首页 > 论文 > 标签

Hi,您目前在 全部期刊 '段立峰', 共找到 2个内容。

   将选定结果: 

 超高NA光刻投影物镜高阶波像差检测方法

诸波尔 王向朝 李思坤 孟泽江 张恒 戴凤钊 段立峰

[摘要]提出了一种基于八角度孤立空检测标记的超高NA光刻投影物镜高阶波像差检测方法。通过对八角度孤立空检测标记的空间像进行主成分分析(PCA)和多元线性回归分析,构建了超高NA光刻投影物镜的空间像光强分布与高阶波像差之...

 PDF全文光学学报 | 2017, 37(04):0412003

 超大数值孔径光刻机投影物镜波像差检测方法

诸波尔 王向朝 李思坤 闫观勇 沈丽娜 段立峰

[摘要]提出了一种基于空间像主成分分析的超大数值孔径光刻机投影物镜波像差检测方法。通过采用偏振光照明和矢量光刻成像模型并考虑投影物镜的偏振像差,准确表征了超大数值孔径光刻机的空间像,从而提高了像差检测模型的精...

 PDF全文光学学报 | 2016, 36(01):0112002

首页上一页1下一页尾页