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 基于激光诱导击穿光谱技术的铜铟镓硒纳米薄膜的分析探测研究

修俊山 刘世明 王琨琨 付圣贵 汪涛 刘云燕

[摘要]铜铟镓硒薄膜中4种元素的含量比对薄膜的性能有非常大的影响。采用磁控溅射方法在不同工作气压下制备了铜铟镓硒薄膜,利用激光诱导击穿光谱(LIBS)技术实现了铜铟镓硒薄膜中Ga含量与(In+Ga)含量之比以及Cu含量与(In+...

 PDF全文中国激光 | 2018, 45(12):1211002

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