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 1064 nm分振幅光偏振测量仪的多层介质分束镜的设计和制备

袁文佳 沈伟东 章岳光 郑晓雯 沐 雯 方 波 杨陈楹 刘 旭

[摘要]设计和制备了一种用于1064 nm分振幅光偏振测量仪(DOAP)的具有多层介质薄膜结构的差分相移分束镜。通过理论分析该DOAP系统的仪器矩阵参数, 得到分束镜的最优参数, 并用离子束溅射沉积方法制备了分束镜样品及其背面的减...

 PDF全文光学学报 | 2017, 37(05):0531001

 离子束溅射制备Nb2ONb5、TaNb2ONb5和SiONb2薄膜的光学、力学特性和微结构

袁文佳 沈伟东 郑晓雯 杨陈楹 章岳光 方波 沐雯 陈超楠 刘旭

[摘要]研究了离子束溅射(IBS)制备的Nb2O5、Ta2O5和SiO2薄膜的光学特性、力学特性以及薄膜微结构, 分析了辅助离子源电压对薄膜特性的影响, 并将电子束蒸发、离子辅助沉积和IBS制备的薄膜进行了对比。研究结果表明, IBS制备的...

 PDF全文光学学报 | 2017, 37(12):1231001

 原子层沉积制备铱薄膜的特性研究

叶志杰 沈伟东 章岳光 张兴 袁文佳 李旸晖 刘旭

[摘要]以乙酰丙酮铱[Ir(acac)3]和高纯氧为前驱体,采用原子层沉积(ALD)方法在基板温度为340 ℃的石英玻璃和硅基板上制备了金属铱薄膜。采用反射光谱测试仪、X射线电子能谱(XPS)、X射线衍射(XRD)、扫描电子显微镜(SEM)和...

 PDF全文光学学报 | 2014, 34(10):1031002

 基于白光干涉测量色散补偿薄膜的群延迟色散

李承帅 沈伟东 章岳光 范欢欢 刘旭

[摘要]为精确测量超快激光色散补偿薄膜的群延迟色散,提出了一种基于窗口傅里叶变换和样条插值去噪算法的新型白光干涉测量方案。计算机模拟表明此方法测试精度可达0.58 fs2。分析了高斯噪声和光强平均效应对测试精度的影响...

 PDF全文光学学报 | 2012, 32(10):1031003

 抗紫外辐射塑料显示面板的减反射膜

武江 沈伟东 袁文佳 章岳光 顾培夫

[摘要]设计制备了一种抗紫外(UV)辐射的塑料显示面板的减反射膜。对常用的聚碳酸酯(PC)塑料面板,在垂直入射时,减反膜紫外波段300~380 nm的平均反射率大于99.5%,可见光波段420~750 nm的残余反射率为0.22%;在45°入射...

 PDF全文光学学报 | 2011, 31(02):0231001

 基于金属介质薄膜的反射型彩色滤光片

余鹏 沈伟东 章岳光 牛海亮 刘旭

[摘要]基于诱导反射原理设计了一种可见光波段金属介质薄膜结构的反射型彩色滤光片。高吸收铬和高反射铝的应用使它既能获得高反射率又有很高的宽波段截止度,通过改变介质匹配层的厚度实现适当的导纳匹配,得到了反射率大于...

 PDF全文光学学报 | 2011, 31(12):1231003

 原子层沉积制备Ta2O5薄膜的光学特性研究

范欢欢 章岳光 沈伟东 李旸晖 李承帅 何俊鹏 刘春亮 刘旭

[摘要]以乙醇钽[Ta(OC2H5)5]和水蒸气为前驱体,采用原子层沉积(ALD)方法分别在基板温度为250 ℃和300 ℃的K9和石英衬底上制备了Ta2O5光学薄膜。采用分光光度计、X射线光电子能谱(XPS)、X射线衍射(XRD)、扫描电子显微...

 PDF全文光学学报 | 2011, 31(10):1031001

 白光LED显示用基于ZnS/Ag薄膜的颜色滤光片设计

武江 沈伟东 李海峰 刘旭 顾培夫

[摘要]本文报道了一种用于白光LED显示的颜色滤光片。这一滤光片不是基于传统的Fabry-Perot结构,而是由高折射率介质ZnS和金属Ag薄膜交替组成,在特定的波段诱导透射,在其它波长处被金属薄膜反射或吸收而截至。这一结构具有...

 PDF全文Chinese Optics Letters | 2010, 8(s1):32

 基于白光频谱干涉测试光学薄膜的光学特性

罗震岳 刘旭 张淑娜 沈伟东 夏梣 尹伊

[摘要]本文搭建了一个用于精确测试光学薄膜位相特性的色散式白光频谱干涉仪。引入小波求导的方法能够有效增加信号处理过程中对于测试误差的鲁棒性,基于改方法测试得到了光学薄膜的群延迟和群延迟色散特性。该系统除了可以...

 PDF全文Chinese Optics Letters | 2010, 8(s1):99

 光敏性溶胶凝胶杂化薄膜的光学特性研究

毛靖 沈伟东 尹伊 章岳光 刘旭

[摘要]利用溶胶凝胶法,合成了一种具有高紫外光敏特性的有机-无机杂化材料,并用旋涂法在单晶硅基板上制备了其光学薄膜。经过紫外氘灯光源照射5个小时之后,薄膜厚度减少了55%,而折射率从1.484减小为1.445,光学厚度更是随着照...

 PDF全文Chinese Optics Letters | 2010, 8(04):435

 粒子群优化算法设计色散补偿薄膜

罗震岳 沈伟东 刘旭 顾培夫 夏梣

[摘要]本文采用粒子群优化算法处理色散补偿薄膜的优化问题。给出了此方法的数学背景,并且利用软件代码实现了自适应型的粒子群优化算法。基于这种方法处理了两个实际的设计问题,所得到结果的性能要优于实际的已发表的结果...

 PDF全文Chinese Optics Letters | 2010, 8(03):342

 基于琼斯矩阵的薄膜诱导偏振像差分析

李旸晖 沈伟东 章岳光 郑臻荣 刘旭

[摘要]利用琼斯矩阵分析了大角度入射情况时薄膜诱导的偏振像差,通过理论推导提出了减小薄膜诱导偏振像差的膜系设计方法,即在满足最基本的透射率要求的前提下,将尽可能的减小任何入射角度的透射率差和相位差作为膜系优化...

 PDF全文光学学报 | 2010, 30(s1):s100109

 从白光干涉曲线获取光学薄膜反射相位和物理厚度的新算法

罗震岳 薛晖 张淑娜 沈伟东 顾培夫 章岳光

[摘要]设计了一套迈克耳孙白光干涉仪系统用于测量光学薄膜的反射相位,并由此反推单层薄膜的物理厚度。为补偿传统算法获取相位所存在的误差,提出一种新算法,以线性拟合结果作为初始猜想,采用多变量优化拟合总光程差曲线得到...

 PDF全文光学学报 | 2010, 30(06):1835-1840

 红外短波/长波分色片的研究

章岳光 王颖 孙雪铮 沈伟东 刘旭 顾培夫

[摘要]短波红外/长波红外分色片在红外双波段成像光学系统中起着重要的作用。分析了分色片基板和薄膜材料的选择。选定硒化锌为基板,采用Ge,ZnSe和YbF3作为薄膜材料进行了优化设计,并对沉积温度和蒸发速率等工艺条件进行了优...

 PDF全文光学学报 | 2010, 30(02):597-601

 原子层沉积制备Al2O3薄膜的光学性能研究

何俊鹏 章岳光 沈伟东 刘旭 顾培夫

[摘要]研究了原子层沉积制备氧化铝薄膜的光学性能。以三甲基铝(TMA)和水为前聚体,分别在基板温度为250 ℃和300 ℃的K9和石英玻璃衬底上沉积了Al2O3光学薄膜。采用分光光度计,X射线光电子能谱(XPS),X射线衍射(XRD),原子力显...

 PDF全文光学学报 | 2010, 30(01):277-282

 利用白光干涉系统测量薄膜反射相位

薛晖 沈伟东 顾培夫 罗震岳 章岳光 刘旭

[摘要]本文介绍了一种利用光谱型白光干涉系统测量光学薄膜绝对反射相位的方法。通过对探测器接收到的信号进行傅立叶变换,可以得到系统整体的光谱位相(φ),它由以下三部分组成:干涉系统两臂之间空气中的光程差(L)、由分光...

 PDF全文Chinese Optics Letters | 2009, 7(05):446

 多波段增透薄膜对镁掺杂铌酸锂变频晶体损伤阈值的影响

王颖 章岳光 沈伟东 刘旭 顾培夫

[摘要]采用电子束沉积法在镁掺杂铌酸锂基底上镀制了多波段增透膜, 透射波段分别为1.064 μm, 1.4~1.6 μm和3.5~4.3 μm, 测量了薄膜在1064 nm多脉冲辐照下的损伤阈值, 以及无薄膜铌酸锂晶体本身的损伤阈值。结果表明, 镀...

 PDF全文中国激光 | 2009, 36(s1):346-348

 新型色散补偿薄膜的初始结构设计方法

罗震岳 刘旭 沈伟东 薛晖 顾培夫 章岳光

[摘要]啁啾脉冲振荡(CPO)与飞秒激光显微系统都要求在一定带宽内能够提供大的色散补偿,如此大的色散补偿要求是之前应用于飞秒激光器的各种色散补偿薄膜结构难以达到的。为此提出一种将基于共轭腔与G-T腔混合结构的初始膜系...

 PDF全文光学学报 | 2009, 29(09):2619-2623

 薄膜-光栅混合结构中的古斯-亨兴位移与光束形变现象

罗震岳 刘旭 薛辉 沈伟东 顾培夫

[摘要]讨论了基于薄膜-光栅混合结构的导模共振滤光片中的古斯-亨兴位移与光束形变现象。模拟结果表明, 这种结构可以产生入射光波长300倍量级的横向位移量, 同时位移最大的波长上反射率也最大, 因而便于实验观测与在实际应用...

 PDF全文光学学报 | 2009, 29(08):2338-2342

 基于白光干涉的光学薄膜物理厚度测量方法

薛晖 沈伟东 顾培夫 罗震岳 刘旭 章岳光

[摘要]设计了一套利用白光干涉理论测量薄膜厚度的系统, 主要包括迈克耳孙白光干涉系统和光纤光谱仪。对干涉信号进行频域分析, 结合拟合测试与理论能量曲线的方法并选择合适的目标函数, 进一步精确反演得到待测薄膜样品的物...

 PDF全文光学学报 | 2009, 29(07):1877-1880

 可见光+1.54 μm激光/长波红外分色片的设计和制备

章岳光 王 颖 孙雪铮 沈伟东 刘 旭 顾培夫

[摘要]可见+1.54μm激光/长波红外分色片分离可见光、激光和长波红外光, 在多通道成像光学系统中起着重要的 作用.分析了分色片基板和薄膜材料的选择, 优化设计并用电子束蒸发法制备了该分色片, 其反射率和透射率都达 到了94...

 PDF全文红外与毫米波学报 | 2009, 28(04):307-310

 磁控反应溅射SiNx薄膜的研究

朱勇 沈伟东 叶辉 顾培夫

[摘要]用磁控反应溅射(RF)的方法制备了SiNx薄膜.分析了以硅为靶材,用N2/Ar做溅射气体条件下不同的气流比率、总气压以及沉积速率对薄膜光学常数和表面结构形态的影响,得出较低总气压下气流比率对薄膜光学常数的影响是最关键...

 PDF全文光子学报 | 2005, 34(01):154-157

 射频磁控反应溅射氮氧化硅薄膜的研究

朱勇 顾培夫 沈伟东 邹桐

[摘要]利用SiOxNy薄膜光学常数随化学计量比连续变化的特性,给出了制备折射率连续可调的SiOxNy薄膜的实验条件。用磁控反应溅射法制备了不同氮氧比的SiOxNy薄膜。研究了不同气流比率条件下薄膜光学常数、化学成分及溅射速率等...

 PDF全文光学学报 | 2005, 25(04):567-571

 铁电SBN薄膜电光系数的测量及其在波导中的应用

沈智如 叶辉 沈伟东 曹晓燕 郭冰

[摘要]利用溶胶凝胶法在MgO(001)衬底上获得C轴择优取向的铁电铌酸锶钡(SBN)薄膜,主要介绍MgO(001)衬底上SBN60薄膜及掺入的K离子与Nb离子摩尔比例为1∶3的SBN60薄膜横向电光系数r51的测量,实验测得不掺K的SBN60薄膜r51值为...

 PDF全文光学学报 | 2005, 25(01):121-125

 基于MEMS的波长可调谐微腔有机发光二极管的设计

沈伟东 王建浦 陈海星 李海峰 刘旭 顾培夫

[摘要]利用MEMS空气腔在静电力作用下的变形,设计了一种波长可调谐的微腔电致有机发光二极管.通过外加电压,可调制发光中心波长.模拟计算了不同电压下的光谱特性,结果表明可以获得半宽度为2.14 nm,可调谐范围为150 nm的发光光...

 PDF全文光子学报 | 2004, 33(02):155-158

 基于各向异性介质的偏振分束器

黄弼勤 杨立功 陈海星 沈伟东 顾培夫

[摘要]利用各向异性介质与各向同性介质构造了一维光子晶体,利用传输矩阵方法分析了它的能带结构,指出利用各向异性介质可以构造高消光比,全角度的偏振分束器件,并分析了它的理论基础.对影响偏振分束带宽的因素进行了分析.为...

 PDF全文光子学报 | 2004, 33(02):208-211

 微光机电系统滤波器可调谐特性分析

沈伟东 朱勇 黄弼勤 陈海星 刘旭 顾培夫

[摘要]分析了基于法布里珀罗腔的微光机电系统可调谐滤波器中,空气腔厚度与峰值波长间的关系。微光机电系统中,空气腔的厚度一般在一个波长附近,因此腔的干涉级数较小,两边反射镜的反射相位对峰值波长的影响比较大。从反射相...

 PDF全文光学学报 | 2004, 24(08):1125-1129

 一种用于密集波分复用系统中的可调谐液晶法布里珀罗滤光片

陈海星 黄腾超 沈伟东 李海峰 顾培夫

[摘要]基于液晶分子的双折射特性,设计并制作了一种结构简单的可用于波分复用系统中的可调谐液晶法布里珀罗滤光片。对器件的光谱调谐特性进行了分析和模拟,并得到了液晶分子的折射率调制与其分子在电场作用下产生的转动角度...

 PDF全文光学学报 | 2004, 24(08):1095-1098

 确定薄膜厚度和光学常数的一种新方法

沈伟东 刘旭 叶辉 顾培夫

[摘要]借助于不同的色散公式,运用改进的单纯形法拟合分光光度计测得的透过率光谱曲线,来获得薄膜的光学常数和厚度。用科契公式分别对电子束蒸发的TiO2和反应磁控溅射的Si3N4,以及用德鲁特公式对电子束蒸发制备的ITO薄膜...

 PDF全文光学学报 | 2004, 24(07):885-889

 薄膜多腔滤光片型梳状滤波器的设计

陈海星 顾培夫 李海峰 章岳光 沈伟东

[摘要]介绍了一种通过使用多个薄膜法布里-珀罗滤光片的叠加来实现密集波分复用中使用的梳状滤波器的设计的新方法.采用间隔层为熔融石英的薄膜法布里-珀罗滤光片作为基本结构的光学梳状滤波器可以比较容易地控制各腔的厚度,...

 PDF全文光学学报 | 2004, 24(01):62-64

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