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   将选定结果: 

 基于原子层沉积技术的石英管表面减反射膜的制备

沐雯 沈伟东 杨陈楹 郑晓雯 王震 袁华新 袁文佳 章岳光

[摘要]采用原子层沉积(ALD)技术在石英管表面制备了薄膜,研究了该薄膜的均匀性,以及石英管的内径、外径、长度对沉积薄膜均匀性的影响。以单波长减反射膜为研究对象,实验测试的反射光谱与仿真结果一致,石英管表面最低反...

 PDF全文光学学报 | 2019, 39(03):0324001

 1064 nm分振幅光偏振测量仪的多层介质分束镜的设计和制备

袁文佳 沈伟东 章岳光 郑晓雯 沐 雯 方 波 杨陈楹 刘 旭

[摘要]设计和制备了一种用于1064 nm分振幅光偏振测量仪(DOAP)的具有多层介质薄膜结构的差分相移分束镜。通过理论分析该DOAP系统的仪器矩阵参数, 得到分束镜的最优参数, 并用离子束溅射沉积方法制备了分束镜样品及其背面的减...

 PDF全文光学学报 | 2017, 37(05):0531001

 离子束溅射制备Nb2O5、TaNb2O5和SiO2薄膜的光学、力学特性和微结构

袁文佳 沈伟东 郑晓雯 杨陈楹 章岳光 方波 沐雯 陈超楠 刘旭

[摘要]研究了离子束溅射(IBS)制备的Nb2O5、Ta2O5和SiO2薄膜的光学特性、力学特性以及薄膜微结构, 分析了辅助离子源电压对薄膜特性的影响, 并将电子束蒸发、离子辅助沉积和IBS制备的薄膜进行了对比。研究结果表明, IBS制备的...

 PDF全文光学学报 | 2017, 37(12):1231001

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