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   将选定结果: 

 光刻机照明光场均匀性高精度校正方法研究

程伟林 张方 林栋梁 曾爱军 杨宝喜 黄惠杰

[摘要]提出了应用于光刻机照明系统照明光场均匀性的高精度校正方法,该方法通过优化手指阵列式均匀性校正器中校正手指前端的形状及其排布方式来提高校正能力和精度。仿真结果表明:当校正手指错开排布时,手指阵列式均匀性...

 PDF全文光学学报 | 2018, 38(07):0722001

 光刻机照明系统的多自由度均匀性校正方法

程伟林 张方 林栋梁 曾爱军 杨宝喜 黄惠杰

[摘要]提出了一种光刻机照明系统的多自由度均匀性校正方法。当照明光瞳的部分相干因子发生变化时,该方法的校正手指只需整体在光轴方向进行微调就能使照明光场的均匀性满足要求。仿真分析了校正手指的三维空间移动对照明光...

 PDF全文光学学报 | 2018, 38(10):1022004

 刀口半影最小化的光刻机扫描狭缝研究

林栋梁 张 方 黄惠杰

[摘要]扫描狭缝是步进扫描光刻机中控制曝光剂量的重要单元, 而扫描狭缝产生过大的刀口半影会影响曝光性能。首先, 根据步进扫描光刻机照明原理, 通过分析掩模面上光强分布与扫描狭缝刀口厚度及位置的相对关系, 推导出掩模面...

 PDF全文光学 精密工程 | 2018, 26(05):1046

 基于Matlab的傅里叶变换光学仿真

谢家兴 王建 代秋芳 林栋梁

[摘要]随着科学技术的发展, 光学实验的计算机仿真不仅在科学与工程计算方面发挥着重要作用, 而且在光学教学方面也引起了广大教育工作者的广泛关注。Matlab软件编程实现一般是用衍射积分方法和傅里叶变换方法实现夫琅禾费衍...

 PDF全文光学学报 | 2009, 29(s1):130-133

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