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 Mo/Si多层膜表面保护层设计

徐达 朱京涛 张众 王风丽 王晓强 王洪昌 蒋励 佘仕凤 王占山 秦树基 陈玲燕

[摘要]为提高Mo/Si多层膜的稳定性与使用寿命,通过分析多层膜驻波电场的分布,对表面保护层及多层膜最上层材料的厚度进行优化设计,使优化后的反射率最高.计算表明,一定厚度的表面保护层总对应一个最优的最上层材料厚度.在...

 PDF全文光子学报 | 2009, 38(01):160-164

 50~11O nm波段高反射率多层膜的设计与制备

李存霞 王占山 王风丽 朱京涛 吴永荣 王洪昌 程鑫彬 陈玲燕

[摘要]阐述了50~110 nm强吸收波段亚四分之一波长多层膜的设计方法.这种膜系是由强吸收材料叠加而成,每层膜光学厚度小于四分之一个波长.与常规周期多层膜相比,这种膜系更适用于提高强吸收波段的反射率.利用该方法设计了50 ...

 PDF全文光子学报 | 2007, 36(10):1862-1866

 4.48 nm正入射软X射线激光用Cr/C多层膜高反射镜的研制

王蓓 王占山 徐垚 张众 朱京涛 王洪昌 王风丽 陈玲燕

[摘要]针对4.48 nm类镍钽软X射线激光及其应用实验, 设计制备了工作于这一波长的近正入射多层膜高反射镜。选择Cr/C为制备4.48 nm高反射多层膜的材料对, 通过优化设计, 确定了多层膜的周期、周期数以及两种材料的厚度比。模拟...

 PDF全文光学学报 | 2007, 27(01):187-190

 30.4纳米B4C/Mo/Si高反射多层膜反射镜

王占山 张淑敏 吴文娟 朱京涛 王洪昌 李存霞 徐垚 王风丽 张众 陈玲燕 周洪军 霍同林

[摘要]波长30.4 nm的He-II谱线是极紫外天文观测中最重要的谱线之一,空间极紫外太阳观测光学系统需要采用多层膜作为反射元件,本文采用layer-by-layer方法设计了工作波长为30.4 nm 的B4C/Mo/Si多层膜反射镜,在5度入射角,...

 PDF全文Chinese Optics Letters | 2006, 4(10):611

 类镍钽软X射线激光用多层膜反射镜的研制

朱京涛 王蓓 徐垚 张众 王风丽 王洪昌 王占山 陈玲燕

[摘要]设计并制备了工作波长为4.48 nm类镍钽软X射线激光用多层膜反射镜.选择Cr/C、Cr/Sc为多层膜材料对,模拟了多层膜非理想界面对多层膜反射率的影响.采用直流磁控溅射技术在超光滑硅基片上制备了Cr/C、Cr/Sc多层膜.利用X射...

 PDF全文光学仪器 | 2006, 28(04):146-149

 亚四分之一波长宽波段多层膜的设计

李存霞 朱京涛 王风丽 张众 王洪昌 王占山 陈玲燕

[摘要]简要阐述了强吸收波段亚四分之一波长多层膜的设计方法.这种膜系是由强吸收材料叠加而成,每层膜光学厚度小于四分之一个波长.与常规周期多层膜相比,这种膜系更适用于提高强吸收波段的反射率.利用该方法设计了50nm~110...

 PDF全文光学仪器 | 2006, 28(04):5-8

 窄带Mo/Si多层膜反射镜

吴文娟 朱京涛 王风丽 张众 王洪昌 张淑敏 王占山 陈玲燕 周洪军 霍同林

[摘要]设计并制备了窄带Mo/Si多层膜反射镜.利用高反射级次和减小Mo层厚度两种方法减小Mo/Si多层膜反射镜光谱宽度.对Mo层厚度分别为2 nm和3 nm的Mo/Si多层膜,设计了反射级次分别从1到6的多层膜系.制备方法采用直流磁控溅射技...

 PDF全文光学仪器 | 2006, 28(04):133-136

 最小膜层厚度对X射线非周期多层膜光学性能的影响

王风丽 张众 朱京涛 王洪昌 吴文娟 王占山 陈玲燕

[摘要]选用能制备小周期的钨/硅(W/Si)作为膜层材料对,着重研究最小膜层厚度对X射线非周期多层膜光学性能的影响.基于矩阵法计算多层膜反射率和单纯形数值优化方法,设计了入射光子能量为8.0keV,掠入射角的宽度分别为0.85...

 PDF全文光学仪器 | 2006, 28(04):48-51

 基于模拟退火算法的宽角度X射线超反射镜设计研究

程鑫彬 王占山 张众 王风丽 王洪昌 陈玲燕

[摘要]应用于硬X射线波段的宽带多层膜光学元件——宽角度X射线超反射镜的设计可以归结为一个连续变量的多维多极值的全局优化问题。缺少一种有效的全局优化方法是阻碍解决这一难题的一个关键。模拟退火算法是一种简单而且通...

 PDF全文光学学报 | 2006, 26(05):787-791

 13.9 nm马赫贞德干涉仪用软X射线分束镜研究

张众 王占山 王洪昌 王风丽 吴文娟 张树敏 秦树基 陈玲燕

[摘要]介绍了13.9 nm马赫贞德干涉仪用软X射线分束镜的设计、制备与性能检测.基于分束镜反射率和透过率乘积最大的评价标准,设计了13.9 nm软X射线激光干涉实验用多层膜分束镜.采用磁控溅射方法在有效面积为10 mm×10 mm、...

 PDF全文强激光与粒子束 | 2006, 18(05):773-778

 利用X射线激光干涉诊断等离子体电子密度

王琛 王伟 孙今人 方智恒 吴江 傅思祖 马伟新 顾援 王世绩 张国平 郑无敌 张覃鑫 彭惠民 邵平 易葵 林尊琪 王占山 王洪昌 周斌 陈玲燕 金春水

[摘要]X射线激光探针干涉方法是诊断高温高密度激光等离子体电子密度等信息的重要工具.利用神光Ⅱ装置输出激光驱动的类镍-银X射线激光作为探针,成功地进行了马赫-曾德尔干涉法诊断实验,获得了清晰的包含等离子体信息的动态干...

 PDF全文高功率激光及等离子体物理研究论文集(专题) | 2005, 3(01):115-118

 多层膜优化设计方法

王洪昌 王占山

[摘要]传统多层膜设计所用的全局寻优法的速度非常慢,有时还很难得到理想的膜系.根据Frensnel反射系数公式计算多层膜的反射率,利用单纯形法对软X射线和X射线波段多层膜进行调优,可在短时间内优化出最接近目标光学性能的多层...

 PDF全文应用光学 | 2005, 26(05):50-53

 水窗波段反射式偏振光学元件的设计和制作

马彬 王占山 王洪昌 王风丽 吴文娟 张众 秦树基 陈玲燕

[摘要]水窗波段是软X射线进行生物活细胞显微成像的最佳波段,因此对于水窗波段偏振光学元件的研究有着非常重要的意义。用菲涅耳公式计算出在水窗波段内不同材料组合对应不同波长的最大反射率,模拟分析了多层膜周期和表界面粗...

 PDF全文光学学报 | 2005, 25(11):1581-1584

 W/B4C、W/C、W/Si多层膜的研究

王风丽 王占山 张众 吴文娟 王洪昌 张淑敏 秦树基 陈玲燕

[摘要]给出了W/B4C、W/C、W/Si(钨/碳化硼、钨/碳、钨/硅)周期多层膜的制备和测量研究.用超高真空直流磁控溅射方法制备出周期在1.1~7.2 nm范围内的多层膜样品,采用X射线衍射仪(XRD)小角度测量方法检测多层膜的光学性能,并用...

 PDF全文光学 精密工程 | 2005, 13(01):28-33

 13.9nm软X射线激光用大面积多层膜分束镜研制

王占山 张众 王风丽 吴文娟 王洪昌 秦树基 陈玲燕

[摘要]基于分束镜反射率和透射率的乘积为衡量标准的原则,设计了13.9nm软X射线激光干涉测量所需的多层膜分束镜,用磁控溅射法在有效面积达10mm×10mm,厚100nm的氮化硅窗口上镀制Mo/Si多层膜,实现了分束镜制作.用表面轮廓...

 PDF全文强激光与粒子束 | 2004, 16(09):1089-1091

 窄光谱带宽X射线刻蚀多层膜光栅

吴文娟 王占山 秦树基 王风丽 王洪昌 张众 陈玲燕 徐向东 付绍军

[摘要]结合X射线荧光分析和同步辐射单色器对窄光谱带宽多层膜的需求,开展了窄光谱带宽刻蚀多层膜光栅的理论和实验研究.用平均密度法从理论上阐明将多层膜刻蚀成不同刻蚀比的多层膜光栅后,光谱分辨率将得到提高.用磁控溅射方...

 PDF全文光学 精密工程 | 2004, 12(02):226-230

 软X射线Mo/Si多层膜反射率拟合分析

王洪昌 王占山 秦树基 李佛生 陈玲燕 朱杰 崔明启

[摘要]由于多层膜的表界面粗糙度和材料之间的相互扩散等因素,导致多层膜的实际反射率小于理论计算的反射率,因此,多层膜结构参量的确定对镀膜工艺参量的标定具有重要意义。由于描述单个非理想粗糙界面散射的Stearns法适用于...

 PDF全文光学学报 | 2003, 23(11):1362-1365

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