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 自增强承压圆筒结构的超高压力传感器

郭鑫 热合曼·艾比布力 王鸿雁 赵立波 蒋庄德

[摘要]采用自增强技术与硅压阻效应研制了超高压力传感器,该传感器能够消除封装残余应力的影响并保证其在进行大量程压力测量时具有较高的灵敏度输出。该传感器的弹性元件为圆筒结构的高强度弹簧钢,敏感元件为平膜倒杯式硅...

 PDF全文光学 精密工程 | 2013, 21(12):3152-3159

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