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 涂覆石墨烯的三根电介质纳米线波导的模式特性

卫壮志 薛文瑞 彭艳玲 程鑫 李昌勇

[摘要]采用多极方法, 通过改变工作频率、中间纳米线半径、中间纳米线高度、水平方向上纳米线之间的距离以及石墨烯的费米能, 对涂覆石墨烯的三根轴心非共面的电介质纳米线波导所支持的5种低阶模的有效折射率实部和传播长度进...

 PDF全文光学学报 | 2019, 39(01):0124001

 原子光刻中原子通量的优化研究

陈杰 刘杰 朱立 邓晓 程鑫彬 李同保

[摘要]原子通量是影响原子光刻技术制备纳米光栅质量的主要因素之一。应用原子炉管喷发量的理论模型,利用理论与实验相结合的方法,对比研究了三类典型原子炉管构型下的原子通量水平,并基于最优原子炉管构型将研制的铬纳米...

 PDF全文光学学报 | 2018, 38(12):1202001

 节瘤缺陷平坦化提高高反射膜的激光损伤阈值

谢凌云 何 涛 张锦龙 焦宏飞 马 彬 王占山 程鑫彬

[摘要]探究了节瘤缺陷平坦化技术中平坦化层(刻蚀层)厚度和种子源尺寸之间的刻蚀规律,同时解释了平坦化技术提高节瘤缺陷的损伤阈值的机制。在双离子束溅射系统中,使用SiO2微球模拟真实的种子源置于基板上,镀制1064 nm ...

 PDF全文强激光与粒子束 | 2018, 30(09):092001

 不同工艺制备的人工节瘤的损伤生长特性

马宏平 程鑫彬 张锦龙 王占山 唐永建

[摘要]在高能激光系统中, 反射膜的损伤生长特性和初始损伤一样重要。对薄膜损伤生长特性的研究将有助于探究反射膜损伤机制, 从而进一步有效地提高其抗激光损伤能力。使用电子束蒸发(EB)和离子束辅助(IAD)两种工艺制备了1 0...

 PDF全文红外与激光工程 | 2017, 46(05):0521001

 用于全息波导头盔彩色显示的色散矫正设计

程 鑫 冯奇斌 吕国强

[摘要]衍射光栅是全息波导头盔显示系统中的关键元件, 但在彩色显示中, 因其特性, 红绿蓝三色波长的入射光会衍射不同的角度。在波导中经历数次全反射后, 三色光在出射光栅的不同位置处出射从而造成色散。针对彩色全息波导头...

 PDF全文电光与控制 | 2017, 24(12):71

 铥激光器腔镜用高损伤阈值氧化物薄膜的研制

赵 阳 何 宇 焦宏飞 张锦龙 程鑫彬 刘华松 李刚正 吴晓鸣

[摘要]2 μm波段激光器在环境探测、测风雷达、生物组织切割、光电对抗等领域都有重要的应用价值和前景。而此波段的薄膜通常采用折射率较高的硫化物、砷化物等软膜材料来制备, 为了提升该波段薄膜的损伤性能, 采用折射率相对...

 PDF全文红外与激光工程 | 2016, 45(05):0521001

 节瘤缺陷激光损伤的研究进展

谢凌云 程鑫彬 张锦龙 焦宏飞 马 彬 丁 涛 沈正祥 王占山

[摘要]在近红外反射类激光薄膜中, 节瘤缺陷是引起薄膜激光损伤的主要因素。为了提高激光薄膜的损伤阈值, 对节瘤缺陷及其损伤特性进行研究具有重要意义。从“真实”节瘤缺陷和“人工”节瘤缺陷两个方面介绍节瘤缺陷的研究进...

 PDF全文强激光与粒子束 | 2016, 28(09):090201

 用于视角偏转的光学膜表面微结构设计

冯奇斌 尹慧娟 程 鑫 吕国强

[摘要]针对传统的液晶显示器应用于一些驾驶舱时存在的特殊观看视角问题, 设计了一种新型的光学膜, 以使液晶显示器的最大亮度可根据观看者的位置实现特定角度的偏转。首先, 基于现有背光的配光曲线, 提出光学膜表面微结构为...

 PDF全文光学 精密工程 | 2016, 24(05):1009

 HfO 2薄膜折射率非均质性生长特性研究

鲍刚华 程鑫彬 焦宏飞 刘华松 王占山

[摘要]在加热的BK7基板上,采用电子束蒸发(EB)工艺制备了一系列不同厚度的HfO 2单层膜,对HfO 2薄膜生长过程中的折射率非均质性进行了研究。光谱分析表明薄膜非均质性与其厚度息息相关。X射线衍射(XRD)测试表明不同非均质性...

 PDF全文红外与激光工程 | 2015, 44(09):2761

 偏振分光膜中节瘤的激光损伤特性

阿卜杜萨拉木.图尼亚孜 程鑫彬 鲍刚华 焦宏飞 王占山

[摘要]研究了1 064 nm HfO2/SiO2偏振分光膜中节瘤的损伤特性。为了研究偏振分光膜中节瘤缺陷种子源粒径大小与损伤阈值之间的关系,在熔石英基板上植入了尺寸和密度可控的单分散性的SiO2小球,并采用电子束蒸发技术在熔石英...

 PDF全文红外与激光工程 | 2015, 44(08):2461

 光学表面功率谱密度的表征

张磊 程鑫彬 张锦龙 王占山

[摘要]以硅基板镀制单层HfO2薄膜前后的表面微观形貌的变化为例,开展了光学表面功率谱密度的计算及表征研究。首先给出了一维功率谱密度(PSD1D)、二维功率谱密度(PSD2D)以及各向同性功率谱密度(PSDISO)的计算方法和具体步骤...

 PDF全文红外与激光工程 | 2015, 44(12):3707

 金属氧化物薄膜在中波红外光谱区内光学常数色散特性

刘华松 季一勤 张锋 刘丹丹 冷健 王利栓 姜玉刚 陈德应 焦宏飞 鲍刚华 程鑫彬

[摘要]基于金属氧化物薄膜材料在中波红外波段应用的需求,研究了含水状态的TiO2、HfO2、Ta2O5和Y2O34种金属氧化物薄膜在中波红外波段内(2.5~5 μm)光学常数的色散特性。利用电子束蒸发沉积技术,在超光滑的硅表面制备了4...

 PDF全文光学学报 | 2014, 34(08):0831003

 一种抑制二倍频半波孔现象的短波通设计方法

鲍刚华 焦宏飞 程鑫彬 刘华松 王占山

[摘要]短波通滤色片是光学系统,尤其是激光系统中普遍使用的一种薄膜,它的基本结构为(0.5LH0.5L)N。但薄膜的非均质性会产生半波孔现象,从而影响滤色片的光学特性。利用导纳技术分析了折射率非均质性产生半波孔现象的原因...

 PDF全文光学学报 | 2014, 34(08):0831001

 基于光子晶体带隙特性的反射式多通道滤光片设计

贺芝宇 焦宏飞 程鑫彬 张锦龙 王占山

[摘要]反射式多通道滤光片在光学通讯、光学成像、遥感高光谱等方面有着重要的应用。利用含缺陷一维光子晶体独特的带隙特性,依据其相应的能带理论,设计了一种由金属和介质组成的反射式多通道滤光片。这种滤光片通道的工作...

 PDF全文光学学报 | 2014, 34(02):0231002

 基频HfO2/SiO2高反射薄膜激光损伤生长特性

张艳云 马彬 马宏平 焦宏飞 程鑫彬

[摘要]以1064 nm波长作用下的HfO2/SiO2高反射薄膜为研究对象,研究了高反射薄膜在损伤生长过程中分层剥落初始损伤结构的变化规律、损伤形貌特征和损伤生长阈值等特性。实验结果表明:分层剥落初始损伤结构的横向尺寸随激光...

 PDF全文强激光与粒子束 | 2013, 25(09):2275-2280

 基于等效层法分析对称性倍频分束镜的半波孔

韩金 张锦龙 程鑫彬 王占山

[摘要]半波孔问题严重影响了倍频分束镜在高功率激光系统中的应用。为研究半波孔的产生机理,分别模拟了由高、低折射率膜层厚度失配和膜料色散失配引起的1/4波长对称规整膜系的半波孔。基于等效层理论,在Matlab平台上计算膜...

 PDF全文光学学报 | 2012, 32(01):0131001

 SiO2/HfO2高反射膜的研制

程鑫彬 沈正祥 焦宏飞 马彬 张锦龙 丁涛 王占山

[摘要]主要讨论了电子束蒸发SiO2/HfO2薄膜的面形控制和损伤性能。研究了电子束蒸发工艺参数对薄膜应力以及面形的影响;分析了制备工艺对薄膜吸收、节瘤缺陷密度的影响,测量了制备薄膜的损伤阈值。研究结果表明:调整SiO2蒸...

 PDF全文强激光与粒子束 | 2012, 24(06):1276-1280

 清洗对偏振分光膜损伤阈值的影响

叶晓雯 王孝东 程鑫彬 马彬 丁涛 沈正祥 王占山

[摘要]采用微分干涉显微镜、扫描电镜和聚焦离子束观察了偏振分光膜损伤的形貌,从损伤机理出发,研究了清洗对偏振分光膜损伤阈值的影响。结果表明:清洗能有效去除表面杂质,清洗质量越好,基板上的杂质尺寸越小,杂质密度...

 PDF全文强激光与粒子束 | 2012, 24(10):2338-2342

 界面连续性对薄膜节瘤损伤特性的影响

何文彦 程鑫彬 马彬 丁涛 叶晓雯 张锦龙 张艳云 焦宏飞 王占山

[摘要]研究了HfO2/SiO2高反膜中植入2 μm的SiO2小球所形成的节瘤的界面连续性对损伤特性的影响。采用离子束辅助沉积(IAD)技术制备了两种不同厚度的1064 nm高反膜。它们的电场分布和吸收相近;但是厚度大(约为2倍)的薄膜中,...

 PDF全文中国激光 | 2011, 38(s1):s107002

 高损伤阈值三倍频分离膜

王孝东 张锦龙 马彬 焦宏飞 丁涛 程鑫彬

[摘要]设计了Nd:YAG激光用三倍频分离膜,膜层材料为SiO2和HfO2。经过优化,膜系在355 nm处的反射率在99%以上,在532 nm和1 064 nm处透射率也在99%以上。采用电子束蒸发技术,在熔融石英基底上制备了样品,经测量,制备的分...

 PDF全文强激光与粒子束 | 2011, 23(07):1882-1884

 1 064nm高反射薄膜激光损伤阈值测量方法

周刚 马彬 焦宏飞 丁涛 张锦龙 沈正祥 程鑫彬 王占山

[摘要]参照国际上对激光损伤阈值不同测量技术建立起来的相应检测规范和标准, 分别采用1-on-1,S-on-1,R-on-1和光栅扫描共4种测量方式, 在1 064 nm波长下对HfO2/SiO2周期性高反射薄膜进行了激光损伤阈值的测量研究。根据测量...

 PDF全文强激光与粒子束 | 2011, 23(04):963-968

 表面层对1 064 nm高反射镜损伤阈值影响

鲁江涛 焦宏飞 程鑫彬 马彬 丁涛 张锦龙 沈正祥 周刚

[摘要]采用电子束蒸发的方法制备了3种具有不同表面层材料及结构的中心波长为1 064 nm的零度高反镜, 3种膜系表面层分别为1/4波长光学厚度的HfO2, 1/2波长光学厚度的SiO2, 以及1/4波长光学厚度的SiO2。光谱测试表明:三者在...

 PDF全文强激光与粒子束 | 2011, 23(04):977-980

 基于时间控厚离子束溅射技术的宽带减反膜制备

刘华松 王占山 季一勤 沈正祥 马彬 程鑫彬 焦宏飞 陈德应 刘丹丹 宋洪君

[摘要]为了制备满足设计要求的宽角度、宽波段减反膜, 利用离子束溅射沉积技术, 在时间-功率控厚的模式下, 对膜层沉积速率进行了精确修正。在实验中, 利用时间-功率控厚的离子束溅射沉积技术, 选择HfO2和SiO2作为高低折射率...

 PDF全文强激光与粒子束 | 2011, 23(02):407-411

 多通道窄带滤光片

焦宏飞 程鑫彬 丁涛 鲍刚华 王孝东 贺鹏飞 吴永刚

[摘要]本文提出了两种类型的多通道窄带滤光片:透射型和反射型。通过组合刻蚀及多次镀膜相结合的方法在同一基板上面成功制备了具有连续32个通道的集成透过式窄带滤光片;另通过金属和介质材料的适当组合,成功得到了具有通...

 PDF全文Chinese Optics Letters | 2010, 8(s1):192

 高损伤宽带啁啾镜

张锦龙 程鑫彬 王占山

[摘要]结合TiO2/SiO2反射镜的宽反射带以及HfO2/SiO2膜系较高的损伤特性设计了用于亚10fs高能啁啾脉冲放大系统中的高损伤宽带啁啾镜. 理论计算表明该啁啾镜在720-880nm光谱范围内, 反射率大于99.96%, 群延迟色散量为-50 fs2...

 PDF全文Chinese Optics Letters | 2010, 8(s1):156

 极紫外、软X射线与X射线波段非周期多层膜研究进展

王占山 朱京涛 穆宝忠 张众 王风丽 程鑫彬 王芳芳 陈玲燕

[摘要]本文综述了非周期多层膜的最近研究进展。围绕中国硬X射线天文望远镜,同步辐射偏振测量,极紫外太阳观测,稠度等离子诊断等应用,研究了一系列新奇的具有特殊性能的非周期多层膜元件。采用各种多层膜结构,设计,制备...

 PDF全文Chinese Optics Letters | 2010, 8(s1):163

 宽截止带多峰反射滤光片研究

焦宏飞 丁涛 程鑫彬 马彬 贺鹏飞 吴永刚

[摘要]反射滤光片在光通讯及其他系统当中有着广泛的应用。我们改进了一种由介质和金属组成的滤片,通过研究介质和金属在此结构中的作用,并通过添加匹配层,实现了宽截止窄带反射滤光片的设计,带宽可达到300nm以上,相对半...

 PDF全文Chinese Optics Letters | 2010, 8(11):1102

 动力学晶格蒙特卡洛方法模拟Cu薄膜生长

吴子若 程鑫彬 王占山

[摘要]利用动力学晶格蒙特卡洛方法模拟了Cu薄膜在Cu(100)面上的三维生长过程.模型中考虑了四个动力学过程:原子沉积、增原子迁移、双原子迁移和台阶边缘原子迁移,各动力学过程发生的概率由多体势函数确定.讨论了基底温度、沉...

 PDF全文光子学报 | 2010, 39(01):62-66

 离子束辅助沉积薄膜工艺

王利 程鑫彬 王占山 唐骐 范滨

[摘要]阐述了离子源在离子束清洗和离子束辅助薄膜沉积(IAD)中的应用;根据热力学原理及离子碰撞过程分析,研究了离子束辅助沉积过程中的能量传递过程,建立了薄膜折射率与离子辅助沉积过程中各物理量之间的关系模型;探讨了各种...

 PDF全文红外与激光工程 | 2007, 36(06):896-898

 50~11O nm波段高反射率多层膜的设计与制备

李存霞 王占山 王风丽 朱京涛 吴永荣 王洪昌 程鑫彬 陈玲燕

[摘要]阐述了50~110 nm强吸收波段亚四分之一波长多层膜的设计方法.这种膜系是由强吸收材料叠加而成,每层膜光学厚度小于四分之一个波长.与常规周期多层膜相比,这种膜系更适用于提高强吸收波段的反射率.利用该方法设计了50 ...

 PDF全文光子学报 | 2007, 36(10):1862-1866

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