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 基于光谱估计与多光谱技术的光学元件表面疵病检测

杨言若 步扬 徐静浩 王少卿 王向朝 李杰

[摘要]为实现精密光学元件表面疵病的高效测量和精确统计,提出了一种基于光谱估计和多光谱技术的光学元件表面疵病检测方法。该方法利用光谱估计提取白光图像中不同波长的单光谱疵病图像,并合成多光谱疵病图像,然后采用优化后...

 PDF全文中国激光 | 2019, 46(09):0904002

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