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   将选定结果: 

 PECVD技术制备光学薄膜的研究进展

杭良毅 刘卫国 杭凌侠 周顺

[摘要]等离子体增强化学气相沉积(PECVD)技术在制备高激光损伤阈值的激光薄膜和渐变折射率结构的光学薄膜方面有独特的优点。通过大量的工艺研究,人们掌握了调控光学薄膜材料折射率和降低消光系数的方法。目前已知薄膜的最低...

 PDF全文激光与光电子学进展 | 2020, 57(13):130003

 Effects of various substrate materials on structural and optical properties of amorphous silicon nitride thin films deposited by plasma-enhanced chemical vapor deposition

杭良毅 刘卫国 徐均琪

[摘要]

 PDF全文Chinese Optics Letters | 2020, 18(08):083101

 钛酸镧薄膜的制备及工艺优化

杭良毅 徐均琪 程耀进 苏俊宏

[摘要]为了获得制备钛酸镧(LaTiO3)薄膜的最优工艺条件, 采用电子束热蒸发技术在K9基底上制备了单层LaTiO3激光薄膜。研究了不同工艺条件对LaTiO3薄膜激光损伤特性的影响。研究结果表明, 对LaTiO3薄膜激光损伤阈值(laser-ind...

 PDF全文应用光学 | 2015, 36(06):948

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