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 1064 nm分振幅光偏振测量仪的多层介质分束镜的设计和制备

袁文佳 沈伟东 章岳光 郑晓雯 沐 雯 方 波 杨陈楹 刘 旭

[摘要]设计和制备了一种用于1064 nm分振幅光偏振测量仪(DOAP)的具有多层介质薄膜结构的差分相移分束镜。通过理论分析该DOAP系统的仪器矩阵参数, 得到分束镜的最优参数, 并用离子束溅射沉积方法制备了分束镜样品及其背面的减...

 PDF全文光学学报 | 2017, 37(05):0531001

 离子束溅射制备Nb2ONb5、TaNb2ONb5和SiONb2薄膜的光学、力学特性和微结构

袁文佳 沈伟东 郑晓雯 杨陈楹 章岳光 方波 沐雯 陈超楠 刘旭

[摘要]研究了离子束溅射(IBS)制备的Nb2O5、Ta2O5和SiO2薄膜的光学特性、力学特性以及薄膜微结构, 分析了辅助离子源电压对薄膜特性的影响, 并将电子束蒸发、离子辅助沉积和IBS制备的薄膜进行了对比。研究结果表明, IBS制备的...

 PDF全文光学学报 | 2017, 37(12):1231001

 原子层沉积制备铱薄膜的特性研究

叶志杰 沈伟东 章岳光 张兴 袁文佳 李旸晖 刘旭

[摘要]以乙酰丙酮铱[Ir(acac)3]和高纯氧为前驱体,采用原子层沉积(ALD)方法在基板温度为340 ℃的石英玻璃和硅基板上制备了金属铱薄膜。采用反射光谱测试仪、X射线电子能谱(XPS)、X射线衍射(XRD)、扫描电子显微镜(SEM)和...

 PDF全文光学学报 | 2014, 34(10):1031002

 基于白光干涉测量色散补偿薄膜的群延迟色散

李承帅 沈伟东 章岳光 范欢欢 刘旭

[摘要]为精确测量超快激光色散补偿薄膜的群延迟色散,提出了一种基于窗口傅里叶变换和样条插值去噪算法的新型白光干涉测量方案。计算机模拟表明此方法测试精度可达0.58 fs2。分析了高斯噪声和光强平均效应对测试精度的影响...

 PDF全文光学学报 | 2012, 32(10):1031003

 抗紫外辐射塑料显示面板的减反射膜

武江 沈伟东 袁文佳 章岳光 顾培夫

[摘要]设计制备了一种抗紫外(UV)辐射的塑料显示面板的减反射膜。对常用的聚碳酸酯(PC)塑料面板,在垂直入射时,减反膜紫外波段300~380 nm的平均反射率大于99.5%,可见光波段420~750 nm的残余反射率为0.22%;在45°入射...

 PDF全文光学学报 | 2011, 31(02):0231001

 基于金属介质薄膜的反射型彩色滤光片

余鹏 沈伟东 章岳光 牛海亮 刘旭

[摘要]基于诱导反射原理设计了一种可见光波段金属介质薄膜结构的反射型彩色滤光片。高吸收铬和高反射铝的应用使它既能获得高反射率又有很高的宽波段截止度,通过改变介质匹配层的厚度实现适当的导纳匹配,得到了反射率大于...

 PDF全文光学学报 | 2011, 31(12):1231003

 原子层沉积制备Ta2O5薄膜的光学特性研究

范欢欢 章岳光 沈伟东 李旸晖 李承帅 何俊鹏 刘春亮 刘旭

[摘要]以乙醇钽[Ta(OC2H5)5]和水蒸气为前驱体,采用原子层沉积(ALD)方法分别在基板温度为250 ℃和300 ℃的K9和石英衬底上制备了Ta2O5光学薄膜。采用分光光度计、X射线光电子能谱(XPS)、X射线衍射(XRD)、扫描电子显微...

 PDF全文光学学报 | 2011, 31(10):1031001

 光敏性溶胶凝胶杂化薄膜的光学特性研究

毛靖 沈伟东 尹伊 章岳光 刘旭

[摘要]利用溶胶凝胶法,合成了一种具有高紫外光敏特性的有机-无机杂化材料,并用旋涂法在单晶硅基板上制备了其光学薄膜。经过紫外氘灯光源照射5个小时之后,薄膜厚度减少了55%,而折射率从1.484减小为1.445,光学厚度更是随着照...

 PDF全文Chinese Optics Letters | 2010, 8(04):435

 基于琼斯矩阵的薄膜诱导偏振像差分析

李旸晖 沈伟东 章岳光 郑臻荣 刘旭

[摘要]利用琼斯矩阵分析了大角度入射情况时薄膜诱导的偏振像差,通过理论推导提出了减小薄膜诱导偏振像差的膜系设计方法,即在满足最基本的透射率要求的前提下,将尽可能的减小任何入射角度的透射率差和相位差作为膜系优化...

 PDF全文光学学报 | 2010, 30(s1):s100109

 从白光干涉曲线获取光学薄膜反射相位和物理厚度的新算法

罗震岳 薛晖 张淑娜 沈伟东 顾培夫 章岳光

[摘要]设计了一套迈克耳孙白光干涉仪系统用于测量光学薄膜的反射相位,并由此反推单层薄膜的物理厚度。为补偿传统算法获取相位所存在的误差,提出一种新算法,以线性拟合结果作为初始猜想,采用多变量优化拟合总光程差曲线得到...

 PDF全文光学学报 | 2010, 30(06):1835-1840

 红外短波/长波分色片的研究

章岳光 王颖 孙雪铮 沈伟东 刘旭 顾培夫

[摘要]短波红外/长波红外分色片在红外双波段成像光学系统中起着重要的作用。分析了分色片基板和薄膜材料的选择。选定硒化锌为基板,采用Ge,ZnSe和YbF3作为薄膜材料进行了优化设计,并对沉积温度和蒸发速率等工艺条件进行了优...

 PDF全文光学学报 | 2010, 30(02):597-601

 原子层沉积制备Al2O3薄膜的光学性能研究

何俊鹏 章岳光 沈伟东 刘旭 顾培夫

[摘要]研究了原子层沉积制备氧化铝薄膜的光学性能。以三甲基铝(TMA)和水为前聚体,分别在基板温度为250 ℃和300 ℃的K9和石英玻璃衬底上沉积了Al2O3光学薄膜。采用分光光度计,X射线光电子能谱(XPS),X射线衍射(XRD),原子力显...

 PDF全文光学学报 | 2010, 30(01):277-282

 利用白光干涉系统测量薄膜反射相位

薛晖 沈伟东 顾培夫 罗震岳 章岳光 刘旭

[摘要]本文介绍了一种利用光谱型白光干涉系统测量光学薄膜绝对反射相位的方法。通过对探测器接收到的信号进行傅立叶变换,可以得到系统整体的光谱位相(φ),它由以下三部分组成:干涉系统两臂之间空气中的光程差(L)、由分光...

 PDF全文Chinese Optics Letters | 2009, 7(05):446

 多波段增透薄膜对镁掺杂铌酸锂变频晶体损伤阈值的影响

王颖 章岳光 沈伟东 刘旭 顾培夫

[摘要]采用电子束沉积法在镁掺杂铌酸锂基底上镀制了多波段增透膜, 透射波段分别为1.064 μm, 1.4~1.6 μm和3.5~4.3 μm, 测量了薄膜在1064 nm多脉冲辐照下的损伤阈值, 以及无薄膜铌酸锂晶体本身的损伤阈值。结果表明, 镀...

 PDF全文中国激光 | 2009, 36(s1):346-348

 新型色散补偿薄膜的初始结构设计方法

罗震岳 刘旭 沈伟东 薛晖 顾培夫 章岳光

[摘要]啁啾脉冲振荡(CPO)与飞秒激光显微系统都要求在一定带宽内能够提供大的色散补偿,如此大的色散补偿要求是之前应用于飞秒激光器的各种色散补偿薄膜结构难以达到的。为此提出一种将基于共轭腔与G-T腔混合结构的初始膜系...

 PDF全文光学学报 | 2009, 29(09):2619-2623

 基于白光干涉的光学薄膜物理厚度测量方法

薛晖 沈伟东 顾培夫 罗震岳 刘旭 章岳光

[摘要]设计了一套利用白光干涉理论测量薄膜厚度的系统, 主要包括迈克耳孙白光干涉系统和光纤光谱仪。对干涉信号进行频域分析, 结合拟合测试与理论能量曲线的方法并选择合适的目标函数, 进一步精确反演得到待测薄膜样品的物...

 PDF全文光学学报 | 2009, 29(07):1877-1880

 可见光+1.54 μm激光/长波红外分色片的设计和制备

章岳光 王 颖 孙雪铮 沈伟东 刘 旭 顾培夫

[摘要]可见+1.54μm激光/长波红外分色片分离可见光、激光和长波红外光, 在多通道成像光学系统中起着重要的 作用.分析了分色片基板和薄膜材料的选择, 优化设计并用电子束蒸发法制备了该分色片, 其反射率和透射率都达 到了94...

 PDF全文红外与毫米波学报 | 2009, 28(04):307-310

 中红外高反膜的激光热场分析

王颖 章岳光 刘旭 顾培夫 厉以宇 李明宇

[摘要]为了分析薄膜内部激光引起的电热场效应,提出了一种模拟锥形高斯光入射多层介质薄膜后电场和热场分布的方法.该方法能够分析薄膜中高斯光各个角谱分量叠加形成的电场的分布,进而得到由于薄膜本征吸收产生的热量沉积以及...

 PDF全文光学仪器 | 2006, 28(04):22-26

 TiO2膜消光系数的确定及制备参量的影响

顾培夫 陈海星 艾曼灵 章岳光 刘旭

[摘要]基于窄带干涉滤光片的峰值透射率测量可以直接反演出薄膜的消光系数,从而得到了一种简易而又精确的评价薄膜微弱损耗的新方法。 阐述了确定弱吸收薄膜消光系数的基本原理,并分析了这种评价方法的基本精度。讨论了离子束...

 PDF全文光学学报 | 2005, 25(07):1005-1008

 多腔薄膜梳状滤波器中心波长温度稳定性分析

陈海星 顾培夫 李海峰 章岳光 吕玮阁 金波

[摘要]利用高桥模型详细分析了多腔薄膜梳状滤波器的中心波长温度稳定性问题。发现由于多腔薄膜梳状滤波器的固体腔较厚而反射镜膜系的厚度相对较薄,因此膜系与固体腔之间的温度引起的弹性应力导致的膜系光学常数的变化已经...

 PDF全文光学学报 | 2005, 25(01):105-108

 膜厚监控系统的光谱宽度对窄带滤光片性能的影响

顾培夫 陆巍 陈海星 杨毓铭 李海峰 章岳光 刘旭 唐晋发

[摘要]讨论了膜厚监控系统的光谱宽度对波分复用窄带滤光片特性的影响,分析了监控过程中所出现的信号异常现象,其主要原因是控制光光谱宽度以及控制波长与滤光片中心波长不一致,所以控制光光谱分辨率必须小于单个法布里珀罗滤...

 PDF全文光学学报 | 2004, 24(02):251-254

 波分复用薄膜带通滤光片的中心波长温度稳定性

顾培夫 陈海星 陆巍 白胜元 李海峰 章岳光 刘旭 唐晋发

[摘要]讨论了影响波分复用薄膜滤光片中心波长漂移的因素,着重分析了滤光片的温度稳定性.根据实验结果,借助于高桥模型,分析计算了滤光片的折射率温度系数、线膨胀系数和泊松比以及它们对温度漂移的影响.得到了Ta2O5/SiO2滤光...

 PDF全文光学学报 | 2004, 24(01):33-36

 薄膜多腔滤光片型梳状滤波器的设计

陈海星 顾培夫 李海峰 章岳光 沈伟东

[摘要]介绍了一种通过使用多个薄膜法布里-珀罗滤光片的叠加来实现密集波分复用中使用的梳状滤波器的设计的新方法.采用间隔层为熔融石英的薄膜法布里-珀罗滤光片作为基本结构的光学梳状滤波器可以比较容易地控制各腔的厚度,...

 PDF全文光学学报 | 2004, 24(01):62-64

 用于波分复用系统的多峰干涉滤光片

顾培夫 杨毓铭 陈海星 郑臻荣 章岳光

[摘要]介绍了用于波分复用系统的多峰干涉滤光片的设计原理,提出了滤光片透射峰位置的确定方法,讨论了影响滤光片半宽度和截止度的因素,给出了滤光片的膜厚容差分析结果,表明透射率监控标准偏差在<0.5%范围内,可以得到波形良...

 PDF全文光子学报 | 2003, 32(07):837-839

 用于倾斜入射的波分复用薄膜滤光片的特性及改进

顾培夫 李海峰 章岳光 刘旭 唐晋发

[摘要]对倾斜入射时窄带薄膜滤光片的特性作了描述,由于低折射率间隔层的滤光片,倾斜入射时p偏振分量的通带比s分量更移向短波,而高折射率间隔层的滤光片则反之,因此可把间隔层同时设计成高、低折射率两种材料,或选用适当的中...

 PDF全文光学学报 | 2003, 23(03):377-380

 密集型波分复用薄膜干涉滤光片的设计

顾培夫 白胜元 李海峰 章岳光 刘旭 唐晋发

[摘要]介绍了波分复用系统对薄膜干涉滤光片的基本要求,为了满足这些要求,一方面需要精心选择基板和薄膜材料,另一方面要寻找性能优良、制造容易的膜系.文中提出了二种适宜于设计这种滤光片的方法.

 PDF全文光学学报 | 2002, 22(07):794-797

 用离子束溅射淀积的氧化物薄膜的折射率

顾培夫 李海峰 章岳光 刘旭 唐晋发

[摘要]介绍了用于波长为1550nm光通讯波分复用/解复用滤光片的离子束溅射的Ta2O5和SiO2薄膜在法里珀罗多层膜中的折射率的实时拟合方法及拟合结果,给出了它们的淀积时间、淀积速率和计算的光学厚度,分析了这些结果的可靠性.

 PDF全文光学学报 | 2002, 22(03):290-293

 垂直定向液晶光阀中液晶电光特性的理论分析

章岳光 李海峰 刘 旭 顾培夫 唐晋发

[摘要]采用4×4矩阵法模拟计算了垂直定向液晶光阀的电光特性, 从理论上分析了影响液晶光阀电光特性的因素。 根据向列液晶的弹性连续体理论及边界力矩平衡方程, 求出了垂直定向向列液晶在液晶-界面之间相互作用锚泊能为...

 PDF全文光学学报 | 1999, 19(09):1170-1176

 薄膜晶体管液晶投影仪中的偏振分色薄膜

章岳光 顾培夫 刘 旭 唐晋发

[摘要]介绍了用于薄膜晶体管液晶投影仪显示的偏振光分色系统, 用多层光学薄膜实现了分色功能, 并对薄膜的设计、 制造和测试进行了讨论。

 PDF全文光学学报 | 1999, 19(06):791-794

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