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 最大似然估计法去除子孔径拼接检测中的支撑误差

张敏 高松涛 苗二龙 隋永新 杨怀江

[摘要]为了去除拼接干涉检测中支撑对面形检测的影响,提出了利用最大似然估计法计算支撑造成的面形误差的方法。首先,保持支撑工装不动,旋转待测镜检测各子孔径面形;然后,用最大似然估计法计算出支撑造成的面形误差;最...

 PDF全文激光与光电子学进展 | 2017, 54(04):041204

 基于位相分布限制衍射光学元件的散斑抑制方法

梁传样 张巍 芮大为 隋永新 杨怀江

[摘要]根据散斑产生的机理, 利用像素点之间干涉的概念, 提出了通过限制光场的位相分布范围来抑制投影图像中散斑对比度的方法.在部分发展散斑的条件下, 推导了位相均匀分布情况下的散斑对比度公式, 揭示了当相位分布范围在0...

 PDF全文光子学报 | 2017, 46(01):0105002

 基于硅基液晶实现激光投影显示系统匀光整形和散斑抑制

梁传样 张巍 芮大为 隋永新 杨怀江

[摘要]激光投影显示通常需要解决光束整形匀化和散斑抑制的问题。基于此,提出利用硅基液晶(LCoS)空间光调制器(SLM)同时解决上述问题的方法。利用衍射光学元件(DOE)精细化设计思想设计所需整形DOE的相位分布,可以同时...

 PDF全文中国激光 | 2016, 43(12):1201001

 基于重力补偿的立式三平板绝对检测

苏东奇 田伟 苗二龙 隋永新 杨怀江

[摘要]为了实现高精度平面面形绝对检测,对传统的立式三平板绝对检测方法进行了重力变形补偿.通过有限元软件仿真了平板在水平放置于工装上的重力变形,并将其加入到平面绝对标定的计算中.把平面标定分成旋转对称项和旋转非对...

 PDF全文光子学报 | 2015, 44(11):1112003

 利用泽尼克位相型光瞳滤波器实现景深延拓及超分辨

刘江 苗二龙 王学亮 隋永新 杨怀江

[摘要]为了对显微光学系统实现景深延拓和超分辨,设计了一种基于泽尼克多项式的位相型光瞳滤波器,并分析了其对光学系统在焦点附近光强分布的改善。结果表明,与传统显微光学系统相比,加入泽尼克位相型光瞳滤波器后,系统...

 PDF全文光学学报 | 2015, 35(12):1211002

 电容式位移传感器的线性度标定与不确定度评定

葛川 张德福 李朋志 郭抗 李佩玥 杨怀江

[摘要]由于光刻投影物镜装调中电容传感器的线性度指标不能够满足位移调节精度的需求,本文提出了一种提高电容传感器测量线性度的方法。该方法采用压电驱动器提供位移进给;采用高精度激光测长干涉仪校准电容传感器的线性度,提...

 PDF全文光学 精密工程 | 2015, 23(09):2546

 用于子孔径拼接干涉系统的机械误差补偿算法

张敏 隋永新 杨怀江

[摘要]针对拼接干涉检测系统机械定位精度引起的各子孔径间的相对定位误差,提出了含定位误差补偿项的全局最优化拼接算法。介绍了该算法原理,从理论上分析了该算法拟合出的平移和旋转定位系数的精度。结合MetroPro和Matlab...

 PDF全文光学 精密工程 | 2015, 23(04):934

 提取标记点中心在子孔径拼接检测中的应用

张敏 隋永新 杨怀江

[摘要]子孔径拼接干涉仪中子孔径定位精度难以在大行程范围内得到保证,为此本文提出了基于提取标记点中心定位子孔径的拼接方法。以标记点的中心坐标为标记点坐标,根据标记点在两子孔径局部坐标系下的坐标计算两子孔径之间...

 PDF全文中国光学 | 2014, 7(05):830

 基于迭代方法的补偿器系统设计

李乐 高松涛 隋永新 杨怀江

[摘要]针对F 数为4 的高次非球面,设计了一套基于平行光束照射的高精度补偿器。系统工作波长为632.8 nm,设计残差为0.0018 λ 。提出了求解两片检测透镜组成补偿器初始结构的新方法。该方法合理假设补偿器部分结构参数,通...

 PDF全文激光与光电子学进展 | 2014, 51(07):072203

 高精度曲率半径测量研究

彭石军 苗二龙 史振广 陈华 隋永新 杨怀江

[摘要]由于影响曲率半径测量精度的因素众多,因此高精度曲率半径测量一直是光学检测中的难题之一。为了实现球面光学元件曲率半径的高精度测量,提出通过环境补偿和提高对准精度的方法来减小测量误差。首先从理论的角度分析...

 PDF全文激光与光电子学进展 | 2014, 51(01):011201

 基于旋转平均补偿算法的旋转非对称面形绝对检测

张艳微 苏东奇 隋永新 杨怀江

[摘要]旋转法是一种用于获得被测面旋转非对称面形的绝对检测技术。旋转平均补偿算法是在N次等间隔旋转的基础上增加一次不同角度的旋转测量,称为N+1次旋转法。通过附加的一次旋转测量,采用泽尼克多项式拟合求解旋转平均法...

 PDF全文中国激光 | 2014, 41(07):0708007

 光刻机投影物镜热像差主动补偿方法研究

陈华 苏东奇 隋永新 章明朝 田伟 杨怀江 张巍

[摘要]非均匀照明导致的热像差是光刻机投影物镜工作过程中成像性能劣化的主要因素,对其补偿是必要的。针对物镜热像差的补偿问题,提出了分区式加热补偿镜的方案,利用玻璃材料折射率随温度变化的特点,采用电薄膜加热器在...

 PDF全文光学学报 | 2014, 34(08):0811001

 日盲紫外滤光片的带外截止深度测试

崔穆涵 周跃 陈雪 闫丰 杨怀江

[摘要]针对全日盲紫外滤光片, 建立了以窄带光发射二极管(LED)作为基本光源的超大动态范围滤光片带外截止深度测试系统, 并分析了系统的测试误差。该系统主要由LED光源, 已知衰减系数的标准反射式中性衰减片以及光电倍增管组...

 PDF全文光学 精密工程 | 2014, 22(09):2306

 基于光强自标定移相算法检测光学面形

刘江 苗二龙 曲艺 隋永新 杨怀江

[摘要]考虑菲佐型波长移相干涉仪中波长可调谐激光器光强与调节电压之间的关系会对相位计算精度造成影响,本文提出了一种基于光强自标定的波长移相算法。首先,分析了波长可调谐激光器调节电压与输出光强之间的关系,建立了...

 PDF全文光学 精密工程 | 2014, 22(08):2007-2013

 压电驱动器的开闭环迭代学习控制

李朋志 闫丰 葛川 李佩玥 隋永新 杨怀江

[摘要]由于开闭环迭代学习控制方法能在加快收敛速度的情况下降低跟踪误差, 本文利用该控制方法来提高压电驱动器(PZT)的高频轨迹跟踪精度。首先, 提出了离散时间下的开环P型结合闭环PI型的迭代学习律, 并且给出了基于该学习...

 PDF全文光学 精密工程 | 2014, 22(02):414-419

 菲索干涉仪中精确移相的实现

苏志德 史振广 彭吉 隋永新 杨怀江

[摘要]为了实现移相式菲索干涉仪对光学元件面形的高精度测量,建立了干涉仪同步采集移相系统,并对精确移相方法进行了研究。介绍了移相系统的构成和工作原理,计算了测量过程中移相器的速度。针对PZT移相器在移相过程中会引...

 PDF全文中国光学 | 2013, 6(02):244-250

 日盲紫外像增强型CCD疲劳特性测试

孔繁林 周跃 陈雪 隋永新 杨怀江 文刚

[摘要]为评估日盲紫外(SBUV)像增强型CCD(ICCD)响应度随工作时间的变化规律,针对器件的两种典型工作模式设计了SBUV-ICCD疲劳特性测试方案,并构建装置对其进行了实验测量。首先结合SBUV-ICCD的基本结构和工作原理介绍了器件...

 PDF全文激光与光电子学进展 | 2013, 50(11):110401

 基于两帧差分平均移相算法标定斐索型波长移相干涉仪

文刚 苏东奇 隋永新 杨怀江 孔繁林

[摘要]波长移相干涉仪的移相值与干涉腔长度有关,需要对其标定方可采用定步长移相算法计算相位分布。为了标定研制的斐索型波长移相干涉仪,提出一种利用干涉图直接计算定步长移相值的新算法两帧差分平均移相算法(TDA)。对该...

 PDF全文中国激光 | 2013, 40(11):1108004

 免疫投影基准光强变化的五步移相算法在条纹投影偏折法中的应用

刘江 王飞 王高文 高松涛 杨怀江

[摘要]为了提高条纹投影偏折法对自由曲面的测量精度,通过分析投影到待测面的条纹光强变化形式,推导出一种可以免疫光强变化的五步移相算法,并通过频域傅里叶分析论述了该算法的可行性。数值实验结果表明,免疫光强变化的...

 PDF全文中国激光 | 2013, 40(11):1108003

 基于数值模拟的高精度波长移相干涉仪随机误差分析

文刚 苏东奇 苏志德 隋永新 杨怀江

[摘要]研制波长移相干涉仪时为了选出满足干涉仪设计指标的激光器和CCD相机,采用直接计算法和蒙特卡罗法对干涉仪系统中的主要随机误差进行建模仿真。介绍了菲佐型波长移相干涉仪的基本结构和测量原理,对振动、空气扰动和激...

 PDF全文中国激光 | 2013, 40(10):1008003

 环形子孔径拼接检测中机械误差的分离

张敏 王立朋 隋永新 杨怀江

[摘要]为减少环形子孔径拼接干涉检测中机械误差对检测结果造成的影响, 分析环形子孔径拼接过程中机械误差作用分量的表现形式, 提出了分离机械误差的全局优化的环形子孔径拼接方法。分析根据波像差理论建立的机械误差分离数...

 PDF全文应用光学 | 2013, 34(05):825-830

 迭代最小二乘法用于非线性移相器的标定

苏志德 隋永新 杨怀江 邵晶

[摘要]针对移相干涉仪中移相器的非线性会影响测量结果准确性的问题,提出了一种基于迭代最小二乘拟合的标定干涉仪移相器的新方法。对移相器加电压并采集若干幅干涉图后,通过在帧间和帧内迭代开展最小二乘拟合可计算出干涉...

 PDF全文应用光学 | 2013, 34(04):624-628

 快速傅里叶变换与泽尼克模式拟合的条纹投影面形恢复算法

刘江 崔穆涵 高松涛 隋永新 杨怀江

[摘要]针对条纹投影偏折法中需要多次迭代进行面形恢复,提出一种结合快速傅里叶变换(FFT)算法与泽尼克(Zernike)模式拟合的算法(FFT-泽尼克)。数值仿真结果表明,直接使用泽尼克模式拟合,需要迭代15次,用时1 min以上...

 PDF全文应用光学 | 2013, 34(04):614-618

 基于变换的子孔径拼接新算法

陈一巍 王飞 王高文 隋永新 杨怀江

[摘要]拼接干涉仪存在机械定位误差,各子孔径间存在相对定位误差,给拼接结果带来影响,需要通过子孔径拼接算法进行补偿。为了提高子孔径拼接算法的补偿能力,提出了有别于基于原始图像计算补偿量的子孔径拼接新算法。将待...

 PDF全文光学学报 | 2013, 33(09):0912004

 用计算全息图对非球面的高精度检测与误差评估

高松涛 隋永新 杨怀江

[摘要]计算全息图(CGH)作为零位补偿器,越来越广泛地应用于高精度非球面检测领域。CGH的设计、编码、加工和装调等误差,直接限制了非球面的检测精度。提出一种切实可行的检测非球面的流程与方法,完成了对CGH基底的标定、...

 PDF全文光学学报 | 2013, 33(06):0612003

 在随机和倾斜移相下光强归一化的迭代移相算法

苏志德 史振广 苏东奇 隋永新 杨怀江

[摘要]由于存在振动和导向误差,干涉仪移相器在移相过程中产生随机的平移误差和倾斜误差,会给测量结果带来影响。因此高精度测量中对环境的稳定性和移相器的性能要求很苛刻。为了降低此种要求,针对随机和倾斜移相下干涉图...

 PDF全文光学学报 | 2013, 33(01):0112001

 用计算全息图校正非球面的畸变

高松涛 王高文 张健 隋永新 杨怀江

[摘要]针对用计算全息图(CGH)对非球面进行检测时出现的非对称畸变, 分析了3种基本的畸变模型, 提出了一种有效的校正非对称畸变的方法。该方法采用较少的拟合参数即可实现对非对称畸变的精确校正, 从而可以较大程度地减少畸...

 PDF全文光学 精密工程 | 2013, 21(08):1929-1935

 基于动态模糊系统模型的压电陶瓷驱动器控制

李朋志 葛川 苏志德 闫丰 隋永新 杨怀江

[摘要]针对压电陶瓷驱动器(PZT)的迟滞非线性对周期性超精密跟踪精度的影响, 对基于Takagi-Sugeno(T-S)型模糊规则的动态模糊系统( DFS)前馈+PI控制方法进行了研究。介绍了DFS模型前提部分和结论部分的辨识方法; 结合直接逆模...

 PDF全文光学 精密工程 | 2013, 21(02):394-399

 热扰动条件下投影物镜温度响应的高精度建模

秦硕 巩岩 于新峰 袁文全 彭海峰 杨怀江

[摘要]针对投影物镜温度控制系统具有多重扰、多时滞和时间常数较大等问题, 搭建了投影物镜温控实验平台; 研究了实验平台的结构、激励信号设计、数据预处理方法和建模算法, 建立了超高精度温度响应模型。首先, 考虑光刻机对...

 PDF全文光学 精密工程 | 2013, 21(11):2829-2835

 曲率半径的高精度测量及其不确定度

田志辉 史振广 刘伟奇 杨怀江 隋永新

[摘要]为了高精度测量光学元件的曲率半径,提出了一种利用反射式计算全息元件结合波长移相干涉测长技术测量光学球面曲率半径的方法。测试中,将反射式计算全息元件作为基准来标定所用标准镜头参考面的曲率半径,利用波长移相...

 PDF全文光学 精密工程 | 2013, 21(10):2495-2501

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