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 扫描干涉场曝光中光栅掩模槽形轮廓的预测

鲁森 杨开明 朱煜 王磊杰 张鸣

[摘要]根据扫描干涉场曝光的特点,针对光刻胶层内曝光量的驻波效应,建立了动态曝光模型。基于快速推进法建立了显影模型,得到了光栅掩模槽形的演变规律。为减弱驻波效应的影响,提出了一种抗反射层最优厚度的设计方法。仿...

 PDF全文光学学报 | 2018, 38(05):0505001

 干涉条纹相位锁定系统分析及其控制

鲁森 杨开明 朱煜 张鸣 王磊杰 胡楚雄

[摘要]干涉条纹的相位变化与干涉条纹中某一固定点的光强密切相关, 基于这一原理, 通过对干涉场光强分析, 提出并设计了一种用于干涉条纹相位锁定的控制系统.光电探测器检测干涉条纹中固定目标点的光强, 并以该光强电压作为反...

 PDF全文光子学报 | 2017, 46(01):0123001

 用于扫描干涉场曝光的超精密微动台设计与控制

鲁 森 杨开明 朱 煜 王磊杰 张 鸣 杨 进

[摘要]扫描干涉场曝光(SBIL)系统中曝光效果与工件台的运动性能密切相关。为了制作纳米精度的大面积平面光栅, 工件台采用了粗微叠层结构设计, 其中微动台是实现工件台运动精度的关键。基于SBIL原理, 推导了干涉条纹周期测...

 PDF全文光学学报 | 2017, 37(10):1012006

 零差移频式干涉图形相位锁定系统的超精密控制

王磊杰 张 鸣 鲁 森 朱 煜 杨开明

[摘要]利用全息曝光法制造大口径全息平面光栅时, 常引入零差移频式干涉图形相位锁定系统来提高全息曝光质量。本文针对直接影响最终干涉曝光精度的系统控制精度开展研究。首先, 介绍了新型的零差移频式干涉图形锁定系统的原...

 PDF全文光学 精密工程 | 2017, 25(05):1213

 超精密外差利特罗式光栅干涉仪位移测量系统

王磊杰 张 鸣 朱 煜 鲁 森 杨开明

[摘要]开展了扫描干涉光刻机工作台超精密位移测量的实验研究,以提高扫描干涉光刻机的环境鲁棒性。针对扫描干涉光刻机工作台位移测量精度,提出了新型高环境鲁棒性外差利特罗式光栅干涉仪测量系统。介绍了系统测量原理,设...

 PDF全文光学 精密工程 | 2017, 25(12):2975

 干涉条纹相位锁定系统

鲁 森 杨开明 朱 煜 王磊杰 张 鸣

[摘要]干涉曝光系统中干涉条纹的相位漂移会导致曝光对比度降低, 为了有效抑制相位漂移, 利用声光调制器对干涉光频率进行实时调制。分析了条纹漂移的特点, 指出了主要干扰源是0~5 Hz的空气扰动。应用数值分析法得到了条纹漂...

 PDF全文光学 精密工程 | 2017, 25(01):1

 应用飞秒激光双光子吸收还原金属离子

马竞 朱煜 杨开明

[摘要]为了探讨利用有机高分子材料的飞秒激光双光子吸收来引发金属离子还原的可行性,在自行研制的双光子微细加工系统中,采用物质的量的比为1∶1的硝酸银/聚乙烯吡咯烷酮混和凝胶进行还原试验,加工出宽25μm的线条以及4m...

 PDF全文激光技术 | 2010, 34(03):395-397

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