首页 > 论文 > 标签

Hi,您目前在 全部期刊 '田亚湘', 共找到 1个内容。

   将选定结果: 

 飞秒激光直写掩模制作硅表面微柱阵列

田亚湘 张帆 丁铠文 满姝 吴碧微

[摘要]提出了一种使用飞秒激光直写掩模加工微柱阵列的方法。利用高重复频率飞秒激光的热氧化效应在硅表面制作出二氧化硅点阵列,然后经氢氧化钾刻蚀得到微柱阵列。相比于传统的制作微柱阵列的方法,使用飞秒激光直写掩模制作...

 PDF全文激光与光电子学进展 | 2019, 56(18):183201

首页上一页1下一页尾页