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 激光诱导背向湿式刻蚀蓝宝石过程中声发射信号检测试验

罗志良 谢小柱 魏昕 胡伟 任庆磊 江伟

[摘要]利用声发射仪对脉冲光纤激光诱导背向湿式刻蚀蓝宝石的过程进行了试验研究。在激光诱导背向湿式刻蚀蓝宝石的过程中检测到的声发射信号包含丰富的特征信息; 利用声发射信号的幅度、能量计数和撞击计数等特征参数对激光...

 PDF全文中国激光 | 2017, 44(04):0402003

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