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 Ar+离子束刻蚀制作凸面闪耀光栅

汪海宾 刘全 吴建宏

[摘要]凸面闪耀光栅是研制高光谱分辨率超光谱成像系统的关键器件之一。由于要求的闪耀角度一般较小,制作工艺难度大,其衍射效率与理论值有较大差距,一直制约其应用。针对上述问题与难点进行了分析,通过光刻胶光栅掩模制...

 PDF全文光学学报 | 2011, 31(04):0405002

 Zemax软件在取样光栅对设计中的应用

汪海宾 杨玖娟 吴建宏

[摘要]光束取样光栅(BSG)是一种重要的用于光束取样诊断的衍射光学元件。以2块取样光栅代替单块光栅作为初始光学结构,运用Zemax光学设计软件采用分步优化的方法设计了具有消像差功能的光栅对结构,此方法比采用Matlab语言编...

 PDF全文应用光学 | 2010, 31(06):1050-1053

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