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 121.6 nm远紫外高反射薄膜研究

王金艳 张锦龙 焦宏飞 程鑫彬

[摘要]远紫外波段高反射薄膜的研究具有重要应用价值。为了实现高反射率,采用高温三步蒸发法沉积MgF2膜以保护Al膜,制备了远紫外宽带高反射薄膜,并对样品进行退火处理。结果显示,改进制备工艺和退火工艺后,紫外宽带高反射薄膜...

 PDF全文光学学报 | 2020, 40(09):0931001

 层叠亚波长光栅中的模式匹配分析法

张锦龙 史帅凯 焦宏飞 程鑫彬

[摘要]模式匹配分析法是计算亚波长光栅衍射效应的一种高效方法。对于亚波长层叠光栅,相邻的不同介质层边界处电磁场切向分量连续,每层中电磁场的各个波导模式对该层中电磁场的贡献与相邻层中电磁场切向分量的贡献相等,相邻层...

 PDF全文光学学报 | 2020, 40(12):1205001

 亚波长光栅偏振片的纳秒脉冲激光损伤特性

史帅凯 焦宏飞 马 彬 程鑫彬 张锦龙

[摘要]偏振片在诸多光学系统中有着重要的应用。亚波长介质光栅可用作正入射偏振片, 在高能激光系统中有着广泛的应用前景。为了探究波长为1 064 nm的纳秒脉冲激光对于亚波长全介质光栅的诱导损伤特性, 使用了粒子群优化算法...

 PDF全文应用光学 | 2019, 40(01):138

 节瘤缺陷平坦化提高高反射膜的激光损伤阈值

谢凌云 何 涛 张锦龙 焦宏飞 马 彬 王占山 程鑫彬

[摘要]探究了节瘤缺陷平坦化技术中平坦化层(刻蚀层)厚度和种子源尺寸之间的刻蚀规律,同时解释了平坦化技术提高节瘤缺陷的损伤阈值的机制。在双离子束溅射系统中,使用SiO2微球模拟真实的种子源置于基板上,镀制1064 nm ...

 PDF全文强激光与粒子束 | 2018, 30(09):092001

 高增益Nd∶YAG板条中的放大自发辐射抑制技术

李密 焦宏飞 邬映臣 胡浩 雷军 吕文强 周唐建 李建民 徐浏 唐淳 赵娜

[摘要]分析了Nd∶YAG板条中产生强烈放大自发辐射(ASE)的原因, 开展了抑制高增益激光板条中ASE的理论和实验研究。抽运光占空比为8%, 峰值抽运功率为21.38 kW, 波长为1064 nm连续探测光的注入光强为4 W/cm2, 在Nd∶YAG板条上...

 PDF全文光学学报 | 2017, 37(12):1214003

 大尺寸1064 nm 波段HfO2/SiO2高损伤阈值

吴晓鸣 李辛 王一坚 焦宏飞

[摘要]对大型固体激光装置中的关键器件—大尺寸1064 nm 波段HfO2/SiO2窄带滤光片进行了研究,分析了监控波长对信噪比和光源稳定性的影响。通过优化监控参数,设备监控精度可达到镀制窄带滤光片的需求。制备过程中的薄膜光谱...

 PDF全文激光与光电子学进展 | 2016, 53(04):042302

 铥激光器腔镜用高损伤阈值氧化物薄膜的研制

赵 阳 何 宇 焦宏飞 张锦龙 程鑫彬 刘华松 李刚正 吴晓鸣

[摘要]2 μm波段激光器在环境探测、测风雷达、生物组织切割、光电对抗等领域都有重要的应用价值和前景。而此波段的薄膜通常采用折射率较高的硫化物、砷化物等软膜材料来制备, 为了提升该波段薄膜的损伤性能, 采用折射率相对...

 PDF全文红外与激光工程 | 2016, 45(05):0521001

 节瘤缺陷激光损伤的研究进展

谢凌云 程鑫彬 张锦龙 焦宏飞 马 彬 丁 涛 沈正祥 王占山

[摘要]在近红外反射类激光薄膜中, 节瘤缺陷是引起薄膜激光损伤的主要因素。为了提高激光薄膜的损伤阈值, 对节瘤缺陷及其损伤特性进行研究具有重要意义。从“真实”节瘤缺陷和“人工”节瘤缺陷两个方面介绍节瘤缺陷的研究进...

 PDF全文强激光与粒子束 | 2016, 28(09):090201

 HfO 2薄膜折射率非均质性生长特性研究

鲍刚华 程鑫彬 焦宏飞 刘华松 王占山

[摘要]在加热的BK7基板上,采用电子束蒸发(EB)工艺制备了一系列不同厚度的HfO 2单层膜,对HfO 2薄膜生长过程中的折射率非均质性进行了研究。光谱分析表明薄膜非均质性与其厚度息息相关。X射线衍射(XRD)测试表明不同非均质性...

 PDF全文红外与激光工程 | 2015, 44(09):2761

 偏振分光膜中节瘤的激光损伤特性

阿卜杜萨拉木.图尼亚孜 程鑫彬 鲍刚华 焦宏飞 王占山

[摘要]研究了1 064 nm HfO2/SiO2偏振分光膜中节瘤的损伤特性。为了研究偏振分光膜中节瘤缺陷种子源粒径大小与损伤阈值之间的关系,在熔石英基板上植入了尺寸和密度可控的单分散性的SiO2小球,并采用电子束蒸发技术在熔石英...

 PDF全文红外与激光工程 | 2015, 44(08):2461

 金属氧化物薄膜在中波红外光谱区内光学常数色散特性

刘华松 季一勤 张锋 刘丹丹 冷健 王利栓 姜玉刚 陈德应 焦宏飞 鲍刚华 程鑫彬

[摘要]基于金属氧化物薄膜材料在中波红外波段应用的需求,研究了含水状态的TiO2、HfO2、Ta2O5和Y2O34种金属氧化物薄膜在中波红外波段内(2.5~5 μm)光学常数的色散特性。利用电子束蒸发沉积技术,在超光滑的硅表面制备了4...

 PDF全文光学学报 | 2014, 34(08):0831003

 一种抑制二倍频半波孔现象的短波通设计方法

鲍刚华 焦宏飞 程鑫彬 刘华松 王占山

[摘要]短波通滤色片是光学系统,尤其是激光系统中普遍使用的一种薄膜,它的基本结构为(0.5LH0.5L)N。但薄膜的非均质性会产生半波孔现象,从而影响滤色片的光学特性。利用导纳技术分析了折射率非均质性产生半波孔现象的原因...

 PDF全文光学学报 | 2014, 34(08):0831001

 基于光子晶体带隙特性的反射式多通道滤光片设计

贺芝宇 焦宏飞 程鑫彬 张锦龙 王占山

[摘要]反射式多通道滤光片在光学通讯、光学成像、遥感高光谱等方面有着重要的应用。利用含缺陷一维光子晶体独特的带隙特性,依据其相应的能带理论,设计了一种由金属和介质组成的反射式多通道滤光片。这种滤光片通道的工作...

 PDF全文光学学报 | 2014, 34(02):0231002

 基频HfO2/SiO2高反射薄膜激光损伤生长特性

张艳云 马彬 马宏平 焦宏飞 程鑫彬

[摘要]以1064 nm波长作用下的HfO2/SiO2高反射薄膜为研究对象,研究了高反射薄膜在损伤生长过程中分层剥落初始损伤结构的变化规律、损伤形貌特征和损伤生长阈值等特性。实验结果表明:分层剥落初始损伤结构的横向尺寸随激光...

 PDF全文强激光与粒子束 | 2013, 25(09):2275-2280

 SiO2/HfO2高反射膜的研制

程鑫彬 沈正祥 焦宏飞 马彬 张锦龙 丁涛 王占山

[摘要]主要讨论了电子束蒸发SiO2/HfO2薄膜的面形控制和损伤性能。研究了电子束蒸发工艺参数对薄膜应力以及面形的影响;分析了制备工艺对薄膜吸收、节瘤缺陷密度的影响,测量了制备薄膜的损伤阈值。研究结果表明:调整SiO2蒸...

 PDF全文强激光与粒子束 | 2012, 24(06):1276-1280

 界面连续性对薄膜节瘤损伤特性的影响

何文彦 程鑫彬 马彬 丁涛 叶晓雯 张锦龙 张艳云 焦宏飞 王占山

[摘要]研究了HfO2/SiO2高反膜中植入2 μm的SiO2小球所形成的节瘤的界面连续性对损伤特性的影响。采用离子束辅助沉积(IAD)技术制备了两种不同厚度的1064 nm高反膜。它们的电场分布和吸收相近;但是厚度大(约为2倍)的薄膜中,...

 PDF全文中国激光 | 2011, 38(s1):s107002

 单层膜多模导模共振滤光片的电场增强效应研究

桑田 蔡托 马彬 焦宏飞 王占山

[摘要]本文研究了单层膜多模导模共振滤光片的电场增强效应。单层膜导模共振滤光片同时兼具波导和相位匹配功能的物理机制得到了论证。当光栅厚度不断增加将出现多模共振效应, 导致高阶泄漏模电场增强效应的产生。电场增强振...

 PDF全文光电工程 | 2011, 38(03):70-75

 高损伤阈值三倍频分离膜

王孝东 张锦龙 马彬 焦宏飞 丁涛 程鑫彬

[摘要]设计了Nd:YAG激光用三倍频分离膜,膜层材料为SiO2和HfO2。经过优化,膜系在355 nm处的反射率在99%以上,在532 nm和1 064 nm处透射率也在99%以上。采用电子束蒸发技术,在熔融石英基底上制备了样品,经测量,制备的分...

 PDF全文强激光与粒子束 | 2011, 23(07):1882-1884

 1 064nm高反射薄膜激光损伤阈值测量方法

周刚 马彬 焦宏飞 丁涛 张锦龙 沈正祥 程鑫彬 王占山

[摘要]参照国际上对激光损伤阈值不同测量技术建立起来的相应检测规范和标准, 分别采用1-on-1,S-on-1,R-on-1和光栅扫描共4种测量方式, 在1 064 nm波长下对HfO2/SiO2周期性高反射薄膜进行了激光损伤阈值的测量研究。根据测量...

 PDF全文强激光与粒子束 | 2011, 23(04):963-968

 表面层对1 064 nm高反射镜损伤阈值影响

鲁江涛 焦宏飞 程鑫彬 马彬 丁涛 张锦龙 沈正祥 周刚

[摘要]采用电子束蒸发的方法制备了3种具有不同表面层材料及结构的中心波长为1 064 nm的零度高反镜, 3种膜系表面层分别为1/4波长光学厚度的HfO2, 1/2波长光学厚度的SiO2, 以及1/4波长光学厚度的SiO2。光谱测试表明:三者在...

 PDF全文强激光与粒子束 | 2011, 23(04):977-980

 基于时间控厚离子束溅射技术的宽带减反膜制备

刘华松 王占山 季一勤 沈正祥 马彬 程鑫彬 焦宏飞 陈德应 刘丹丹 宋洪君

[摘要]为了制备满足设计要求的宽角度、宽波段减反膜, 利用离子束溅射沉积技术, 在时间-功率控厚的模式下, 对膜层沉积速率进行了精确修正。在实验中, 利用时间-功率控厚的离子束溅射沉积技术, 选择HfO2和SiO2作为高低折射率...

 PDF全文强激光与粒子束 | 2011, 23(02):407-411

 多通道窄带滤光片

焦宏飞 程鑫彬 丁涛 鲍刚华 王孝东 贺鹏飞 吴永刚

[摘要]本文提出了两种类型的多通道窄带滤光片:透射型和反射型。通过组合刻蚀及多次镀膜相结合的方法在同一基板上面成功制备了具有连续32个通道的集成透过式窄带滤光片;另通过金属和介质材料的适当组合,成功得到了具有通...

 PDF全文Chinese Optics Letters | 2010, 8(s1):192

 宽截止带多峰反射滤光片研究

焦宏飞 丁涛 程鑫彬 马彬 贺鹏飞 吴永刚

[摘要]反射滤光片在光通讯及其他系统当中有着广泛的应用。我们改进了一种由介质和金属组成的滤片,通过研究介质和金属在此结构中的作用,并通过添加匹配层,实现了宽截止窄带反射滤光片的设计,带宽可达到300nm以上,相对半...

 PDF全文Chinese Optics Letters | 2010, 8(11):1102

 基于针法的平板偏振膜设计

陈乃波 吴永刚 凌磊婕 焦宏飞 王振华

[摘要]利用针(needle)法优化技术,分别以两种不同厚度的高折射率单层膜为初始膜系,设计得到了平板偏振膜。当入射角为56°时,在中心波长1053 nm附近不小于20 nm的带宽范围内,偏振膜的p光反射率Rp99.5%,且消光比(Tp/Ts)&g...

 PDF全文光学学报 | 2010, 30(02):590-596

 缓冲层对导模共振滤光片反射光谱截止特性的影响

王振华 吴永刚 桑田 王占山 彭东功 焦宏飞 陈乃波 曹鸿

[摘要]提出将均质多层膜系设计中的缓冲层概念引入到反射导模共振(GMR)滤光片的设计中,通过严格的耦合波理论精确计算,研究了加入缓冲层对改善导模共振滤光片反射峰边带截止深度及截止宽度的作用。双层导模共振滤光片结构中,...

 PDF全文光学学报 | 2009, 29(03):849-852

 30.4 nm Cr/Al/Cr自支撑滤光片的研制

付联效 吴永刚 伍和云 焦宏飞 吕刚 王振华

[摘要]依据材料的质量吸收系数和波长的关系,选择Cr和Al 设计和制备30.4 nm自支撑滤光片。在制备时以NaCl为脱膜剂,以热蒸发方式蒸镀Al,以电子束蒸发方式蒸镀Cr,制备了30.4 nm的Cr/Al/Cr自支撑滤光膜,并对滤光片的表面缺陷进...

 PDF全文强激光与粒子束 | 2009, 21(02):235-239

 带缓冲层的导模共振滤光片反射光谱特性

王振华 吴永刚 桑田 王占山 彭东功 焦宏飞 陈乃波 曹鸿

[摘要]将均质多层膜系设计中的缓冲层概念引入到反射导模共振滤光片的设计中,以研究缓冲层的增加对导模共振滤光片反射光谱特性的影响。设计并通过严格的耦合波理论计算了一、二、三、四通道导模共振反射滤光片光谱特性。在膜...

 PDF全文光学学报 | 2008, 28(07):1425-1428

 宽截止窄带高反射滤光膜设计

彭东功 吴永刚 焦宏飞 曹鸿 王振华 付联效 郑秀萍

[摘要]窄带高反射滤光膜在光通讯、光学探测仪器等领域有着重要应用。探讨了“基片H(LH)m1αL(HL)m2βCrM空气”膜系结构的窄带高反射滤光膜系,讨论了金属Cr层厚度,以及两种不同的匹配膜系对滤光膜特性的影响,计算了Cr层内部...

 PDF全文光学学报 | 2008, 28(05):1001-1006

 中心波长121.6 nm 的真空紫外窄带滤光片设计和制备

付联效 吴永刚 郑秀萍 王振华 彭东功 焦宏飞 曹鸿 吕刚 周洪军 霍同林

[摘要]采用双半波法布里-珀罗(F-P)干涉滤光片结构设计了中心波长在121.6 nm 的窄带滤光片,其峰值透射率为6.78%,通带半宽度为10.7 nm。通过设计、制备和测量峰值波长在217 nm的滤光片验证了设计用到的光学常数和膜厚定标都比...

 PDF全文光学学报 | 2008, 28(12):2427-2430

 实数编码遗传和单纯形混合算法在膜系优化设计中的应用

彭东功 吴永刚 焦宏飞 曹鸿 张莉 郑秀萍 付联效

[摘要]在传统遗传算法(GA)基础上,通过引入标准偏差函数构造了新的适应度函数,同时提出了一种自动降温的方法来控制退火选择策略中的温度。将这种改进的实数编码遗传算法(FGA)和单纯型算法(SA)有机结合起来,形成了新的膜系...

 PDF全文量子电子学报 | 2008, 25(01):0049-55

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