量和激光测距的全光纤结构。低相干测量结构参考臂和激光测距结构参考臂...

 PDF全文中国激光 | 2017, 44(06):0604002

 高精度深紫外光学透射率测量装置的研制

陈明 谢承科 杨宝喜 黄惠杰

[摘要]为了精确控制曝光剂量,需要精确测量光刻系统的光学透射率。采用了双光路对比的方法进行透射率测量,有效地消除了准分子激光器能量波动带来的透射率测量误差。并通过加入起偏器,消除了准分子激光器偏振态不稳定带来...

 PDF全文中国激光 | 2016, 43(03):0308002

 一种混合迭代算法在大离焦距离TIE相位恢复中的应用

郭怡明 张方 宋强 朱菁 司徒国海 袁乔 杨宝喜 黄惠杰

[摘要]研究了一种基于强度传输方程(TIE)和角谱迭代传播算法的混合迭代算法。通过仿真和实验,对比了TIE算法与混合迭代算法在不同离焦距离下的相位恢复效果。结果表明,与TIE算法相比,混合迭代算法提升了大离焦距离下的相...

 PDF全文光学学报 | 2016, 36(09):0912001

 基于低相干干涉技术的大量程高精度镜面间距测量

师中华 杨宝喜 胡小邦 金超群 魏张帆 李璟 黄惠杰

[摘要]描述了利用低相干干涉技术实现光学镜面间距测量的方法。首先,采用微机电系统(MEMS)光开关多通道延迟结构实现测量范围的多倍增,然后通过共光路激光测距结构实现扫描反射镜的位移测量,再利用包络提取算法对低相干干...

 PDF全文光学学报 | 2016, 36(06):0612001

 光学镜面间距测量技术研究进展

师中华 杨宝喜 魏张帆 李璟 黄惠杰

[摘要]透镜作为光学系统中最基本的光学元件,其中心厚度的加工误差和装配精度将直接关系到整个光学系统的成像质量.对镜面间距非接触测量技术进行了研究,重点介绍了图像法、轴向色散法、差动共焦法、低相干光干涉法等方法的测...

 PDF全文激光与光电子学进展 | 2015, 52(04):040004

 准分子激光脉冲能量探测器的设计与性能测试

谢承科 陈明 杨宝喜 黄惠杰

[摘要]在以准分子激光为光源的步进扫描投影光刻机中,为了精确控制曝光剂量,需要用能量探测器实时、精确地监测单个激光脉冲的能量。研制了一种主要由聚光镜、积分棒、特殊晶体、滤光片、光电探测器和信号处理电路组成的准...

 PDF全文中国激光 | 2015, 42(01):0102006

 轻量化头戴显示器光学系统设计

吕向博 王振 魏张帆 李璟 杨宝喜 乔亚 路远 李登高 朱菁 黄惠杰

[摘要]虚拟现实头戴显示器(HMD)的光学系统应具有较大的视场角和出瞳,同时应具有重量轻和厚度薄的特性,从而适应人体的佩戴需要。为了同时满足这些要求,详细描述了一种基于初级像差理论的头戴显示器光学系统设计方法。根据...

 PDF全文光学学报 | 2015, 35(10):1022007

 基于混合梯度下降的高性能光刻机离轴照明衍射光学元件设计

宋强 朱菁 王健 张方 吕向博 杨宝喜 黄惠杰

[摘要]深紫外(DUV)光刻机照明系统普遍采用衍射光学元件(DOE)实现光瞳整形。根据光刻机的指标要求,衍射光学元件应具有高衍射效率和高均匀性的特点。传统的相位恢复算法如Gerchberg-Saxton (GS)及其改进算法,一般只能通过降...

 PDF全文光学学报 | 2015, 35(01):0122005

 光学优化中的光线控制

杨宝喜

[摘要]光线计算是光学设计的基本问题之一,其目的在于解决光线经光学系统后的位置(高斯光学性能)和光束结构特性(像差特性),以判断像差理论运用的正确性、光学系统各个变数改变过程是否恰当,以及光学系统的成像质量[1...

 PDF全文光电产品与资讯 | 2014, 5(10):28

 大口径凸非球面面形检测方法研究

宋强 杨宝喜 袁乔 李璟 朱菁 黄惠杰

[摘要]提出了在非球面检验中以反射镜补偿法线像差的方法,用于大口径凸非球面透镜的检测,克服了在检测大口径非球面透镜时一般需要采用多片透镜补偿的困难,降低了设计难度和装调难度,节约了加工成本。设计并研制了大口径凸...

 PDF全文中国激光 | 2014, 41(04):0408003

 光刻机光瞳整形衍射光学元件远场多参数检测方法

胡中华 朱菁 杨宝喜 彭雪峰 曾爱军 黄惠杰

[摘要]光刻机光瞳整形普遍采用衍射光学元件(DOE)来产生各种照明模式。针对其光学特性的检测需求,提出了一种光刻机光瞳整形DOE远场多参数检测方法。该方法通过对远场光强分布进行转换,可同时获得DOE远场衍射图样的极平衡性...

 PDF全文中国激光 | 2013, 40(09):0908001

 用于光刻机照明均匀化的微柱面镜阵列设计

肖艳芬 朱菁 杨宝喜 胡中华 曾爱军 黄惠杰

[摘要]均匀照明是投影光刻机中实现光刻线条高度均一性的重要条件。采用微透镜阵列作为照明匀光器件,能够在实现矩形照明光斑的同时获得极高的远场分布均匀性。基于微透镜阵列现有的加工工艺,设计出二维方向分开的柱面微透...

 PDF全文中国激光 | 2013, 40(02):0216001

 星敏感器光学系统的研制与性能测试

李璟 杨宝喜 胡中华 肖艳芬 黄惠杰

[摘要]针对星敏感器系统探测要求,设计了像方远心光路的双高斯光学系统。该系统在满足弥散斑和能量集中度等要求的情况下,具有相对孔径大、畸变小、色差小以及星点位置对离焦不敏感等特点。利用调制传递函数仪测量了星敏感...

 PDF全文光学学报 | 2013, 33(05):0522005

 光刻机照明系统中光束稳定技术研究

鲍建飞 黄立华 曾爱军 任冰强 杨宝喜 彭雪峰 胡小邦 黄惠杰

[摘要]光束稳定技术是光刻机照明系统中一项重要的单元技术,其作用是将激光器出射的经长距离传输后的光束稳定在需要的指向和位置上,以保证照明系统具有稳定的光强分布。光束稳定系统主要由光束测量和光束转向两个功能模块...

 PDF全文中国激光 | 2012, 39(09):0908004

 高分辨率投影光刻机光瞳整形技术

胡中华 杨宝喜 朱菁 肖艳芬 曾爱军 黄立华 赵永凯 黄惠杰

[摘要]在高分辨光学光刻技术中,光瞳整形技术针对不同的掩模图形产生特定的光瞳光强分布模式,从而实现分辨力增强,获得更好的成像性能。概述了高分辨率投影光刻机照明系统中基于衍射光学元件(DOE)、微透镜阵列(MLA)和微反...

 PDF全文激光与光电子学进展 | 2011, 48(11):111101

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