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 一种提高扫频光学相干层析成像系统灵敏度的方法

王 瑄 李中梁 南 楠 步 扬 陈 艳 潘柳华 卢 宇 曾爱军 王向朝

[摘要]提出了一种提高扫频光学相干层析成像(SSOCT)系统灵敏度的方法。在SSOCT系统中, 当平衡探测器前耦合器的分束比不是50%∶50%时, 会在探测的干涉信号中引入直流偏置, 从而影响系统的灵敏度。分析了干涉信号中引入直流偏...

 PDF全文中国激光 | 2017, 44(08):0807002

 基于互相关运算的扫频光学相干层析成像延时校正算法

卢宇 李中梁 南楠 步扬 陈艳 王瑄 王向朝

[摘要]提出了一种扫频光学相干层析成像k-clock延时校正算法, 该算法基于互相关运算, 能够有效校正光源自带k-clock信号的延时。由于扫频光源的不稳定性、同步触发硬件的精度不足以及外界环境影响, 扫频光源自带的k-clock信号...

 PDF全文中国激光 | 2017, 44(06):0607001

 50 kHz血管内扫频光学相干层析成像系统

卢 宇 李中梁 王向朝 南 楠 王 瑄

[摘要]研制了一套探头末端直径为1 mm的血管内扫频光学相干层析成像（IV-OCT）系统。为了确保探头内格林透镜的中轴线与安装在微型电机轴上的直角棱镜的中轴线对准，制作了尺寸匹配的塑料套管；将格林透镜插入塑料套管后与微...

 PDF全文中国激光 | 2017, 44(02):0207001

 基于多光谱技术的光学元件表面疵病检测

罗茂 步扬 徐静浩 王向朝

[摘要]为实现对光学元件表面疵病的精确测量和计数, 提出了一种基于多光谱技术的光学元件表面疵病检测方法, 该方法采用不同波长的入射光源均匀照明光学元件表面, 通过暗场显微成像系统获得不同波长下的表面疵病图像。基于该...

 PDF全文中国激光 | 2017, 44(01):0104001

 光学相干层析成像随深度变化的色散补偿方法

潘柳华 李中梁 王向朝 张向阳 南 楠 陈 艳 王 瑄 卢 宇

[摘要]提出一种随深度变化的色散补偿方法, 用以提升频域光学相干层析成像系统的纵向分辨率。该方法利用迭代算法计算出不同成像深度处的色散补偿系数, 通过数值计算, 得到色散补偿系数与成像深度的关系表达式, 计算出各成像...

 PDF全文光学学报 | 2017, 37(05):0511002

 基于变量分离分解法的极紫外光刻三维掩模快速仿真方法

张 恒 李思坤 王向朝

[摘要]提出了一种基于分离变量法的极紫外光刻三维掩模衍射谱快速仿真方法, 在保证一定仿真精度的前提下提高了仿真速度。该方法将三维掩模分解为2个相互垂直的二维掩模, 对2个二维掩模采用严格电磁场方法进行衍射谱仿真并将...

 PDF全文光学学报 | 2017, 37(05):0505001

 超高NA光刻投影物镜高阶波像差检测方法

诸波尔 王向朝 李思坤 孟泽江 张恒 戴凤钊 段立峰

[摘要]提出了一种基于八角度孤立空检测标记的超高NA光刻投影物镜高阶波像差检测方法。通过对八角度孤立空检测标记的空间像进行主成分分析(PCA)和多元线性回归分析，构建了超高NA光刻投影物镜的空间像光强分布与高阶波像差之...

 PDF全文光学学报 | 2017, 37(04):0412003

 高精度平面子孔径拼接算法研究

朱鹏辉 唐 锋 卢云君 王向朝 郭福东 李 永

[摘要]对平面子孔径拼接累积误差的理论分析及数值仿真表明，参考镜面形的拼接重叠区域的局部斜率差和直流偏差是产生累积误差的原因。为了提高大口径平面光学元件子孔径拼接检测精度，提出一种简单有效的可以减小子孔径拼接...

 PDF全文中国激光 | 2016, 43(11):1104002

 基于多染色体遗传算法的像素化光源掩模优化方法

杨朝兴 李思坤 王向朝

[摘要]提出了一种基于多染色体遗传算法(GA)的像素化光源掩模优化(SMO)方法。该方法使用多染色体遗传算法，实现了像素化光源和像素化掩模的联合优化。与采用矩形掩模优化的单染色体GASMO方法相比，多染色体GASMO方法具有更高...

 PDF全文光学学报 | 2016, 36(08):0811001

 基于交替相移掩模矢量空间像的偏振像差检测方法

沈丽娜 王向朝 李思坤 闫观勇 诸波尔 孟泽江 张恒

[摘要]提出一种基于交替相移掩模空间像的光刻机投影物镜偏振像差检测方法。采用泡利-泽尼克系数表征偏振像差，结合X和Y两种线性偏振照明方式，用像传感器测量不同照明条件下掩模空间像的成像位置偏移与最佳焦面偏移，利用标...

 PDF全文光学学报 | 2016, 36(08):0811003

 基于评价函数的二维小波变换轮廓术小波脊提取方法

徐东瀛 李思坤 王向朝 汪凯巍

[摘要]小波脊提取是小波变换轮廓术的关键步骤,在抑噪能力和速度方面，前者直接影响后者。提出了基于评价函数的二维小波变换的一种新的小波脊提取方法，利用二维小波变换系数模信息、条纹瞬时频率信息以及局部条纹结构方向信...

 PDF全文光学学报 | 2016, 36(04):0412006

 基于Ptychography的极紫外光刻投影物镜波像差检测技术

方伟 唐锋 王向朝 朱鹏辉 李杰 孟泽江 张恒

[摘要]Ptychography是一种基于扫描式相干衍射成像的相位恢复技术，实验装置简单，抗干扰能力强。将Ptychography技术用于投影物镜波像差的检测，并分析了检测不同数值孔径投影物镜波像差所采用的光场传播公式、离散化条件及...

 PDF全文光学学报 | 2016, 36(10):1012002

 基于光学相干层析成像的视网膜图像自动分层方法

贺琪欲 李中梁 王向朝 南楠 卢宇

[摘要]利用光学相干层析成像(OCT)获得视网膜图像并对其进行分层，进而获得各视网膜层的厚度，在许多眼科疾病的临床诊断中具有重要作用。高散斑噪声、低图像对比度、存在血管等复杂结构等因素使得对视网膜的精确分层难以实现...

 PDF全文光学学报 | 2016, 36(10):1011003

 超大数值孔径光刻机投影物镜波像差检测方法

诸波尔 王向朝 李思坤 闫观勇 沈丽娜 段立峰

[摘要]提出了一种基于空间像主成分分析的超大数值孔径光刻机投影物镜波像差检测方法。通过采用偏振光照明和矢量光刻成像模型并考虑投影物镜的偏振像差，准确表征了超大数值孔径光刻机的空间像，从而提高了像差检测模型的精...

 PDF全文光学学报 | 2016, 36(01):0112002

 基于动态适应度函数的光源掩模优化方法

杨朝兴 李思坤 王向朝

[摘要]提出了一种基于动态适应度函数的光刻机光源掩模优化方法(SMO)。动态适应度函数方法在遗传算法优化过程中采用动态适应度函数模拟真实光刻工艺条件误差对光刻结果的影响，得到对光刻工艺条件误差不敏感的优化光源和优化...

 PDF全文光学学报 | 2016, 36(01):0111006

 一种降低平面子孔径拼接累积误差的方法

李永 唐锋 卢云君 王向朝 郭福东 李杰 吴飞斌

[摘要]干涉仪参考镜面形离焦误差难以精确标定，是导致拼接累积效应、制约平面子孔径拼接系统检测精度的主要因素。推导了参考镜离焦与拼接累积误差、拼接次数间的定量表达式，基于该表达式在拼接过程中标定并去除参考镜离焦...

 PDF全文中国激光 | 2015, 42(07):0708006

 光刻机照明光瞳测量用傅里叶变换物镜光学设计

蔡燕民 王向朝 步扬 黄惠杰

[摘要]浸液光刻投影物镜的数值孔径目前已经达到1.35，这对与之匹配的照明系统光瞳测量提出了十分苛刻的需求，为此设计了一种用于照明光瞳测量的傅里叶变换物镜。分析了傅里叶变换物镜应该满足的畸变要求，并针对照明光瞳测...

 PDF全文中国激光 | 2015, 42(04):0416001

 Ronchi剪切干涉光刻投影物镜波像差检测技术研究

吴飞斌 唐锋 王向朝 李杰 李思坤

[摘要]Ronchi剪切干涉采用扩展光源调制光场空间相干性，具有干涉仪结构简单、共光路、零条纹检测等优点，适合用于光刻机投影物镜波像差原位检测。基于Ronchi剪切干涉的投影物镜波像差检测技术及系统，根据光栅衍射和空间相...

 PDF全文中国激光 | 2015, 42(03):0308008

 极紫外光刻含缺陷掩模仿真模型及缺陷的补偿

刘晓雷 王向朝 李思坤

[摘要]建立了一个基于单平面近似的极紫外(EUV)光刻三维含缺陷掩模的快速仿真模型。该仿真模型中，采用相位突变和振幅衰减表示缺陷对多层膜的反射系数的影响，吸收层模型采用薄掩模修正模型。以22 nm 三维接触孔图形为例，周...

 PDF全文光学学报 | 2015, 35(08):0822006

 Ronchi相移剪切干涉仪及其相位提取误差分析

吴飞斌 唐锋 王向朝 李杰 李永

[摘要]在分析Ronchi 相移剪切干涉仪典型系统参数的基础上，系统研究了该干涉仪相位提取精度的主要影响因素。结合传统的五步相移算法，采用所提出的八步与十步相移算法，对Ronchi相移剪切干涉仪的相位提取误差进行理论分析和...

 PDF全文光学学报 | 2015, 35(06):0612004

 基于等效膜层法的极紫外光刻含缺陷掩模多层膜仿真模型

刘晓雷 李思坤 王向朝

[摘要]建立了一个基于等效膜层法的极紫外光刻含缺陷掩模多层膜仿真模型。通过等效膜层法求解含缺陷多层膜无缺陷区域和含缺陷区域不同位置的反射系数，准确快速地仿真含缺陷多层膜的衍射谱。与波导法严格仿真相比，200 nm 尺...

 PDF全文光学学报 | 2015, 35(06):0622005

 投影物镜偏振像差对光刻成像质量影响的解析分析方法

沈丽娜 李思坤 王向朝 闫观勇

[摘要]提出一种分析线性偏振照明条件下投影物镜偏振像差对交替相移掩模(Alt-PSM)空间像影响的解析方法。基于矢量光刻成像理论，从掩模空间像的光强分布推导出偏振像差引起的空间像图形位置偏移误差(IPE)和最佳焦面偏移(BFS...

 PDF全文光学学报 | 2015, 35(06):0611003

 基于粒子群优化算法的光刻机光源优化方法

王磊 李思坤 王向朝 闫观勇 杨朝兴

[摘要]提出了一种基于粒子群优化算法的光刻机光源优化方法.将光源信息编码为粒子,利用图形误差作为评价函数,通过更新粒子的速度与位置信息不断迭代优化光源图形.对周期接触孔阵列和含有交叉门的复杂掩模图形的仿真验证表明...

 PDF全文光学学报 | 2015, 35(04):0422002

 一种频域光学相干层析成像深度分辨率增强技术

郭昕 王向朝 南楠 李中梁

[摘要]提出了一种基于光谱整形的频域光学相干层析成像分辨率增强技术。利用光源的自身谱形对探测的频域信号进行整形，以获得深度分辨率更高的空域信号。理论分析和模拟结果表明，对谱形为高斯型和非高斯型的光源，使用该技...

 PDF全文光学学报 | 2015, 35(03):0311002

 用于ArF光刻机偏振照明系统的沃拉斯顿棱镜的设计

蔡燕民 王向朝 黄惠杰

[摘要]ArF光刻机偏振照明系统中需要采用偏振器件（沃拉斯顿棱镜），根据传统技术选用在193 nm波长透明材料设计沃拉斯顿棱镜，其分束角较小，或者分束角大时棱镜较长。为了解决这些实际问题，利用折射定律分析推导了由正晶体...

 PDF全文中国激光 | 2014, 41(06):0616002

 光栅横向剪切干涉仪及其系统误差分析

李杰 唐锋 王向朝 戴凤钊 冯鹏

[摘要]在分析光栅横向剪切干涉仪典型结构及系统参数配置，给出其适用范围的基础上，系统研究了该干涉仪结构最显著的系统误差：几何光程误差和探测器倾斜误差。采用Zernike多项式给出波前重建前后系统误差项的解析表达式；对...

 PDF全文中国激光 | 2014, 41(05):0508006

 共轭距可变的光刻投影物镜光学设计

蔡燕民 王向朝 黄惠杰

[摘要]一种用于印刷电路板（PCB）的激光直接成像（LDI）光刻设备，需要加工高密度互连(HDI)基板的厚度变化范围为0.025~3 mm，为此设计了一种共轭距可变的光刻投影物镜。采用双远心光路结构，通过压缩物方和像方远心度误差的...

 PDF全文中国激光 | 2014, 41(04):0416003

 正弦相位调制全深度频域多普勒光学相干层析成像技术

南楠 步鹏 李中梁 郭昕 王向朝

[摘要]将多普勒探测与正弦相位调制复频域光学相干层析成像技术(OCT)相结合，建立了基于正弦相位调制的全深度频域多普勒光学相干层析成像系统。利用正弦相位调制B-M扫描方法，并采用傅里叶变换结合带通滤波的方法重建复干涉...

 PDF全文中国激光 | 2014, 41(02):0204001

 基于随机并行梯度速降算法的光刻机光源与掩模联合优化方法

李兆泽 李思坤 王向朝

[摘要]随着集成电路特征尺寸进入2Xnm及以下节点，光源与掩模联合优化(SMO)成为了拓展193 nm ArF浸没式光刻工艺窗口、减小工艺因子的重要分辨率增强技术(RET)之一。提出了一种基于随机并行梯度速降(SPGD)算法的SMO方法，通过...

 PDF全文光学学报 | 2014, 34(09):0911002

 极紫外光刻含缺陷多层膜衍射谱仿真简化模型

刘晓雷 李思坤 王向朝

[摘要]建立了一个极紫外光刻含缺陷多层膜衍射谱仿真简化模型，采用相位突变和反射系数振幅衰减表示缺陷对多层膜反射光的影响，得到了含缺陷多层膜衍射谱的解析表达式。简化模型中，相位突变量由多层膜表面以下第6层膜的缺陷...

 PDF全文光学学报 | 2014, 34(09):0905002