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 平面肖特基二极管的制作

罗跃川 赵 妍 沈昌乐 阎大伟

[摘要]为研究制作 THz频段下工作的肖特基二极管器件,系统研究了平面肖特基二极管的制作工艺。通过分子束外延 (MBE)生长了掺杂浓度分别为 5×1018 cm -3的缓冲层和 2×1017 cm -3的外延层,并研究温度对厚度的影响...

 PDF全文太赫兹科学与电子信息学报 | 2015, 13(04):544

 亚微米尺寸金属电极的制备工艺

湛治强 阎大伟 熊政伟 沈昌乐 彭丽萍 罗跃川 王雪敏 吴卫东

[摘要]亚微米尺寸金属电极在高电子迁移率晶体管( HEMT)等半导体电子学器件中有重要应用,其制作是器件制作中的关键工艺,对器件性能有着重要影响。本文选择合适的涂胶旋转转速、烘烤温度(180℃)和时间,可以有效地减少电子...

 PDF全文太赫兹科学与电子信息学报 | 2015, 13(04):646

 惯性约束聚变靶中硅支撑冷却臂的制备

张继成 罗跃川 马志波 杨苗 周民杰 李佳 吴卫东 唐永建

[摘要]论述了基于反应离子深刻蚀技术加工惯性约束聚变(ICF)靶的硅支撑冷却臂。利用扫描电子显微镜、白光干涉仪和视觉显微系统等对所制备的硅支撑冷却臂的形貌、侧壁陡直度和卡爪径向形变量等参数进行了表征分析。分析结果表...

 PDF全文强激光与粒子束 | 2013, 25(12):3251-3254

 硅基支撑系统的光刻工艺

罗跃川 张继成

[摘要]为提高硅基支持系统制备中光刻过程的线宽精度, 用正交试验分析了前烘、曝光、显影主要步骤中一些主要参数对制备结果的影响, 得到了它们的影响程度的规律以及较优的参数组合。在此基础上设计和训练了合适的前向误差反...

 PDF全文强激光与粒子束 | 2012, 24(11):2673-2676

 提高OLED光导出效率的异形金属光栅的设计与优化

罗跃川 张志友 石莎 杜惊雷

[摘要]提出一种用于有机电致发光器件(OLED)的双面对称矩形金属光栅电极, 采用时域有限差分方法(FDTD)模拟研究了OLED中表面等离子体激元的激发和耦合传输的物理规律和物理机制, 详细计算和分析了该光栅结构的周期、槽宽、光...

 PDF全文发光学报 | 2010, 31(06):784-790

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