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 基于计算全息元件的大口径非球面透镜透射波前检测方法

何宇航 李强 高波 魏小红 柴立群

[摘要]针对大口径非球面透镜透射波前检测, 提出了采用计算全息元件(CGH)作为光路相位补偿元件进行检测的方法。大口径非球面透镜透射波前通常采用球面干涉仪进行检测, 为了达到零位检测的目的, 在光路中往往需要加入相位补偿...

 PDF全文激光与光电子学进展 | 2019, 56(02):021202

 大口径光学元件功率谱密度的拼接干涉检测

刘昂 何宇航 李强 高波 石琦凯 柴立群 许乔

[摘要]为实现大口径光学元件波前功率谱密度(PSD)的高精度、低成本检测,提出了一种将干涉与拼接技术结合的检测方法。推导了波前PSD的计算方法,提出了基于相关匹配的子孔径拼接算法,分析了拼接干涉检测的误差来源。对拼接...

 PDF全文中国激光 | 2019, 46(02):0204008

 KDP\DKDP倍频晶体吸收系数的斜入射测量

高 波 杨 斌 李 强 姜昌录 黎高平 柴立群

[摘要]考虑惯性约束聚变系统中的磷酸二氢钾/磷酸二氘钾(KDP\DKDP)的吸收系数直接影响系统的转换效率及最终输出能量, 本文研究了KDP\DKDP倍频晶体吸收系数的测量方法。提出了新的基于朗伯定律的倍频晶体吸收系数斜入射测量...

 PDF全文光学 精密工程 | 2016, 24(12):3041

 用计算全息法测量长焦透镜的透射波前

魏小红 何宇航 高 波 徐凯源 李 强 柴立群

[摘要]为了高精度地检测长焦透镜的透射波前, 提出了在Zygo干涉仪的平面光路中加入一个二元衍射元件提供参考波前的计算全息法(CGH)。介绍了计算全息法检测长焦透镜透射波前的理论, 设计并研制了高精度计算全息板, 并将其用于...

 PDF全文光学 精密工程 | 2016, 24(12):3005

 光学玻璃应力双折射检测方法研究

魏小红 高波 李强 徐凯源 刘昂 何宇航 柴立群

[摘要]使用高精度数字应力仪测量光学玻璃的应力双折射,给出整体应力分布及大小。实验表明温度及重力对材料/玻璃的应力双折射分布和大小有非常明显的影响,相对初始测量结果,应力双折射最大值减少了83%,均方根(RMS)值减...

 PDF全文光学学报 | 2015, 35(s2):s212002

 基于迭代算法的两平板互检求解方法

高波 李强 刘昂 何宇航 柴立群

[摘要]提出了一种基于两平板绝对检验的迭代面形恢复算法。算法基于两平板互检方法,通过分别翻转和旋转其中一块平板,获得4次两两测量结果。对测量得到的4个结果数据进行翻转和旋转逆操作,直接推导出三个面形与测量结果及...

 PDF全文光学学报 | 2014, 34(12):1212003

 光学材料光学不均匀性绝对测量误差分析

李强 刘昂 高波 徐凯源 柴立群

[摘要]绝对测量技术去除了干涉仪参考面面形误差,可实现光学材料光学不均匀性的高精度测量。对现有主要光学材料光学不均匀性绝对检测技术进行了总结比较,针对像素错位、干涉图分辨率、干涉仪测量重复性、样品厚度以及折射...

 PDF全文应用光学 | 2013, 34(03):463-468

 大口径KDP晶体折射率非均匀性检测

魏小红 柴立群 高波 李强 徐凯源 何宇航 刘昂

[摘要]KDP晶体的折射率不均匀性将导致光束的空间分布存在不同程度的相位失配,从而使得三倍频系统的转换效率下降。为了得到KDP晶体折射率非均匀性的高精度检测结果,基于正交偏振干涉法,采用ZYGO MST大口径干涉仪,测量得...

 PDF全文应用光学 | 2013, 34(02):300-303

 镜面对称法绝对测量中的误差补偿方法

何宇航 柴立群 陈波 李强 魏小红 高波

[摘要]提出了一种对镜面对称法绝对测量中的原理性误差进行补偿的方法。镜面对称法绝对测量中,需要旋转其中一块平板,由于旋转次数的有限性,重构的三板波前均存在缺失cNθ项的原理性误差。通过增加一次不同角度的旋转,根...

 PDF全文光学学报 | 2013, 33(04):0412003

 光学元件表面疵病标准板系统设计

刘旭 任寰 柴立群 陈波 杨甬英 高鑫

[摘要]为解决大口径光学元件表面疵病检测设备的精确测量、校准和溯源问题。设计了用于标定表面疵病检测系统的标准板,通过电子束曝光将定标图案转移至掩模板,再采用反应离子束刻蚀的方法制作标准板。通过扫描电镜测量标准...

 PDF全文中国激光 | 2012, 39(s1):s116005

 大口径平板中频波前均方根的测量方法

柴立群

[摘要]在高功率激光系统中,大口径元件的中频波前影响系统的安全运行,中频波前均方根(PSD1)是用来评价中频波前质量的关键参数。由于大口径干涉仪在系统传递函数(STF)上不能完全满足中频波前的检测要求,提出采用小口径高分...

 PDF全文中国激光 | 2012, 39(01):0108003

 光学元件波前功率谱密度的计算方法探讨

任寰 刘旭 柴立群 张国伟 马力 朱日宏 陈波 郑万国

[摘要]波前功率谱密度(PSD)是反映高功率激光系统中光学元件中、高频信息的重要参数之一。介绍了利用波前位相信息计算功率谱密度的方法,提出对空域应用汉宁窗的方法抑制因波前数据的突然截断导致频域出现的吉布斯噪声。针...

 PDF全文光学学报 | 2012, 32(s1):s107002

 干涉成像系统传递函数的数值分析

徐建程 王飞舟 邓燕 柴立群

[摘要]干涉仪系统传递函数能有效地表征系统相位成像的性能。通过假设干涉成像系统是复振幅的线性平移不变系统,模拟计算正弦相位光栅和相位台阶这两类标准相位物体的成像,确定干涉仪系统传递函数。数值分析结果表明:系统...

 PDF全文强激光与粒子束 | 2012, 24(08):1811-1815

 KDP晶体应力数字式检测方法

魏小红 高波 李强 徐凯源 刘昂 柴立群

[摘要]使用高精度数字式应力仪测量 KDP晶体的应力, 给出整体应力分布。通过沿光轴方向测量, 消除晶体 o光和 e光的双折射效应的影响, 准确得到晶体材料自身的应力双折射分布。实验结果表明, 测量重复性优于 0.1 nm/cm。对 K...

 PDF全文光电工程 | 2011, 38(12):52-56

 平面反射镜反射率检测系统研究

刘旭 于德强 任寰 杨一 汤晓青 郑芳兰 马玉荣 冯晓璇 马可 柴立群 陈波

[摘要]为实现在高功率激光装置中对平面反射镜反射率的高精度测量, 提出了将双光束分光光度法与VW测量法相结合, 利用扩束后的测量光束测量被测元件的反射率。推导了计算公式, 搭建了测量光束口径为50mm的检测系统, 通过对标...

 PDF全文光学技术 | 2011, 37(04):397-400

 带旋转毛玻璃干涉成像系统的统计分析

徐建程 刘志超 杜雅薇 柴立群 许乔 王辉

[摘要]从统计光学出发,建立了带旋转毛玻璃干涉成像系统的信噪比理论模型,分析旋转毛玻璃参数、光场相干性与系统信噪比之间的关系。模拟计算和实验结果表明:旋转毛玻璃降低了干涉成像系统中光场的相干性,增大了曝光时间...

 PDF全文强激光与粒子束 | 2011, 23(03):702-706

 矩形元件离焦及像散计算方法

高波 徐凯源 柴立群 李强 魏小红 刘昂

[摘要]利用Zernike多项式进行最小二乘拟合来计算矩形元件的离焦及像散,不需要波面数据在圆域内正交,从而避免了波面数据缺失区域的数据插值。通过计算圆形口径数据,与商业软件计算结果比较,差别小于0.005倍波长,证明了该...

 PDF全文强激光与粒子束 | 2011, 23(12):3235-3238

 大口径连续相位板波前检测

柴立群 于瀛洁 石琦凯 许乔 温圣林 侯晶

[摘要]在高功率激光系统中,大口径连续相位板(CPP)元件是用来进行光束整形的关键衍射光学器件,由于其毫米量级的空间周期、大相位梯度的波前特征,大口径干涉仪无法满足检测需求。提出采用小口径高分辨率干涉仪结合子孔径拼接...

 PDF全文中国激光 | 2010, 37(03):809-814

 抑制相干噪声的环形光源技术

徐建程 王辉 柴立群 许乔

[摘要]为了提高干涉检测精度,必须抑制系统的相干噪声。根据统计光学建立了带环形光源干涉仪系统信噪比的理论模型,分析了环形光源参数、光场相干面积与系统信噪比之间的关系,以提高信噪比为目标,优化设计并采用计算全息...

 PDF全文中国激光 | 2010, 37(12):3081-3085

 大口径光学元件功率谱密度的统计法测量

徐建程 许乔 柴立群

[摘要]针对ICF系统要求, 提出了一种基于统计理论的大口径光学元件功率谱密度测量方法。该方法将大口径波前划分成足够多个子区域, 分别求得每个子区域波前的功率谱密度, 根据统计理论可将大口径波前功率谱密度表示为各个子区...

 PDF全文强激光与粒子束 | 2010, 22(08):1905-1908

 空间插值在功率谱密度计算中的应用

徐建程 许乔 柴立群

[摘要]为了提高光学元件波前中频PSD计算的精度和有效频谱宽度, 提出了填补波前无效数据的双线性插值法和抑制欠采样噪声的六采样点插值法。模拟计算和实验结果表明:双线性插值法有效地保证了填充数据与真实数据的一致性,抑...

 PDF全文强激光与粒子束 | 2010, 22(07):1520-1524

 基于Wigner分布函数的光学元件评价方法

徐建程 李海波 范长江 许乔 柴立群

[摘要]为了有效地表征和评价光学元件局部小尺度波前畸变, 提出了能同时反映空间频率和空间位置的Wigner分布函数评价方法。通过理论分析Wigner分布函数与功率谱密度之间的关系, 得到了局部波前畸变的评价方法和指标。模拟计...

 PDF全文强激光与粒子束 | 2010, 22(11):2621-2624

 KDP晶体折射率非均匀性检测系统

柴立群 石琦凯 徐建程 许乔 邓燕

[摘要]基于正交偏振干涉法,建立了KDP晶体折射率非均匀性的检测系统,并可实现晶体相位失谐角的间接检测.波前检测系统实现了测试光偏振态的精密控制与切换,采用波长调谐相移的方法去除了测试过程中参考面倾斜引入的误差,优...

 PDF全文光子学报 | 2009, 38(12):3126-3129

 基于最小二乘迭代的多光束相移算法

徐建程 陈建平 许乔 柴立群

[摘要]高阶谐波和随机相移误差是影响干涉测量精度的主要因素。为了同时解决这两问题, 提出了基于最小二乘迭代的多光束干涉条纹分析方法。该方法利用傅里叶级数将多光束干涉条纹展开为基波和各阶谐波之和。它只需要5帧随机相...

 PDF全文光学学报 | 2009, 29(01):224-228

 光学元件亚表面缺陷的全内反射显微检测

邓燕 许乔 柴立群 徐建程 石琦凯 罗晋

[摘要]光学元件亚表面缺陷的有效检测已成为高阈值抗激光损伤光学元件制造的迫切要求。基于全内反射照明原理开展了全内反射显微技术检测光学元件亚表面缺陷的实验研究。结果表明:全内反射显微技术可有效检测光学元件亚表面缺...

 PDF全文强激光与粒子束 | 2009, 21(06):835-840

 基于最小二乘迭代的多表面干涉条纹分析

徐建程 石琦凯 柴立群 邓燕 许乔

[摘要]为了准确地测量透射平行平板,提出了基于最小二乘迭代的多表面干涉条纹分析方法。依据波长调谐相移的原理,通过最小二乘迭代准确地求得每组双表面干涉条纹的实际相移值,从而准确地提取平板前后表面面形及厚度变化等信息...

 PDF全文光学学报 | 2008, 28(07):1307-1312

 环形光源在干涉仪系统中的应用

徐建程 许乔 邓燕 柴立群

[摘要]介绍了一种新的环形光源技术来抑制干涉仪系统的本征噪声以提高信噪比.阐述了环形光源抑制干涉仪系统本征噪声的原理,根据条纹对比度和需抑制噪声空间频率的要求,推导得到了环形光源的外半径和内半径.通过与传统的点光...

 PDF全文强激光与粒子束 | 2008, 20(03):367-370

 移相干涉仪的抗振技术研究进展

何祖斌 许乔 柴立群 邓燕

[摘要]在对光学元件面形进行检测和光学系统成像质量的评价中,移相干涉测量技术有着广泛地应用。但是,光学干涉仪的测量精度对环境的要求非常苛刻,环境的振动和空气的扰动会对测量结果产生很大影响。提高移相干涉仪的抗振...

 PDF全文光学技术 | 2007, 33(03):0416-419

 CCD对高空间分辨率波前干涉检测的影响

徐建程 邓燕 柴立群 许乔 石崎凯

[摘要]推导并用实验验证了光强与入射波前在单位像元面积里成近似线性关系,从而得到入射波前经CCD采样后的功率谱密度(PSD)公式.根据该公式,模拟分析了影响CCD采集系统的系统传递函数的各个因素:入射波前、CCD的填充因子...

 PDF全文光子学报 | 2006, 35(05):0793-796

 三表面干涉条纹空域傅里叶分析

徐建程 石琦凯 柴立群 邓燕 许乔

[摘要]为了准确测量透射平行平板,提出了单幅三表面干涉条纹空域傅里叶分析法,根据三表面干涉条纹频谱的旁瓣位置及峰值不同,分别提取平板前、后表面的面形及厚度变化等信息。通过与相移法(PSI)对比实验发现,该方法测量准确且...

 PDF全文中国激光 | 2006, 33(09):1260-1264

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