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 基于环形光瞳的光学扫描全息系统实现边缘提取

王仁德 张亚萍 王帆 祝旭锋 李重光 张永安 许蔚

[摘要]提出一种在光学扫描全息系统中采用环形光瞳滤波器来实现选择性边缘提取的方法, 基于双光瞳外差扫描技术使用单个二维光学扫描来获取三维物体的全息信息。首先, 采用小孔滤波器和环形光瞳滤波器作为两个光瞳来形成复合...

 PDF全文中国激光 | 2019, 46(01):0109001

 细胞内单颗粒示踪技术的进展

王德江 狄香君 王宝明 王帆 郭智勇 金大勇

[摘要]单颗粒示踪(Single particle tracking,SPT)技术是应用显微镜系统对细胞内单个特定荧光或散射颗粒的定位和追踪。由于SPT能够实时监控活细胞内复杂、高度动态的组织结构的变化并提供结构—功能间的动力学关系,因此...

 PDF全文中国光学 | 2018, 11(03):281

 基于Matlab仿真算法的光源空间相干性研究

王帆 张永安 阳胜 郭胤初 张亚萍

[摘要]以杨氏双缝实验为基础, 探究了光源空间相干性对干涉的影响情况。首先将光源空间展宽问题等效为平行光照射具有宽度的双缝的问题, 再将两缝近似为离散化的多个次光源点阵列, 每相邻点间距非常微小。从光矢量叠加原理出...

 PDF全文激光与光电子学进展 | 2017, 54(09):092601

 温度对4管像素结构CMOS图像传感器性能参数的影响

王 帆 李豫东 郭 旗 汪 波 张兴尧

[摘要]为了对4管像素结构CMOS图像传感器的空间应用提供可靠性指导, 对4管像素结构的CMOS图像传感器进行了-40~80 ℃的变温实验, 着重分析了样品器件的转换增益、满阱容量、饱和输出和暗电流等参数随温度的变化规律。实验结...

 PDF全文发光学报 | 2016, 37(03):332

 质子、中子、60Co-γ射线辐照对电荷耦合器件饱和输出电压的影响

汪波 文林 李豫东 郭旗 汪朝敏 王帆 任迪远 曾骏哲 武大猷

[摘要]对国产工艺的电荷耦合器件进行了质子、中子、60Co-γ射线辐照试验,研究了不同粒子辐照对器件饱和输出电压的影响。试验结果显示在质子、γ射线辐照下,电荷耦合器件的饱和输出电压显著退化,而在1 MeV中子辐照下,饱...

 PDF全文红外与激光工程 | 2015, 44(0S):0035

 基于眼型谐振腔的Fano谐振曲线尖锐度的分析

娄小伟 崔锦江 董宁宁 徐建根 檀慧明 王帆

[摘要]为了获得较大的尖锐度, 提升微环传感器的灵敏度, 提出利用眼型谐振腔结构在下路端输出的非对称Fano谐振光谱, 眼型谐振腔由一个外环和内环构成, 外环与总线波导耦合, 内环与外环耦合.利用传输矩阵法对下路端输出光谱进...

 PDF全文光子学报 | 2015, 44(01):0113002

 CMOS有源像素传感器的中子辐照位移损伤效应

汪波 李豫东 郭旗 文林 孙静 王帆 张兴尧 玛丽娅

[摘要]为研究空间高能粒子位移损伤效应引起的星用CMOS图像传感器性能退化,对国产CMOS有源像素传感器进行了中子辐照试验,当辐射注量达到预定注量点时,采用离线的测试方法,定量测试了器件的暗信号、暗信号非均匀性、饱和...

 PDF全文强激光与粒子束 | 2015, 27(09):094001

 基于二维周期结构衍射的套刻测量技术研究

彭博方 陆海亮 王帆 许琦欣 侯文玫

[摘要]基于衍射光探测的套刻测量技术(DBO)具备高分辨率、高精度及低的工具引起编差(TIS)等显著优点,已逐步取代传统基于成像的套刻测量技术(IBO),成为大规模集成电路22 nm及以下工艺技术节点所广泛采用的套刻测量方式。相...

 PDF全文激光与光电子学进展 | 2014, 51(02):021201

 一种极紫外单色仪波长定标新方法

董宁宁 王帆 崔锦江 徐建根

[摘要]提出了一种极紫外(EUV)单色仪定标新方法。对Mcpherson247型EUV单色仪进行波长定标,通过测量标准气体He空阴极光源的两条发射光谱30.38 nm和58.43 nm和标定过的中心波长为13.90 nm的Mo/Si多层膜反射镜的反射率峰值位置...

 PDF全文光学学报 | 2014, 34(s1):s104002

 全固态腔内SHG/SFG多波长黄光激光器

李智 檀慧明 田玉冰 王帆

[摘要]报道了一种利用大功率激光二极管端面抽运Nd:YAG激光晶体产生基频光,并通过非线性晶体的腔内倍频(SHG)与和频(SFG),实现多个二次谐波同时连续输出的多波长黄光激光器。将Nd:YAG晶体的1112.1、1115.9、1122.7 nm谱线作...

 PDF全文光学学报 | 2014, 34(02):0214001

 硅微振梁式加速度计的温度检测及闭环控制

王帆 董景新 赵淑明

[摘要]为实现硅微振梁式加速度计系统芯片级温度测量及系统闭环, 本文针对系统的非惯性结构部分提出了微机电系统(MEMS)结构温度的芯片级测量和闭环控制优化方法。与以温控罩的温度作为参考温度的方法不同, 该方法提出了供芯...

 PDF全文光学 精密工程 | 2014, 22(06):1590-1597

 13.55 W国产小型薄片式Yb:YAG 1030 nm激光器

邬幸富 田玉冰 檀慧明 王帆 崔锦江 董宁宁 姚文明

[摘要]报道了薄片式Yb:YAG/1030 nm激光器,Yb:YAG晶体掺杂原子数分数为10%,几何尺寸Φ11 mm×420 μm,高反面经Cr/Au金属化处理后,采用铟焊工艺焊接到微通道水冷热沉上。耦合系统为四程抽运结构,球面镜规格为直径26...

 PDF全文激光与光电子学进展 | 2013, 50(06):061401

 罗兰全息光栅线密度误差分析与控制

崔锦江 孔鹏 王帆 檀慧明

[摘要]分析了罗兰光栅帕邢龙格结构中光栅线密度误差对波长精度的影响。提出一种利用参考光栅在线检测罗兰全息光栅干涉场条纹密度的方法。将具有标准线密度的参考光栅放置在干涉场内曝光位置,通过检验曝光光束的自准直衍射...

 PDF全文激光与光电子学进展 | 2013, 50(02):020901

 680 mW小型薄片式Yb:YAG/BIBO515 nm激光器

田玉冰 檀慧明 王帆 崔锦江 董宁宁 姚文明 邬幸富

[摘要]报道了腔内倍频Yb:YAG/BIBO 515 nm薄片激光器,Yb:YAG晶体掺杂浓度(原子数分数)为10%,几何尺寸为11 mm×420 μm,高反面经Cr/Au金属化处理后,采用铟焊工艺焊接到微通道水冷热沉上。理论上计算了抽运光吸收效...

 PDF全文中国激光 | 2013, 40(06):0602021

 宽波段连续调谐全固态CW-PPMgLN光学参量振荡器

姚文明 檀慧明 田玉冰 崔锦江 王帆 董宁宁

[摘要]利用半导体激光泵浦输出1064 nm波长的全固态连续Nd:YVO4激光器作为泵浦源,采用周期调谐和温度调谐组合调谐技术,对基于掺氧化镁周期性极化铌酸锂晶体(MgO:LiNbO3, PPMgLN)准相位匹配(QPM)的全固态连续波(CW)光学参...

 PDF全文强激光与粒子束 | 2013, 25(08):2021-2026

 用于血管性皮肤病治疗的固体激光技术概述

田玉冰 檀慧明 崔锦江 王帆 施燕博 董宁宁

[摘要]激光疗法是治疗血管性皮肤病最为便捷和可靠的方案。介绍了激光治疗血管性皮肤病的选择吸收原理及氧合血红蛋白的吸收峰位置,从而确定了激光波长的选择依据,阐述了418、542、577 nm波段医用全固体激光器的相关技术及...

 PDF全文激光与光电子学进展 | 2012, 49(03):030004

 基于反射光谱的景观水体表观质量的测量研究

王军 黄勇 吴泉英 潘杨 范君柳 王帆

[摘要]为了客观、定量地评价城市景观水体的表观质量,提出了一种基于反射光谱的水体表观质量的测量和评价方法。在光学暗室中,利用卤素灯模拟日光照明,使用光谱仪测量水体的反射率和反射光谱数据,定量研究水体反射率特征...

 PDF全文激光与光电子学进展 | 2012, 49(11):111203

 大功率医用全固态561 nm黄光激光器

崔锦江 檀慧明 王帆 董宁宁 姜琛翌 施燕博 田玉冰

[摘要]采用半导体抽运腔内倍频的方法,获得了可满足医疗应用的瓦级全固态561 nm黄光激光输出。在比较和分析了NdYAG激光晶体各主要谱线的激光参数之后,通过谐振腔膜系的设计抑制了增益较大的1064,1319和946 nm谱线的运转。...

 PDF全文激光与光电子学进展 | 2012, 49(01):011401

 外腔全固态连续波PPMgLN光学参量振荡器与受激拉曼散射

姚文明 檀慧明 王帆 田玉冰 崔锦江 董宁宁

[摘要]利用1064 nm波长的全固态连续NdYVO4激光器作为抽运源,采用周期调谐技术,对PPMgLN晶体准相位匹配的全固态连续波光学参量振荡器(CW OPO)宽波段连续调谐输出特性和伴随输出的受激拉曼(Raman)散射进行研究。实验在多周...

 PDF全文中国激光 | 2012, 39(12):1202008

 南京地区低空雾霾气溶胶的拉曼-瑞利-米激光雷达测量

曹念文 杨丰恺 施建中 王帆 田力 卜令兵 夏俊荣

[摘要]利用拉曼-瑞利-米激光雷达对南京北郊雾霾气溶胶进行观测和分析,并和气象预报相比对。2009年12月2日进行了长时间连续的观测实验,分析比较2009年12月2日观测的雾霾激光雷达距离矫正信号和2011年1月10日南京北郊晴空大气...

 PDF全文应用光学 | 2012, 33(05):979-984

 大功率高可靠性垂直腔面发射激光器阵列研究

崔锦江 宁永强 姜琛昱 王帆 施燕博 董宁宁 田玉冰 檀慧明 武晓东

[摘要]针对980 nm激光波长设计了InGaAs/GaAsP材料多周期增益量子阱结构。垒层采用带隙更宽的GaAsP材料代替常规GaAs,改善了效率随温度升高而降低的问题,同时又能满足长寿命激光工作的需要。周期增益量子阱结构提高了有源区...

 PDF全文中国激光 | 2011, 38(08):0802011

 大功率垂直腔底发射半导体激光器的光束质量

崔锦江 宁永强 姜琛昱 王帆 高静 张星 王贞福 武晓东 檀慧明

[摘要]从M2因子、远场发散角、近场及远场光强分布等方面对大功率底发射半导体激光器光束质量进行研究,分析了不同器件参数对光束质量的影响,为寻找有效改善光束质量的方法提供了依据。设计了一种具有新型排列方式的垂直腔...

 PDF全文中国激光 | 2011, 38(01):0102002

 一种检测光刻机激光干涉仪测量系统非正交性的新方法

何乐 王向朝 马明英 施伟杰 王帆

[摘要]提出一种精确检测光刻机激光干涉仪测量系统非正交性的新方法。将对准标记曝光到硅片表面并进行显影;利用光学对准系统测量曝光到硅片上的对准标记理论曝光位置与实际读取位置的偏差;由推导的位置偏差与非正交因子、坐...

 PDF全文中国激光 | 2007, 34(08):1130-1135

 一种特殊球形输出光纤的研制

王田虎 王帆 王春霞 毛海涛 闫战强 李方正

[摘要]本文主要探讨了一种特殊球形输出光纤的研制,经实验测试表明,光纤各个角度出光能量均匀,其中球形输出光纤侧面输出功率比原来提高了约5倍,可应用于激光医学等,有着广泛的实际应用价值.

 PDF全文激光杂志 | 2007, 28(01):-1

 一种步进扫描投影光刻机承片台不平度检测新技术

何乐 王向朝 王帆 施伟杰 马明英

[摘要]提出一种步进扫描投影光刻机承片台不平度检测新技术。在晶圆与承片台存在不同偏移量时,利用线性差分传感器在线测量晶圆上不同点的局部高度;通过建立临时边界条件,以递推法消除晶圆面形影响,并逐行计算出承片台的相对...

 PDF全文光学学报 | 2007, 27(07):1205-1210

 基于人工神经网络权值优化的投影光刻机像质校正灵敏矩阵的计算方法

施伟杰 王向朝 张冬青 王帆

[摘要]像质校正灵敏矩阵是像质校正算法中由像质参数计算像质校正参数的过渡矩阵。矩阵中的元素表征了像质参数随像质校正参数变化的灵敏程度。像质校正灵敏矩阵是投影光刻机像质校正算法中重要的参数集合。提出了一种投影光...

 PDF全文中国激光 | 2006, 33(04):516-520

 一种新的光刻机多成像质量参数的原位检测技术

王帆 王向朝 马明英 张冬青 施伟杰

[摘要]随着光刻特征尺寸的不断减小,尤其是随着分辨力增强技术的使用,像质参数的原位检测已成为先进的投影光刻机中不可或缺的功能。然而现有的每种技术均只能检测有限的几种像质参数。提出了一种新的基于像传感器的光刻机...

 PDF全文中国激光 | 2006, 33(04):543-548

 基于光学对准的光刻机投影物镜密集线焦深原位检测技术

施伟杰 王向朝 张冬青 王帆

[摘要]提出了一种检测光刻机投影物镜密集线焦深(DOF)的新技术。该技术将具有精细结构的测量标记曝光在硅片上,硅片显影后,由光学对准系统获取曝光在硅片上的测量标记图形的对准位置信息,根据对准位置信息计算得到视场中各...

 PDF全文中国激光 | 2006, 33(01):85-90

 基于套刻误差测试标记的彗差检测技术

马明英 王向朝 王帆 施伟杰 张冬青

[摘要]为了满足光刻机投影物镜彗差测量精度的要求,提出一种基于套刻误差测试标记的彗差检测技术,分析了彗差对套刻误差测试标记空间像的影响,详细叙述了该技术的测量原理,并利用PROLITH光刻仿真软件对不同数值孔径与部分相干...

 PDF全文光学学报 | 2006, 26(07):1037-1042

 光刻机投影物镜的像差原位检测新技术

张冬青 王向朝 施伟杰 2王帆

[摘要]提出了一种新的光刻机投影物镜像差原位检测(AMF)技术。详细分析了该技术利用特殊测试标记检测投影物镜球差、像散、彗差的基本原理,论述了该技术利用对准位置坐标计算像差引起的成像位置偏移量的方法。实验结果表明AM...

 PDF全文光学学报 | 2006, 26(05):679-684

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