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 光栅刻划机阿贝误差对光栅衍射波前质量的影响及其校正方法

糜小涛 于海利 于宏柱 齐向东 李晓天 万秋华

[摘要]衍射波前质量是衡量刻划光栅性能的重要指标之一, 光栅刻划机若存在阿贝误差, 将直接影响刻线位置精度, 从而影响光栅的波前质量。建立了刻划机阿贝误差与光栅衍射波前质量的物理模型, 并分析了该误差对波前质量的影响...

 PDF全文中国激光 | 2017, 44(09):0904001

 基于波前法的光栅拼接误差检测及计算方法

卢禹先 齐向东 糜小涛 姜珊 于海利 李晓天 尹禄

[摘要]光栅拼接法是目前制作大尺寸平面衍射光栅的重要方法之一,而拼接误差是评价拼接光栅是否能够使用的重要指标之一。实时定量测量拼接误差,能够实现对拼接误差的自动闭环调整,通过实时指导拼接提高光栅拼接的精度。建...

 PDF全文光学学报 | 2016, 36(05):0505001

 大型衍射光栅刻划机拉杆结构的分析与改进

糜小涛 于宏柱 于海利 姚雪峰 宋楠 冯树龙 齐向东

[摘要]由于大型衍射光栅刻划机刻划系统的双拉杆结构不能使其满足精度指标要求,本文设计了一套单拉杆结构.讨论了石英导轨分度方向弯曲误差产生的原因及其减小该误差的方法,分析和比较了两种拉杆结构的鞍型滑块的受力情况.基...

 PDF全文光学 精密工程 | 2015, 23(03):745

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