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 基于平面光栅尺的掩模台位置误差分析与验证

郝春晓 张文涛 王献英 黄逊志

[摘要]为实现掩模台水平向三自由度高精度的运动定位,掩模台测量系统需要建立准确的多自由度解耦测量模型。采用二维衍射平面光栅尺建立掩模台自由度位置测量系统,并主要分析平面光栅尺和读头产生的多个安装误差使测量掩模台...

 PDF全文激光与光电子学进展 | 2019, 56(23):231202

 高精度位移测量系统的硬件在环仿真

张文涛 杜浩 熊显名 谢仁飚 王献英

[摘要]设计了一个基于二维光栅的高精度位置测量系统的硬件在环仿真平台，分析了测量模型在编程过程中产生误差的原因，并使用该仿真平台测试了模型的精度和运算时间。结果表明，当计算频率为20 kHz时，测量模型的编程精度优...

 PDF全文中国激光 | 2019, 46(02):0204001