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 用于光刻调焦调平的反射式投影光学系统设计

孙生生 王丹 齐月静 宗明成

[摘要]调焦调平传感器是光刻机关键分系统之一,用于曝光前对硅片高度形貌进行测量。投影光学系统是调焦调平传感器的核心,其成像质量直接影响传感器测量精度。根据调焦调平传感器的测量原理与像差理论,分析得到投影光学系统放...

 PDF全文光学学报 | 2020, 40(15):1522002

 基于梯度提升树的土壤速效磷高光谱回归预测方法

金秀 朱先志 李绍稳 王文才 齐海军

[摘要]在前期研究基础上,利用皖北地区砂姜黑土的193个土壤样本的可见近红外高光谱(350~1700 nm)数据,结合非线性和线性的核函数,对9种算法进行模型的首次优化;再利用随机森林、提升树和梯度提升树三种集成学习算法进行模型组...

 PDF全文激光与光电子学进展 | 2019, 56(13):131102

 基于Vernier效应的法布里-珀罗传感器增敏方法

刘燕燕 刘磊 刘雪强 王燕涛 张鑫 王明君 齐跃峰

[摘要]设计了一种分离型光纤传感增敏结构, 并联连接两个腔长相近的法布里-珀罗(F-P)腔。理论分析了此结构的增敏原理并制备了两组增敏结构。实验结果表明, 增敏结构的压强灵敏度值由单F-P结构的4.85 nm/MPa提高到43.95 nm/M...

 PDF全文光学学报 | 2019, 39(04):0428001

 基于神经网络的遥感图像语义分割方法

王恩德 齐凯 李学鹏 彭良玉

[摘要]为了提高遥感图像语义分割的效果和分类精度,设计了一种结合ResNet18网络预训练模型的双通道图像特征提取网络。将多重图像特征图进行拼接,融合后的特征图具有更强的特征表达能力。同时,采用批标准化层和带有位置索引的...

 PDF全文光学学报 | 2019, 39(12):1210001

 联苯衍生物的光折变效应

王 淳 齐 辉 常海涛 邓家春

[摘要]在连续谱激光(532 nm)照射下, 观察到联苯衍生物有光折变现象。本文制备了(4-羟基苯基)-5-嘧啶醇、4′-羟基-4-联苯基腈、3-氨基-4-苯基苯酚和4, 4′-Biphenol两类实验样品, 将联苯衍生物分别溶于N, N-二甲基甲酰胺(DM...

 PDF全文中国光学 | 2019, 12(02):362

 γ射线辐照快速生长KDP晶体的性能

谢晓义 朱茂东 王斌 王虎 齐红基 邵建达

[摘要]采用连续过滤快速横向生长技术, 有效增大了磷酸二氢钾(KDP)晶体的Z向长度, 提高了单位晶体II类元件的切片率。使用不同剂量的γ射线辐照II类晶体坯片后, 测试其光学性能与抗激光损伤阈值。研究结果显示, 不同剂量的γ...

 PDF全文中国激光 | 2018, 45(10):1003004

 Sun-flower型渐变光子晶体自聚焦透镜

刘薇 孙晓红 王帅 齐勇乐

[摘要]大多数渐变光子晶体渐变透镜都是以正方晶格或三角晶格排布为基础, 并且多选择硅或二氧化硅等高折射率材料, 研究的波段多为红外波段。随着可见光通信技术的发展, 在可见光波段研究低折射率材料的自聚焦透镜变得很有意...

 PDF全文红外与激光工程 | 2017, 46(11):1120002

 太赫兹波超材料吸波体的特性分析

王花 孙晓红 王真 齐永乐 王毅乐

[摘要]超材料吸波体通常是由一些在介质基底表面上周期分布的亚波长开口环谐振器(SRRs)组成, 它们的吸收率在很大程度上取决于顶层SRRs的结构细节及介质的材料性质。利用时域有限积分法(FITD)对太赫兹波的超材料吸波体进行传...

 PDF全文红外与激光工程 | 2016, 45(12):1225003

 MEMS光开关阵列的设计与应用

赵磊 王小齐 李晶娣 赵振海 柳华勃 马优恒

[摘要]针对如何缩短防空导弹系统反应时间的问题, 设计了一种MEMS(micro electro mechanical system, 微机电系统)光开关阵列, 用于控制防空导弹系统各分系统模块之间的信号传输。该光开关阵列由8组双层静电梳齿结构的光开关...

 PDF全文应用光学 | 2016, 37(03):452

 中短距离宽视场对接成像敏感器光学系统

王长庚 齐向东 许晶

[摘要]为了满足空间交汇对接飞行器姿态精确测量的要求,设计了一种中短距离使用的宽视场远心对接成像敏感器光学系统.该对接成像敏感器光学系统焦距f=10mm,成像范围为1.5~30m,视场角为54°,光谱范围为430~680nm,工作温度...

 PDF全文光学技术 | 2015, 41(02):162

 反射型组合器件的空间滤波分析

章瑛 王胭脂 齐红基 易葵 隋展 邵建达

[摘要]相比透射型组合滤波器件，提出了只需要由一种反射元件构成的反射型组合滤波器件的光路。在保证角谱选择性的前提下，降低了设计和制备的难度。另外，通过膜系设计和电场强度比较，发现此反射型组合器件具有比透射型组...

 PDF全文光学学报 | 2015, 35(06):0616002

 光电跟踪系统论证与设计

瞿建荣 王小齐 段红建

[摘要]以配套于武器系统的光电跟踪系统为基础, 论述了光电跟踪系统在论证与设计中应主要考虑的问题。从实际系统情况出发, 讨论了光电跟踪系统的传感器选择原则和“T型”与“U型”架式配置优缺点。分析了确定作用距离、跟踪...

 PDF全文应用光学 | 2014, 35(02):173-178

 浅述新型激光表演系统现状及发展趋势

张瑄珺 潘涌 王健超 罗曼 沈一愚 王嘉齐 安博言 李浩

[摘要]随着激光器性能的改善和新型激光器的发展, 激光表演系统的安全性、易使用性和易操作性得到了大幅的提高, 在舞台灯光布置、娱乐场所和户外显示方面得到广泛应用。概述了新型激光表演系统的组成及设计要求, 主要由激光...

 PDF全文应用激光 | 2013, 33(05):567-572

 激光熔覆同轴送粉喷嘴研制

王维 才磊 杨光 钦兰云 卞宏友 王刚 齐鹏 魏强 佟明

[摘要]针对现有送粉喷嘴粉末汇聚性差、出粉口容易堵塞以及受热变形的缺点，设计了一种四孔式同轴送粉喷嘴。喷嘴中央为激光束及保护气通道，沿中心锥孔轴向均布的4个小孔，为粉末通道。建立了数值计算模型，应用FLUENT软件对...

 PDF全文中国激光 | 2012, 39(04):0403003

 紫外吸收染料诱导的具有宽波反射特性的胆甾相液晶聚合物薄膜

李发胜 王磊 齐琳 刘晓晨 毛卫民

[摘要]利用紫外光吸收染料诱导胆甾相液晶体系形成螺距梯度，制备了具有宽波反射特性的胆甾相液晶聚合物薄膜。研究表明，由于紫外光吸收染料的存在，在紫外光诱导聚合的过程中,在复合材料中将形成紫外光强度梯度，进而形成手...

 PDF全文液晶与显示 | 2011, 26(05):573-576

 光子晶体光纤光栅谱特性的数值模拟研究

毕卫红 王洋 齐跃峰

[摘要]应用多极法理论和传输矩阵法，对基于包层空气孔为正六边形对称结构的光子晶体光纤的布喇格光栅特性进行了计算和仿真。对比研究了常规单模光纤所成光栅与相同光栅周期的光子晶体光纤布喇格光栅反射谱之间的差异，重点...

 PDF全文应用光学 | 2010, 31(05):0781-784

 周视大像旋稳海天线方位截距补偿算法

江涛 陈方斌 王小齐 李广良 程刚 王红红 邢军智 胡博

[摘要]为使两轴周视光电探测系统在三自由度扰动和大像旋条件下搜索并跟踪水面目标，在虚拟天际线焦平面像五自由度解析表达式基础上，推导出以目标像点和像旋中心线距离作为补偿截距的周视大像旋稳海天线方位截距补偿算法。...

 PDF全文应用光学 | 2009, 30(06):921-924

 周视大像旋稳海天线向量角补偿算法

江涛 陈方斌 王小齐 程刚 邢军智 王红红 刘小强 胡博

[摘要]为使两轴周视光电探测系统在三自由度扰动和大像旋条件下搜索并跟踪水面目标，在虚拟天际线焦平面像五自由度解析表达式基础上，推导出焦平面坐标系铅直轴的方向向量和该坐标系下海天出射平面法向量夹角的余弦表达式。...

 PDF全文应用光学 | 2009, 30(05):730-733

 两轴周视光电跟踪天际线焦平面像的解析表达

江涛 陈方斌 王小齐 王红红 刘小强

[摘要]鉴于动基座周视光电跟踪系统的基座俯仰和横滚角会造成天际线在红外焦平面阵列上所成的像不再与反射镜面俯仰轴在焦平面阵列上的投影平行，建立了动基座两轴周视光电跟踪系统的五自由度数学模型。重构了包含目标信息的...

 PDF全文应用光学 | 2009, 30(01):20-24

 平面反射光栅衍射效率自动测试仪的设计与分析

王芳 齐向东 于宏柱 于海利

[摘要]设计了一种快速自动测试平面反射光栅相对衍射效率的新型系统。它采用连续光源照明,运用双联光栅光谱仪的结构型式,以N沟道增强型场效应管阵列(线阵NMOS)作为光电接收器件。运用光栅光谱仪的相关原理,对系统的测试原理...

 PDF全文光谱学与光谱分析 | 2009, 29(02):556-560

 CO₂同位素分子¹⁶O¹²C¹⁶O, ¹⁶O¹²C¹⁷O, ¹⁶O¹³C¹⁷O配分函数研究

王君 齐建起

[摘要]本文主要研究了CO2的三种同位素分子16O12C16O , 16O12C17O ,16O13C17O 70 K~6000 K的总内配分函数 (TIPS)。在总内配分函数的计算中, 转动配分函数的计算采用了McDowell的解析式法, 振动配分函数则采用了简谐振动近似...

 PDF全文光散射学报 | 2009, 21(03):226-231

 高精度控制光电光栅刻划机的光栅外差干涉仪

王芳 齐向东

[摘要]为提高光电式光栅刻划机的控制精度，设计了一种自准直式激光光栅外差干涉仪的新型测量系统。以光栅衍射和偏振光学为理论基础，结合电子学的相关知识对系统进行了理论分析，设计了基准光栅，并进行了大量的实验研究。...

 PDF全文激光技术 | 2008, 32(05):0474-476

 再生反馈技术在跟踪控制系统中的应用

王小齐 赵振海 李晶娣 李广良

[摘要]为提高伺服系统跟踪精度，利用现代计算机辅助控制技术，用软件进行坐标变换与反变换、数字计算与滤波和再生补偿量的计算，构成具有再生反馈(近似前馈)的复合控制跟踪系统，最终实现对高速运动目标的高精度跟踪。此技...

 PDF全文应用光学 | 2004, 25(06):1-4

 LD端面泵浦固体激光器模匹配的研究

李方欣 朱晓 王华 齐丽君

[摘要]本文给出了考虑热透镜效应后大功率光纤耦合输出端面泵浦的固体激光器的最佳模匹配模型.通过计算腔内任一振荡光线与中心轴振荡光线的光程差分布,得到了热透镜效应引起的衍射损耗.由此得到泵浦功率一定的情况下,泵浦光...

 PDF全文激光杂志 | 2003, 24(02):17-18

 光通信用自聚焦透镜的制备

金龙文 郝寅雷 王岩 齐冰 赵文兴

[摘要]制备了自聚焦透镜的基础玻璃,对其透过率进行了测试,并对由这种玻璃制成的梯度折射率(GRIN)棒的折射率分布进行了分析.结果表明,基础玻璃在可见和近红外波段的透过率大于89%;GRIN棒内部的折射率分布接近理想分布.

 PDF全文光学 精密工程 | 2002, 10(05):483-486

 1341.4 nm Nd:YAP激光内镜下治疗消化道疾病45例报告

贾方 王修齐 马军忠

[摘要]可经光导纤维传输的1341.4nm激光有着良好的组织凝固、气化功能,且肌体组织穿透力较1064nm激光小得多,因而安全性能显著提高.45例内镜下消化道增生性疾病的治疗结果表明:1341.4nm激光是内镜下空腔脏器激光手术的一种比...

 PDF全文中国激光 | 2001, 28(11):1054-1056