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激光与光电子学进展(1)
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扫描干涉场曝光中关键技术的现状与发展趋势
程伟林 朱菁 张运波 曾爱军 黄惠杰
[摘要]扫描干涉场曝光(SBIL)在制作大尺寸、纳米精度的衍射光栅中有着独特的优势。为了充分了解SBIL 系统的技术特点，介绍了国内外SBIL 技术的发展现状，并针对SBIL 系统中的各个关键技术进行技术性的调研与总结，着重分析了...
PDF全文激光与光电子学进展 | 2015, 52(10):100001
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