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 利用调制式椭偏仪测量薄膜电光系数

李芳 王杰 王丹阳 莫党 陈王丽华

[摘要]利用调制式的椭偏仪测量了掺镧锆钛酸铅PLZT薄膜的电光系数.首先用反射椭偏测量的方法得到薄膜的折射率(n)和厚度(d),然后利用透射椭偏在线测量的功能,在样品上加电场(E),得到薄膜的折射率的改变δn.最后用测量得到的厚...

 PDF全文红外与毫米波学报 | 2005, 24(01):31-33

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