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   将选定结果: 

 光刻机照明光场均匀性高精度校正方法研究

程伟林 张方 林栋梁 曾爱军 杨宝喜 黄惠杰

[摘要]提出了应用于光刻机照明系统照明光场均匀性的高精度校正方法,该方法通过优化手指阵列式均匀性校正器中校正手指前端的形状及其排布方式来提高校正能力和精度。仿真结果表明:当校正手指错开排布时,手指阵列式均匀性...

 PDF全文光学学报 | 2018, 38(07):0722001

 光刻机照明系统的多自由度均匀性校正方法

程伟林 张方 林栋梁 曾爱军 杨宝喜 黄惠杰

[摘要]提出了一种光刻机照明系统的多自由度均匀性校正方法。当照明光瞳的部分相干因子发生变化时,该方法的校正手指只需整体在光轴方向进行微调就能使照明光场的均匀性满足要求。仿真分析了校正手指的三维空间移动对照明光...

 PDF全文光学学报 | 2018, 38(10):1022004

 扫描干涉场曝光中关键技术的现状与发展趋势

程伟林 朱菁 张运波 曾爱军 黄惠杰

[摘要]扫描干涉场曝光(SBIL)在制作大尺寸、纳米精度的衍射光栅中有着独特的优势。为了充分了解SBIL 系统的技术特点,介绍了国内外SBIL 技术的发展现状,并针对SBIL 系统中的各个关键技术进行技术性的调研与总结,着重分析了...

 PDF全文激光与光电子学进展 | 2015, 52(10):100001

 基于色氨酸本征荧光测量的生物气溶胶检测技术研究

蔡舒窈 张佩 朱玲琳 谢承科 孙征宇 程伟林 赵永凯 黄惠杰

[摘要]生物气溶胶与环境质量和人类健康密切相关。基于光学测量的气溶胶检测技术具有快速、无损和灵敏的优点,是目前的研究主流。而对检测系统的标定技术及其评价方法尚无国家标准可依。基于本征荧光测量技术,研制完成了一...

 PDF全文光学学报 | 2012, 32(05):0512009

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