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 采用椭偏法结合分光光度法研究极薄银的光学常数

牛江伟 潘永强

[摘要]极薄银在滤光片、高反射镜等中有广泛的应用, 其光学常数严重影响着膜系的特性。在室温条件下, 采用电阻热蒸发技术分别在硅和玻璃基底上沉积5.3 nm~26 nm不同厚度的极薄银薄膜, 用TalySurfCCI非接触式轮廓仪测量了薄膜...

 PDF全文应用光学 | 2018, 39(06):867

 二氧化钛薄膜表面粗糙度研究

潘永强 杨 琛

[摘要]为了探究二氧化钛(TiO2)薄膜表面粗糙度的影响因素,利用离子束辅助沉积电子束热蒸发技术对不同基底粗糙度以及相同基底粗糙度的K9玻璃完成二氧化钛(TiO2)光学薄膜的沉积。采用TalySurf CCI非接触式表面轮廓仪分别对镀制...

 PDF全文应用光学 | 2018, 39(03):400

 三层宽带减反射膜散射特性研究

杨 琛 潘永强

[摘要]为了研究三层介质减反射薄膜的散射特性减小光学薄膜的散射损耗,以多层光学薄膜矢量光散射理论为基础,利用光学薄膜的总散射损耗与光学薄膜双向反射分布函数的关系,研究了三层减反射薄膜的散射特性,即三层减反射薄...

 PDF全文光学与光电技术 | 2018, 16(01):11

 PECVD技术在微结构表面沉积薄膜的复形性

潘永强 陈 佳

[摘要]采用光刻技术、刻蚀技术和等离子体增强化学气相沉积(PECVD)技术,在线阵掩模微结构表面沉积了SiO2和Si3N4薄膜,研究了线阵掩模的宽度和厚度,以及薄膜的厚度和沉积速率对SiO2和Si3N4薄膜复形性的影响,制备得到了具...

 PDF全文激光与光电子学进展 | 2017, 54(11):113102

 微结构窄带滤光片设计及制备工艺研究

潘永强 陈佳

[摘要]为了提升微结构窄带滤光片的光谱透过率, 增大微结构单元的制备精度, 提出一种新的膜系镀制方法和微结构单元的制备方法。基于法布里-珀罗(F-P)多光束干涉仪原理设计了3种不同中心波长的窄带滤光片, 采用光化学掩模分离...

 PDF全文应用光学 | 2017, 38(01):78

 光学薄膜减散射特性研究

潘永强 陈 佳

[摘要]为了降低光学薄膜的表面散射损耗,依据微粗糙面的一阶微扰理论,在不考虑多重散射效应的情况下,利用电磁场边界条件给出的光学薄膜任一界面粗糙度引起的散射场在入射介质中的表达式,重点讨论了单层光学薄膜实现零散...

 PDF全文红外与激光工程 | 2016, 45(01):0118007

 微粗糙光学表面与掩埋多体粒子复合光散射特性

巩蕾 吴振森 葛城显 高明 潘永强

[摘要]基于时域有限差分法/时域多分辨(FDTD/MRTD)混合方法研究了微粗糙光学表面与多体缺陷粒子的复合光散射问题。建立微粗糙光学表面与掩埋多体粒子复合散射模型,利用DB2小波尺度函数的移位内插原理,将计算区域分别划分...

 PDF全文中国激光 | 2016, 43(12):1203001

 单层二氧化钛薄膜的偏振散射特性

潘永强 田爱玲 杭凌侠

[摘要]为了用散射法研究单层薄膜表面粗糙度的变化规律,以光学薄膜矢量光散射理论为基础,分析了单层二氧化钛薄膜分别在完全相关和完全非相关模型下的偏振双向反射分布函数,以及P偏振入射光引起的P偏振的BRDFpp随散射方位...

 PDF全文红外与激光工程 | 2015, 44(10):3015

 定向回归反射玻璃微珠折射率研究

潘永强 孙静 党光辉 李飞桥 刘骞云 赵越秀

[摘要]从理论上分析了玻璃微珠定向回归反射原理,利用近轴光线球面折射理论分析了玻璃微珠实现回归反射的折射率,并结合实际使用情况,在最大可能增加回归反射的基础上,讨论了入射光线到主光轴的距离与回归光线和入射光线...

 PDF全文光学与光电技术 | 2015, 13(01):14

 利用光散射特性研究光学表面中瑞利缺陷粒子的方位诊断

巩蕾 吴振森 潘永强

[摘要]基于偏振双向反射分布函数,从理论上推导了瑞利缺陷粒子分别位于光学表面上方和基底内部的散射场, 研究了光学表面瑞利缺陷粒子的方位诊断问题.通过对不同波长下冗余缺陷粒子位于不同方位时双向反射分布函数pp项的分析...

 PDF全文光子学报 | 2014, 43(08):0831003

 不同方法及衬底类型对CdS多晶薄膜性能的影响

丛家铭 潘永强 邬云华 张传军 王善力

[摘要]采用化学水浴法和磁控溅射法分别在AZO、FTO、ITO透明导电玻璃衬底上制备了CdS薄膜,利用扫描电镜、XRD以及透射光谱等测试手段,研究了两种制备方法对不同衬底生长CdS薄膜形貌、结构和光学性能的影响.研究结果表明,不...

 PDF全文红外与毫米波学报 | 2014, 33(02):149-153

 聚焦光在亚表面损伤介质中的散射特性

田爱玲 田玉珺 王春慧 潘永强 王红军 刘丙才 朱学亮

[摘要]针对光学元件的亚表面缺陷,结合基于激光共焦层析的亚表层检测方法,建立聚焦光束在亚表面损伤介质中的传输模型,并采用有限元分析方法,仿真研究K9玻璃光学元件亚表层缺陷对聚焦光束的散射调制特性,特别对颗粒状和微裂纹...

 PDF全文强激光与粒子束 | 2014, 26(09):091021

 紫外光辐照对TiO2薄膜光学性能的影响

潘永强 白涛 田玉珺

[摘要]采用电子束热蒸发技术在不同工艺下制备了TiO2薄膜,利用椭偏仪和分光光度计研究了紫外光辐照后薄膜光学特性的变化。实验结果表明:不同工艺下制备的TiO2薄膜经相同条件的紫外光辐照后,其折射率均有所下降,折射率的变化...

 PDF全文应用光学 | 2013, 34(01):128-132

 斜角入射沉积TiO2薄膜的光学特性和表面粗糙度

潘永强 杭凌侠

[摘要]采用电子束热蒸发技术在K9玻璃基底上以不同的沉积入射角沉积了单层TiO2薄膜,研究了不同入射沉积角沉积的TiO2薄膜的光学特性、填充密度和表面粗糙度,并比较了不同膜层厚度下薄膜表面粗糙度与入射沉积角之间的关系。...

 PDF全文中国激光 | 2011, 38(02):0207001

 离子束后处理对TiO2薄膜表面粗糙度的影响

潘永强 杭凌侠 吴振森 王浩浩

[摘要]利用电子束热蒸发技术在两种不同粗糙度的K9玻璃和一批单晶硅基底上沉积了单层二氧化钛(TiO2)薄膜,并对这些样片进行了氧离子后处理。采用泰勒-霍普森相关相干表面轮廓粗糙度仪(Talysurf CCI)分别对基底以及样片处理前...

 PDF全文中国激光 | 2010, 37(04):1108-1113

 硒化锌基底2-16 μm超宽带硬质红外增透膜的研制

潘永强 杭凌侠 梁海锋 田刚

[摘要]硒化锌材料具有较宽的透光区,使其在红外区有着广泛的应用,然而其作为基底,镀制超宽带增透膜却有相当大的难度,尤其是膜层强度问题。设计出了硒化锌基底上2-16 μm的多层超宽带增透膜,并采用离子束辅助沉积工艺在硒化锌...

 PDF全文光学学报 | 2010, 30(04):1201-1204

 银薄膜对光学基底表面粗糙度及光散射的影响

潘永强 吴振森 杭凌侠

[摘要]为了研究金属银薄膜与光学基底表面粗糙度和光散射的关系,提出了通过对光学薄膜矢量散射公式积分来获得界面粗糙度完全相关模型和完全非相关模型下其表面的总反射散射的方法.理论计算了光学基底上两种模型在不同厚度银...

 PDF全文光子学报 | 2009, 38(05):1197-1201

 光学元件亚表面缺陷偏振双向反射分布函数

潘永强 吴振森 杭凌侠

[摘要]利用琼斯散射矩阵,借助右手正交基组来表示入射场和散射场,推导出光学元件亚表面缺陷或微粒在不同偏振状态下的双向反射分布函数的表达式。给出了亚表面缺陷在不同入射角条件下,不同偏振状态下的双向反射分布函数与散射...

 PDF全文强激光与粒子束 | 2009, 21(01):139-142

 光学薄膜界面粗糙度互相关特性与光散射

潘永强 吴振森 杭凌侠

[摘要]为了研究光学薄膜界面的互相关特性及光散射特性,介绍了光学薄膜的散射理论和模型。依据光学薄膜矢量散射的表达式,借助于总背向散射理论分析了光学薄膜界面互相关特性对光散射的影响,并用实验验证和分析了TiO2单层薄膜...

 PDF全文中国激光 | 2008, 35(06):916-920

 多层介质高反射膜的散射特性研究

潘永强 吴振森 杭凌侠

[摘要]为了研究多层介质高反射薄膜的散射特性减小光学薄膜的散射损耗,以多层光学薄膜矢量光散射理论为基础,利用光学薄膜的总散射损耗与光学薄膜双向反射分布函数的关系,研究了多层介质高反射薄膜分别在膜层界面粗糙度为完全...

 PDF全文光电工程 | 2008, 35(10):12-16

 直流磁控溅射Cr-Cr2O3复合金属陶瓷薄膜光学特性研究

卢进军 潘永强

[摘要]采用直流反应磁控溅射技术在不同靶电流条件下制备了Cr-Cr2O3金属陶瓷薄膜,并利用椭偏仪测量了薄膜的光学常数。采用修正的M-G(Maxwell-Gannett)理论对不同靶电流条件下沉积的Cr-Cr2()3金属陶瓷薄膜的光学常数进行...

 PDF全文应用光学 | 2008, 29(05):0665-669

 二氧化锆薄膜表面粗糙度的研究

潘永强 吴振森 杭凌侠 罗廷

[摘要]采用电子束蒸发工艺,利用泰勒霍普森相关相干表面轮廓粗糙度仪,研究了不同基底粗糙度、不同二氧化锆薄膜厚度以及不同的离子束辅助能量下所沉积的二氧化锆薄膜的表面粗糙度。结果表明:随着基底表面粗糙度的增加,二...

 PDF全文应用光学 | 2008, 29(04):0606-609

 射频等离子体增强化学气相沉积SiNx薄膜的研究

潘永强

[摘要]采用射频等离子体增强化学气相沉积技术,以N2和SiH4作为反应气体,在P型硅基片上进行SiNx薄膜的沉积.使用椭偏仪对薄膜厚度和光学常量进行了测量,用傅里叶变换红外光谱仪对SiNx薄膜的化学键合结构进行了分析.研究了基片...

 PDF全文光子学报 | 2007, 36(06):1097-1101

 含氢非晶碳膜(a-C:H)红外光学特性的研究

潘永强 吴振森

[摘要]采用端部霍尔离子源在硅基底上制备了含氢非晶碳膜(a-C:H),并测量了4 000~1 500 cm-1的红外透射光谱.基于单层薄膜的透射关系,获得了仅有六个拟合参数的光学常数计算模型.利用该模型,可以同时获得薄膜在宽波段范围内的...

 PDF全文红外与激光工程 | 2006, 35(06):777-779

 硒化锌基底8~12 μm高性能增透膜的研究

潘永强 朱昌

[摘要]为了提高硒化锌基底的透过率以及膜层的机械强度,对硒化锌基底上高性能的红外宽带减反射膜的设计与制备工艺进行了研究.介绍了红外宽带减反射膜的膜料选择、膜系的设计以及采用离子束辅助沉积该膜系的过程,给出了用该方...

 PDF全文红外与激光工程 | 2005, 34(04):394-396

 锗基底7~11.5 μm高性能红外宽带减反射膜的研究

潘永强 朱昌 杭凌侠

[摘要]为了提高锗基底的透过率和膜层的机械强度,对锗基底上高性能的红外宽带减反射膜的设计与制备工艺进行了研究.介绍了红外宽带减反射膜的膜料选择、膜系设计以及采用离子束辅助沉积该膜系的过程.给出了用该方法制备的7~...

 PDF全文应用光学 | 2005, 26(06):63-65

 电子束蒸发TiO2薄膜的光学特性

潘永强 朱昌 弥谦 宋俊杰

[摘要]研究了不同工艺参数条件下,电子束蒸发TiO2薄膜的光学特性。在正交实验的基础上,利用离子束辅助沉积技术,获得了影响TiO2薄膜折射率的主要因素.得到了TiO2薄膜的折射率随氧气分压的关系。对离子氧和分子氧两种情况...

 PDF全文应用光学 | 2004, 25(05):53-55

 光学塑料真空镀膜附着力机理与工艺研究

潘永强 卢进军 万菁昱

[摘要]依据光学塑料的基本特性,研究光学塑料真空镀膜过程中附着力的有关问题.论述薄膜生长过程中影响薄膜附着力的各种因素,针对其相关因素作了具体的理论分析.在真空镀膜实验的基础上,提出了一种提高真空镀膜附着力的具体方...

 PDF全文应用光学 | 2003, 24(03):32-34

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